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本申请提供了一种基板传送装置,包括夹板机构和平面移动台,夹板机构包括:支撑底板;两套滚轮组件,用于配合支撑基板的相对两侧;以及,两套夹持组件,分别安装于支撑底板的相对两侧,用于将基板的相对两侧抵压固定于对应滚轮组件上,以使各夹持组件与对应滚...该专利属于深圳新益昌科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳新益昌科技股份有限公司授权不得商用。
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