基板传送装置制造方法及图纸

本申请提供了一种基板传送装置，包括夹板机构和平面移动台，夹板机构包括：支撑底板；两套滚轮组件，用于配合支撑基板的相对两侧；以及，两套夹持组件，分别安装于支撑底板的相对两侧，用于将基板的相对两侧抵压固定于对应滚轮组件上，以使各夹持组件与对应滚轮组件配合夹持固定基板的侧边。本申请提供的基板传送装置，通过在支撑底板的两侧分别设置滚轮组件，通过滚轮组件来支撑基板，以降低基板相对支撑底板的重心高度，并设置夹持组件与滚轮组件配合夹持固定基板，进而便于平面移动台驱动夹板机构平稳且精准移动，进而带动基板平稳且精准移动。无需电机、传送带等结构，重量更轻，结构更为简化与轻巧，带动基板移动更平稳精准。带动基板移动更平稳精准。带动基板移动更平稳精准。

【技术实现步骤摘要】
基板传送装置


[0001]本申请属于固晶
，更具体地说，是涉及一种基板传送装置。

技术介绍

[0002]固晶机在固晶时，一般是固晶邦头将晶片吸取，以安装在基板上，这就需要将基板传送到固晶邦头处，以便将晶片安装在基板上。在固晶时，往往需要在基板上安装多个晶片，这就需要将基板上各固晶位分别与固晶邦头对位，以安装晶片。当前对于小型基板，一般是通过带传送结构接收并支撑基板，并通过平面移动台驱动带传送结构及基板整体移动，以使基板上各固晶位与固晶邦头对位，以固晶。对于大型基板来说，由于基板体积大，带传送结构由于存在支撑底板、电机、传送带、多个张紧轮、多个导轮和多个托轮，支撑基板后，整体重量大，基板距离支撑底板较高，导致基板重心高，在基板移动时，难以准确定位，因而当前在大型基板上固晶，一般是使用三轴移动平台来移动固晶邦头，使固晶邦头依次与基板上各固晶位进行对应固晶。然而，将固晶邦头从取晶位到固晶位来回移动，效率较低。

