执行机构、光扫描器以及图像形成装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够发挥期望的振动特性的执行机构、光扫描器以及图像形成装置。执行机构（１）采用下述结构，包括：第一振动系统（２１），包括框状的驱动部件（２１１）；第二振动系统（２２），包括可动板（２２１）；永久磁铁（６１），固定在驱动部件（２１１）上；线圈（６２），在永久磁铁（６１）上作用磁场；电压施加单元，在线圈（６２）上施加电压；定位部（７１、７２），设置于驱动部件（２１１），决定永久磁铁（６１）向驱动部件（２１１）的固定位置，通过由电压施加单元向线圈（６２）施加电压，使可动板（２１１）围绕Ｘ轴和Ｙ轴的各自的轴转动。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及执行机构、光扫描器以及图像形成装置。技术背景例如，作为在打印机等中用于通过光扫描进行描绘的光扫描 器，公开有对光进行二维扫描的光扫描器(例如，参照专利文献1 )。专利文献l的光扫描器，由机壳、带磁铁镜、以使带磁铁镜能 够相对机壳摇动的方式在机壳上支承带磁铁镜的超弹性合金线、和 为了使带磁铁镜振动而产生交变电压的线圈构成。但是，在这样的光扫描器中，带磁铁镜通过粘接剂接合(固定) 于超弹性合金线。因此，光扫描器制造时难以在超弹性合金线的规 定位置固定带磁铁镜。即，专利文献1的光扫描器难以发挥期望的振动特性。专利文献1日本特开平9-243942号公报
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种能够发挥期望的振动特性的执行 才几构、光扫描器以及图Y象形成装置。通过下述的本专利技术达成这样的目的。本专利技术的执行机构的特征在于，包括第一振动系统，包括框 状的驱动部^f牛，以及一乂于第一轴部^f牛，上述一乂于第一轴部4牛以〗吏上述驱动部件围绕X轴转动的方式、双支7R上述驱动部件；第二振动系统，包括设置于上述驱动部件的内侧的可动板，以 及一对第二轴部件，上述一对第二轴部件以^吏上述可动^^反围绕与上 述X轴正交的Y轴转动的方式、在上述驱动部^f牛上，又支7lc上述可 动板；马区动单元，具有强石兹性体、对该强《兹性体作用万兹场的线圏、和 向该线圈施加电压的电压施加单元，在上述可动板的俯浮见图中，上 述强；兹性体和上述线圈中的一个设置于离开上述驱动部件上的上 述X轴和上述Y轴的各自的轴的位置；以及定位部，-没置于上述驱动部件上，决定上述强》兹性体或上述线 圈向上述驱动部件的固定位置，通过由上述电压施加单元向上述线圈施加电压，^f吏上述可动玲反 围绕上述X轴和上述Y轴的各自的轴转动。由此，能够正确地在上述驱动部<牛上的*见定位置固定上述强石兹 性体或上述线圈。因此，能够提供能够发挥期望的振动特性的执行机构。本专利技术的执行机构中，上述定位部优选与上述驱动部件一体形 成。由此，能够在上述驱动部件上的^见定〗立置正确;也形成上述定位 部。其结果，能够在上述驱动部件上的^见定位置^^为正确地固定上 述强》兹性体或上述线圏。本专利技术的执行机构中，优选上述驱动部件由SOI基板的一方的Si层形成，上述定位部由上述SOI基板的SK)2层和另一方的Si层 中的至少Si02层形成。由此，能够才及为筒单地一体形成上i^定位部和上述驱动部件。本专利技术的才丸4亍才几构中，4尤选在上述驱动部4牛上i殳置有上述强石兹 性体，上述强磁性体为长方形的永久石兹铁，上述永久》兹《失在上述可 动板的俯视图中，连接其两极的线段通过上述X轴和上述Y轴的 交点，以相对上述X轴和上述Y轴的各个倾杀牛的方式i殳置。由此，能够以4交简单的结构，4吏上述可动才反围绕上述X轴和上 述Y轴的各自的轴转动。本专利技术的执行机构中，优选上述永久》兹铁的长边方向的两端部 固定于上述驱动部件，上述定位部以决定上述7;jc久石兹《失的长边方向 的两端部的固定位置的方式i殳置有一乂于。由此，能够正确地在上述驱动部件上的规定的位置设置上述永 久磁铁。