本实用新型专利技术属于光刻机领域，公开了光刻区的光罩盒信息显示装置，包括光罩盒、读写台、无源墨水屏、墨水屏支架、智能标签管理模块，墨水屏支架两端设置有挂耳，中间设置盖板，盖板通过螺丝固定到墨水屏支架上，挂耳与墨水屏支架一体或通过螺丝固定，墨水屏支架通过挂耳卡槽卡扣到光罩盒的槽位上；无源墨水屏通过螺丝固定到墨水屏支架的盖板上；智能标签管理模块具有RFID读取单元，读取光罩盒的RFID标签信息后发送给MES系统，MES系统将晶圆的批次信息发送到智能标签管理模块，智能标签管理模块将晶圆的批次信息写入无源墨水屏，无源墨水屏显示晶圆的批次信息。本实用新型专利技术可实时显示光罩盒的批次信息，屏幕常亮。屏幕常亮。屏幕常亮。
【技术实现步骤摘要】
一种光刻区的光罩盒信息显示装置
[0001]本技术属于光刻机
，尤其涉及一种光刻区的光罩盒信息显示装置。
技术介绍
[0002]在半导体工厂的光刻区放置了许多光罩盒，为了查看光罩盒的信息，当前的解决方案是在半导体厂内的光刻区设置LED显示屏，以便操作员查询光罩盒信息。但LED显示屏需要手动点亮，不能随时查看，而且传统LED显示屏使用电池供电，为节约电量，LED显示屏在较短时间内会暗屏，屏幕再点亮，需要操作员通过手动按LED屏幕开关才能再次触发屏幕点亮，不便于随时查看光罩盒信息。
技术实现思路
[0003]有鉴于此，为了解决晶圆厂光刻区光罩盒的LOT信息无法实时显示的问题，本技术提出了一种光刻区的光罩盒信息显示装置，包括光罩盒和读写台，光罩盒放置于读写台之上，所述光罩盒信息显示装置还包括无源墨水屏、墨水屏支架、智能标签管理模块，所述智能标签管理模块运行于读写台上；
[0004]所述光罩盒设置有槽位，所述槽位嵌入有RFID玻璃管标签；
[0005]所述墨水屏支架两端设置有挂耳，中间设置盖板，所述盖板通过螺丝固定到所述墨水屏支架上，所述挂耳与墨水屏支架一体或通过螺丝固定，所述墨水屏支架通过挂耳卡槽卡扣到光罩盒的槽位上；
[0006]所述无源墨水屏通过螺丝固定到盖板上；
[0007]所述智能标签管理模块具有RFID读取单元，和MES系统以及所述无源墨水屏通信连接，所述MES系统将晶圆的批次信息发送到所述智能标签管理模块后，所述智能标签管理模块将晶圆的批次信息写入所述无源墨水屏，所述无源墨水屏显示晶圆的批次信息。
[0008]进一步的，所述无源墨水屏外包围有一层中级防静电POM加工件。
[0009]进一步的，所述MES系统将晶圆的批次信息发送到所述智能标签管理模块包括：
[0010]所述智能标签管理模块的RFID读取单元读取光罩盒的RFID标签信息，将光罩盒的RFID标签信息发送到MES系统，所述MES系统查询所述光罩盒的RFID标签信息对应的晶圆的批次信息，并返回给所述智能标签管理模块。
[0011]进一步的，所述无源墨水屏将晶圆的批次信息的灰度图像转化为二值图像并显示。
[0012]进一步的，所述智能标签管理模块与所述无源墨水屏通过NFC方式通信，所述智能标签管理模块与所述MES系统至少通过以太网/4G/5G/WIFI方式之一通信。
[0013]进一步的，所述智能标签管理模块与上位机至少通过以太网/4G/5G/WIFI方式之一通信，所述智能标签管理模块还将晶圆的批次信息和光罩盒的RFID标签信息发送到上位机，上位机将晶圆的批次信息和光罩盒的RFID标签信息保存下来。
[0014]本技术的有益效果如下：
[0015]实时显示光罩盒的LOT信息；
[0016]墨水屏屏幕常亮，无需人工点亮，操作员可实时查看信息；
[0017]墨水屏无源，无需更换电池，寿命范围内不会自动关闭。
附图说明
[0018]图1本技术的光罩盒及墨水屏支架的结构图；
[0019]图2本技术的光罩盒信息显示装置总体框架图；
[0020]图3本技术的墨水屏支架侧面图；
[0021]图4本技术的墨水屏支架背面图。
具体实施方式
[0022]下面结合附图对本技术作进一步的说明，但不以任何方式对本技术加以限制，基于本技术教导所作的任何变换或替换，均属于本技术的保护范围。
[0023]本技术的目的是提供在光刻区实时显示光罩盒的LOT(批次)信息的装置。为达到该目的，如图1
‑
图4所示，本技术采用的技术方案如下：
[0024]光刻区的光罩盒信息显示装置，包括光罩盒和读写台，光罩盒放置于读写台之上，光罩盒信息显示装置还包括无源墨水屏、墨水屏支架、智能标签管理模块，智能标签管理模块运行于读写台上；
