一种保护壳用接触条结构单元制造技术

本实用新型专利技术公开了一种保护壳用接触条结构单元，包括弹片部和保护部，弹片部包括弹片连接端和弹片自由端，弹片连接端连接于一铰链的一侧边，保护部包括保护连接端和保护自由端，保护连接端连接于铰链的另一侧边，保护自由端朝向弹片连接端延伸，弹片自由端朝向保护连接端延伸，弹片自由端位于保护自由端与铰链之间。本实用新型专利技术通过设置保护部，将弹片部的弹片自由端较好的与外界隔开，使得弹片部不容易脱落，既有效防止了高温散出、电磁波泄漏导致的安全隐患，又一定程度上节省了人力、财力等成本，本实用新型专利技术结构简单，成本较低，适合广泛应用于半导体集成电路制造工艺过程中各具有高温、高频电磁场的设备的保护壳中。高频电磁场的设备的保护壳中。高频电磁场的设备的保护壳中。

【技术实现步骤摘要】
一种保护壳用接触条结构单元


[0001]本技术涉及半导体集成电路制造领域，特别涉及一种保护壳用接触条结构单元。

技术介绍

[0002]半导体集成电路的制备工艺复杂，流程繁多，其中，部分工艺需要用到高温及高频电磁场，用于实现该部分工艺的设备均需要增设防高温散出、防电磁波泄露的保护壳，保护壳一般并非一体成型，而是由多个板块组装而成，板块与板块之间存在缝隙，在该缝隙处设置扁条式金属接触条以防止高温自缝隙处散出和防止电磁波泄漏。
[0003]现有的扁条式金属接触条由弹片安装于铰链组装而成，弹片整体裸露于外侧，容易受其他外部因素的影响而脱离铰链，比如人为非故意碰掉、保护壳移动过程中掉落等。弹片掉落后，板块与板块之间的缝隙不再被遮挡，导致高温散出、电磁波泄漏，形成安全隐患，同时，还可能影响到工艺参数，进而影响产品质量，另外，弹片掉落后需要及时进行维修，需要花费一定的人力和财力，造成一定的浪费。

技术实现思路

[0004]本技术要解决的技术问题是提供一种保护壳用接触条结构单元，能有效防止弹片部的掉落。
[0005]为解决上述技术问本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种保护壳用接触条结构单元，其特征在于，所述结构单元包括弹片部和保护部，所述弹片部包括弹片连接端和弹片自由端，所述弹片连接端连接于一铰链的一侧边，所述保护部包括保护连接端和保护自由端，所述保护连接端连接于所述铰链的另一侧边，所述保护自由端朝向所述弹片连接端延伸，所述弹片自由端朝向所述保护连接端延伸，所述弹片自由端位于所述保护自由端与所述铰链之间。2.如权利要求1所述的结构单元，其特征在于，所述弹片连接端与所述铰链可拆卸连接。3.如权利要求2所述的结构单元，其特征在于，所述弹片连接端与所述铰链卡扣连接。4.如权利要求1所述的结构单元...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙雷雷，龚荟卓，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：