本专利技术的4丸行才几构中，优选上述一对定位部在上述永久》兹《失的 长边方向，以隔着上述7Jc久石兹铁相互相对的方式，且以相互的分离 距离与上述永久磁铁的长度大致相等的方式形成。由此，能够防止上述7lc久万兹《失向上述驱动部件的固定^f立置相对-夫见定的位置在上迷永久》兹4失的长边方向产生偏差。本专利技术的执行机构中，优选上述各定位部具有在上述永久磁4失 的宽度方向上，以隔着上述永久石兹铁相互相对的方式形成的一对相对部，该一对相对部彼此之间的分离3巨离与上述永久》兹4失的宽度方 向的长度大致相等。由此，能够防止上述7JC久^H失向上述驱动部件的固定^f立置相只于 关见定的位置在上述永久石兹4失的宽度方向产生偏差。本专利技术的冲丸行4几构中，优选在上述驱动部件:没置有上述强^兹性 体，上述强》兹性体为软^兹性体，在上述可动板的俯一见图中，上述定^立部以包围上述4欠》兹性体的外周的方式i文置。由此，能够更准确地在上述驱动部件上的^见定的位置i殳置上迷 软磁性体。此外，能够以较简单的结构，使上述可动板围绕上述X 轴和上述Y轴的各自的轴4争动。本专利技术的执行机构中，在上述可动板的俯^见图中，上述软i兹性 体优选为圓形状。由此，在执行机构的制造时，能够极为简单且正确地将上述软 -磁性体固定于通过上述定4立部决定的固定位置。本专利技术的执行机构中，优选在上述可动板的俯视图中，上述软 磁性体以在由上述X轴和上述Y轴划分的四个区域中，位于具有 相对上述X轴和上述Y轴的交点点〗寸称的关系的两个区域内的方 式设置有一对，上述线圏以与上述各软磁性体相对的方式设置有一对。由此，能够平滑地/使上述可动4反围绕上述X轴和上述Y轴的 各自的轴转动。本专利技术的执行机构中，优选在上述可动板的俯视图中，上述一 对软-磁性体以相对上述X轴和上述Y轴的交点点对称的方式i殳置。由此，能够更平滑地使上述可动板围绕上述X轴和上述Y轴 的各自的轴转动。本专利技术的执行机构中，优选采用下述结构，上述电压施加单元包括产生周期性变化、其频率相互不同的第一电压和第二电压的 电压产生部；以及叠加上述第一电压和上述第二电压的电压叠加 部，其中，通过将在上述电压叠加部叠加的电压施加至上述线圏， 使上述可动板以上述第一电压的频率围绕上述X轴转动，并以上述 第二电压的频率围绕上述Y轴转动。由此，能够〗吏上述可动板以上述第一电压的频率围绕上述X轴 转动，并以上述第二电压的频率围绕上述Y轴專争动。即，冲丸4亍才几构 通过将第一电压和第二电压分别设定为规定的值，能够简单地发挥 期望的振动特性。本专利技术的#1行机构中，优选上述第二电压的频率与上述第二才展 动系统的共l展频率相等，上述第 一 电压的频率与上述第 一才展动系统 的共4展频率不同。由此，能够4及为平滑且正确;也，4吏上述可动玲反以上述第一电压 的频率围绕上述X轴转动，并以上述第二电压的频率围绕上述Y轴转动。本专利技术的执行机构中，优选上述可动板包括具有光反射性的光反射部。由此，能够将执行机构使用于加速度传感器、角速度传感器等 的MEMS应用传感器、光扫描器、光开关、光衰减器等光学器件。本专利技术的光扫描器的特征在于，包括第一振动系统，包括框状的驱动部件，以及一乂十第一轴部件，上述一^第一4由部4牛以^吏上述驱动部件围绕X轴转动的方式、双支7 、上述驱动部件；第二振动系统，包括i殳置于上述驱动部件的内侧、包4舌具有光 反射性的光反射部的可动一反，以及一^j第二轴部4牛，上述一^于第二 轴部件以4吏上述可动纟反围绕与上述X轴正交的Y轴4争动的方式、 在上述驱动部件上双支承上述可动—反；驱动单元，具有强石兹性体、对该强石兹性体作用石兹场的线圏、和 向该线圈施加电压的电压施加单元，在上述可动一反的俯-见图中，上 述强石兹性体和上述线圏中的 一个i殳置于离开上述驱动部件上的上 述X轴和上述Y轴的各自的轴的位置；以及定位部，设置于上述驱动部件上，决定上述强；兹性体或上述线 圈向上述驱动部件的固定位置，通过由上述电压施加单元向上述线圈施加电压，4吏上述可动板 