[0025]光罩盒设置有槽位，槽位嵌入有RFID玻璃管标签；
[0026]墨水屏支架两端设置有挂耳，中间设置盖板，盖板通过螺丝固定到墨水屏支架上，挂耳与墨水屏支架一体或通过螺丝固定，墨水屏支架通过挂耳卡槽卡扣到光罩盒的槽位上；
[0027]无源墨水屏外包围有一层中级防静电POM(聚甲醛)加工件，通过螺丝固定到墨水屏支架的盖板上；
[0028]智能标签管理模块具有RFID读取单元，和MES系统以及无源墨水屏通信连接。智能标签管理模块的RFID读取单元读取光罩盒的RFID标签信息，智能标签管理模块与MES系统至少通过以太网/4G/5G/WIFI方式之一通信，将光罩盒的RFID标签信息发送到MES系统，MES系统查询光罩盒的RFID标签信息对应的晶圆的批次信息，并返回给智能标签管理模块。智能标签管理模块与无源墨水屏通过NFC方式通信，将晶圆的批次信息写入无源墨水屏，无源墨水屏将晶圆的批次信息的灰度图像转化为二值图像并显示。
[0029]智能标签管理模块与上位机(上位机为应用服务器，运行光罩盒的监控软件，并存储相关数据)至少通过以太网/4G/5G/WIFI方式之一通信，智能标签管理模块还将晶圆的批次信息和光罩盒的RFID标签信息发送到上位机，上位机将晶圆的批次信息和光罩盒的RFID标签信息保存下来。
[0030]为了使本技术的技术方案和有益效果更加清楚，以下结合实际例子，对本技术进行进一步描述。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0031]实施例
[0032]光刻区的光罩盒信息显示装置，包括光罩盒和读写台，读写台上设置智能标签管
理模块，装置还包括无源墨水屏、墨水屏支架。
[0033]光罩盒内部嵌入有RFID标签，光罩盒的侧面设置有槽位。
[0034]墨水屏支架两端设置有挂耳，中间设置盖板，盖板通过螺丝固定到墨水屏支架上，挂耳与墨水屏支架一体或通过螺丝固定，墨水屏支架通过挂耳卡槽卡扣到光罩盒的槽位上。无源墨水屏也叫无源电子纸，是一种非常可靠和节能的电子纸应用型产品，通过NFC技术与电子纸的结合，利用具有NFC功能的终端来改写无源墨水屏的显示内容，并且在改写无源墨水屏时不需要电源，改写后在无电源情况下，无源墨水屏能长时间保持显示状态。
[0035]智能标签管理模块将读写台读取到的光罩盒信息传递给MES后，回传MES返回的LOT信息到智能标签管理模块，智能标签管理模块将LOT信息下发到读写台，写入显示屏。MES(Manufacturing Execution System，制造企业生产过程执行系统)是一套面向制造企业车间执行层的生产信息化管理系统。本实施例中的MES系统为晶圆厂中的第三方产品，为现有技术，本实施例不再赘述。MES系统中存储有光罩盒的RFID标签信息和对应的晶圆的批次信息。
[0036]光罩盒信息的读取依赖于智能标签管理模块读取光罩盒的RFID标签。
[0037]LOT信本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种光刻区的光罩盒信息显示装置，包括光罩盒和读写台，光罩盒放置于读写台之上，其特征在于，所述光罩盒信息显示装置还包括无源墨水屏、墨水屏支架、智能标签管理模块，所述智能标签管理模块运行于读写台上；所述光罩盒设置有槽位，所述槽位嵌入有RFID玻璃管标签；所述墨水屏支架两端设置有挂耳，中间设置盖板，所述盖板通过螺丝固定到所述墨水屏支架上，所述挂耳与墨水屏支架一体或通过螺丝固定，所述墨水屏支架通过挂耳卡槽卡扣到光罩盒的槽位上；所述无源墨水屏通过螺丝固定到盖板上；所述智能标签管理模块具有RFID读取单元，和MES系统以及所述无源墨水屏通信连接，所述MES系统将晶圆的批次信息发送到所述智能标签管理模块后，所述智能标签管理模块将晶圆的批次信息写入所述无源墨水屏，所述无源墨水屏显示晶圆的批次信息。2.根据权利要求1所述的光刻区的光罩盒信息显示装置，其特征在于，所述无源墨水屏外包围有一层中级防静电POM加工件。3.根据权利要求1所述的光刻区的光罩盒信息显示装置，其特征在于，所述MES系...
【专利技术属性】
技术研发人员：周敏，丁珉，
申请(专利权)人：无锡芯享信息科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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