技术实现思路

[0003]本申请实施例的目的在于提供一种基板传送装置，以解决相关技术中存在的大型基板固晶时，传送结构及基板整体重量大，重心高，难以准确定位，需要移动固晶邦头，导致效率较低的问题。
[0004]为实现上述目的，本申请实施例采用的技术方案是：提供一种基板传送装置，包括用于支撑并夹持基板的夹板机构和驱动所述夹板机构于平面上移动的平面移动台，所述夹板机构包括：
[0005]支撑底板，安装于所述平面移动台上；
[0006]两套滚轮组件，分别安装于所述支撑底板的相对两侧，用于配合支撑基板的相对两侧；以及，
[0007]两套夹持组件，分别安装于所述支撑底板的相对两侧，用于将所述基板的相对两侧抵压固定于对应所述滚轮组件上，以使各所述夹持组件与对应所述滚轮组件配合夹持固定所述基板的侧边。
[0008]在一个可选实施例中，所述滚轮组件包括支撑于所述支撑底板上的支撑座，所述支撑座上设有多个滚轮座，多个所述滚轮座沿所述支撑座的长度方向间隙设置，各所述滚轮座上转动安装有滚轮。
[0009]在一个可选实施例中，所述滚轮组件还包括：
[0010]定位座，安装于所述支撑底板上；
[0011]多个导轨组件，连接所述定位座与所述支撑座，用于引导所述支撑座于所述定位座上升降移动；以及，
[0012]升降推动器，用于推动所述支撑座升降移动，所述升降推动器安装于所述定位座
上。
[0013]在一个可选实施例中，所述定位座滑动安装于所述支撑底板上，所述支撑底板上开设有若干引导所述定位座移动的滑槽，各所述滑槽垂直于所述支撑座的长度方向设置。
[0014]在一个可选实施例中，所述夹持组件包括：
[0015]压板，用于将所述基板抵压于对应所述滚轮组件上；
[0016]支座，支撑所述压板；以及，
[0017]升降驱动器，驱动所述支座升降移动，所述升降驱动器支撑于所述支撑底板上。
[0018]在一个可选实施例中，所述夹持组件还包括安装于所述支撑底板上的挡板，所述支座滑动支撑于所述挡板上，所述升降驱动器安装于所述挡板上。
[0019]在一个可选实施例中，所述夹板机构还包括用于支撑所述基板的托板，所述托板支撑于所述支撑底板上。
[0020]在一个可选实施例中，所述托板上设有多个用于吸附固定所述基板的吸附孔。
[0021]在一个可选实施例中，所述平面移动台包括驱动所述支撑底板横向移动的横移机构和驱动所述横移机构纵向移动的纵移机构，所述支撑底板安装于所述横移机构上，所述横移机构安装于所述纵移机构上。
[0022]在一个可选实施例中，所述夹板机构还包括用于止挡定位支撑于所述滚轮组件上的基板的定位组件，所述定位组件包括用于止挡所述基板的挡块、驱动所述挡块升降移动的升降推行器和支撑所述升降推行器的支架，所述支架安装于所述支撑底板一端。
[0023]本申请实施例提供的基板传送装置的有益效果在于：与现有技术相比，本申请实施例基板传送装置，通过在支撑底板的两侧分别设置滚轮组件，通过滚轮组件来支撑基板，以降低基板相对支撑底板的重心高度，并设置夹持组件与滚轮组件配合夹持固定基板，进而便于平面移动台驱动夹板机构平稳且精准移动，进而带动基板平稳且精准移动。无需电机、传送带等结构，重量更轻，结构更为简化与轻巧，带动基板移动更平稳精准。
附图说明
[0024]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或示范性技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0025]图1为本申请实施例提供的基板传送装置的结构示意图；
[0026]图2为本申请实施例提供的基板传送装置的爆炸结构示意图；
[0027]图3为本申请实施例提供的夹板机构的结构示意图；
[0028]图4为图3所示的夹板机构的爆炸结构示意图；
[0029]图5为图3中滚轮组件与对应夹持组件的放大结构示意图；
[0030]图6为本申请实施例提供的纵移机构的结构示意图；
[0031]图7为本申请实施例提供的横移机构的结构示意图。
[0032]其中，图中各附图主要标记：
[0033]100
‑
基板传送装置；
[0034]10
‑
夹板机构；11
‑
支撑底板；111
‑
滑槽；12
‑
滚轮组件；121
‑
支撑座；1211
‑
滚轮座；
122
‑
滚轮；123
‑
定位座；124
‑
升降推动器；125
‑
导轨组件；13
‑
夹持组件；131
‑
压板；132
‑
支座；133
‑
挡板；134
‑
升降驱动器；14
‑
托板；141
‑
吸附孔；15
‑
定位组件；151
‑
挡块；152
‑
升降推行器；153
‑
滑动座；154
‑
滑动轨；155
‑
支架；
[0035]20
‑
平面移动台；21
‑
纵移机构；211
‑
纵向底板；2111
‑
纵向槽；212
‑
纵向滑轨；213
‑
纵向滑块；214
‑
纵移驱动组件；2141
‑
纵向丝杆；2142
‑
纵移螺母；2143
‑
旋转座；2144
‑
纵移驱动电机；2145
‑
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基板传送装置，包括用于支撑并夹持基板的夹板机构和驱动所述夹板机构于平面上移动的平面移动台，其特征在于，所述夹板机构包括：支撑底板，安装于所述平面移动台上；两套滚轮组件，分别安装于所述支撑底板的相对两侧，用于配合支撑基板的相对两侧；以及，两套夹持组件，分别安装于所述支撑底板的相对两侧，用于将所述基板的相对两侧抵压固定于对应所述滚轮组件上，以使各所述夹持组件与对应所述滚轮组件配合夹持固定所述基板的侧边。2.如权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于：所述滚轮组件包括支撑于所述支撑底板上的支撑座，所述支撑座上设有多个滚轮座，多个所述滚轮座沿所述支撑座的长度方向间隙设置，各所述滚轮座上转动安装有滚轮。3.如权利要求2所述的基板传送装置，其特征在于，所述滚轮组件还包括：定位座，安装于所述支撑底板上；多个导轨组件，连接所述定位座与所述支撑座，用于引导所述支撑座于所述定位座上升降移动；以及，升降推动器，用于推动所述支撑座升降移动，所述升降推动器安装于所述定位座上。4.如权利要求3所述的基板传送装置，其特征在于：所述定位座滑动安装于所述支撑底板上，所述支撑底板上开设有若干引导所述定位座移动的滑槽，各所述滑槽垂直于所述支撑座的长度方向设置。5.如权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，所述夹持组...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄岗，曾国鹏，严楚雄，
申请(专利权)人：深圳新益昌科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：