围绕上述X轴和上述Y轴的各自的轴转本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种执行机构，其特征在于包括：第一振动系统，包括框状的驱动部件、以及一对第一轴部件，所述一对第一轴部件以使所述驱动部件围绕Ｘ轴转动的方式、双支承所述驱动部件；第二振动系统，包括设置于所述驱动部件的内侧的可动板、以及一对第二轴部件，所述一对第二轴部件以使所述可动板围绕与所述Ｘ轴正交的Ｙ轴转动的方式、在所述驱动部件上双支承所述可动板；驱动单元，具有强磁性体、对该强磁性体作用磁场的线圈、和向该线圈施加电压的电压施加单元，在所述可动板的俯视图中，所述强磁性体和所述线圈中的一个设置于离开所述驱动部件上的所述Ｘ轴和所述Ｙ轴的各自的轴的位置；以及定位部，设置于所述驱动部件上，决定所述强磁性体或所述线圈向所述驱动部件的固定位置，通过由所述电压施加单元向所述线圈施加电压，使所述可动板围绕所述Ｘ轴和所述Ｙ轴的各自的轴转动。

【技术特征摘要】
JP 2007-3-12 2007-0624691.一种执行机构，其特征在于包括第一振动系统，包括框状的驱动部件、以及一对第一轴部件，所述一对第一轴部件以使所述驱动部件围绕X轴转动的方式、双支承所述驱动部件；第二振动系统，包括设置于所述驱动部件的内侧的可动板、以及一对第二轴部件，所述一对第二轴部件以使所述可动板围绕与所述X轴正交的Y轴转动的方式、在所述驱动部件上双支承所述可动板；驱动单元，具有强磁性体、对该强磁性体作用磁场的线圈、和向该线圈施加电压的电压施加单元，在所述可动板的俯视图中，所述强磁性体和所述线圈中的一个设置于离开所述驱动部件上的所述X轴和所述Y轴的各自的轴的位置；以及定位部，设置于所述驱动部件上，决定所述强磁性体或所述线圈向所述驱动部件的固定位置，通过由所述电压施加单元向所述线圈施加电压，使所述可动板围绕所述X轴和所述Y轴的各自的轴转动。2. 根据权利要求1所述的执行机构，其特征在于，所述定位部与所述驱动部件一体形成。3. 根据权利要求2所述的执行机构，其特征在于，所述驱动部件由SOI基板的一方的Si层形成，所述定位 部由所述SOI基板的Si02层和另一方的Si层中的至少Si02层形成。4. 根据权利要求1至3中任一项所述的执行机构，其特征在于，在所述驱动部件上设置有所述强石兹性体，所述强,兹性体 为长方形的永久磁铁，所述永久》兹铁在所述可动才反的俯视图 中，连接其两^l的线^更通过所述X轴和所述Y轴的交点，以 相对所述X轴和所述Y轴的各个倾斜的方式设置。5. 根据权利要求4所述的执行机构，其特征在于，所述永久》兹4失的长边方向的两端部固定于所述驱动部 件，i殳置有一对所述定位部，以便决定所述永久》兹《失的长边方 向的两端部的固定^立置。6. 根据权利要求5所述的执行机构，其特征在于，所述一对定位部在所述永久》兹4失的长边方向，以隔着所 述永久》兹名失相互相对的方式，且以相互的分离距离与所述永久 》兹《失的长度大致相等的方式形成。7. 根据权利要求5或6所述的执行机构，其特征在于，所述各定位部具有在所述永久磁铁的宽度方向上，以隔 着所述7Jc久石兹4夹相互相对的方式形成的一只十相^]部，该一对相 对部彼此之间的分离距离与所述永久磁《失的宽度方向的长度 大致相等。8. 根据权利要求1至3中任一项所述的执行机构，其特征在于，在所述驱动部件设置有所述强石兹性体，所述强》兹性体为 软石兹性体，在所述可动板的俯4见图中，所述定^立部以包围所述 软》兹性体的外周的方式设置。9. 根据权利要求8所述的执行机构，其特征在于，在所述可动才反的俯—见图中，所述软》兹性体为圆形。10. 根据权利要求8或9所述的执行机构，其特征在于，在所述可动板的俯视图中，所述软》兹性体以在由所述X 轴和所述Y轴划分的四个区域中，位于具有相对所述X轴和 所述Y轴的交点点对称的关系的两个区域内的方式i殳置有一 对，所述线圈以与所述各软磁性体相对的方式设置有 一对。11. ...

【专利技术属性】
技术研发人员：沟口安志，山贺洋和，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]