下载一种光刻区的光罩盒信息显示装置的技术资料

文档序号:33568707

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本实用新型属于光刻机领域,公开了光刻区的光罩盒信息显示装置,包括光罩盒、读写台、无源墨水屏、墨水屏支架、智能标签管理模块,墨水屏支架两端设置有挂耳,中间设置盖板,盖板通过螺丝固定到墨水屏支架上,挂耳与墨水屏支架一体或通过螺丝固定,墨水屏支架...
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