一种磁控溅射氧化锆掺杂的羟基磷灰石涂层及其应用制造技术

本发明专利技术涉及一种磁控溅射氧化锆掺杂的羟基磷灰石涂层及其应用。本发明专利技术以羟基磷灰石靶材和二氧化锆靶材为溅射源，在医用镁合金衬底表面共溅射沉积氧化锆掺杂的羟基磷灰石涂层，通过调节羟基磷灰石靶材和二氧化锆靶材的溅射功率来调控复合涂层中二氧化锆的含量。研究表明，掺入少量的二氧化锆可以显著提高磁控溅射羟基磷灰石涂层的耐腐蚀性能，与此同时，还能够保证羟基磷灰石涂层良好的生物相容性。当二氧化锆掺入量多大时，可能导致羟基磷灰石涂层的生物相容性急剧下降。层的生物相容性急剧下降。

【技术实现步骤摘要】
一种磁控溅射氧化锆掺杂的羟基磷灰石涂层及其应用


[0001]本专利技术涉及磁控溅射涂层材料领域，具体涉及一种磁控溅射氧化锆掺杂的羟基磷灰石涂层及其应用。

技术介绍

[0002]生物陶瓷羟基磷灰石与人体骨中无机物磷灰石的晶体结构相同，因其无毒、生物相容性好，是骨的理想替代物。羟基磷灰石生物活性材料因具有与人体骨骼和牙齿中主要物质相类似的化学组成和晶体结构而被广泛用于生物涂层材料，其占人体骨骼的65%，在人体环境中能够诱导骨形成，常被用于人工骨的外包裹涂层。现有技术中存在多种羟基磷灰石涂层的制备方法，例如PSP法制备的羟基磷灰石具有生物活性好、结合强度大等优点，但是涂层冷却后内部存在较大的孔隙率和热应力，会造成涂层产生裂纹，进而对涂层材料的耐腐蚀性能造成不良影响。因此，有必要寻求一种提高羟基磷灰石涂层耐腐蚀性能的方法。

技术实现思路

[0003]针对现有技术存在的问题，本专利技术旨在提供一种磁控溅射氧化锆掺杂的羟基磷灰石涂层，该涂层材料可以提高传统羟基磷灰石涂层的耐腐蚀性能。
[0004]本专利技术提供了一种磁控溅射氧化锆掺本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种磁控溅射氧化锆掺杂的羟基磷灰石涂层，其特征在于，所述氧化锆掺杂的羟基磷灰石涂层的制备方法包括以下步骤：以镁合金为衬底材料，通过机械加工将其切割为合适的大小；通过砂纸逐级打磨镁合金衬底，直至表面光滑无明显划痕，然后用丙酮和去离子水先后分别清洗，最后在保护性气体下烘干镁合金衬底；将镁合金衬底置于磁控溅射真空镀膜机中，对镀膜设备抽真空，以羟基磷灰石靶材和二氧化锆靶材为溅射源，在衬底表面共溅射沉积氧化锆掺杂的羟基磷灰石涂层，其中，溅射过程以氩气为工作气体，溅射温度180
‑
200℃，溅射时间1.5
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2h，本底真空度3
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5Pa，靶基距为6
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8cm，通过调整两种靶材的功率来控制氧化锆的掺杂量，氧化锆掺杂的羟基磷灰石涂层中...

【专利技术属性】
技术研发人员：符劲飞，陈鹏，唐举玉，吴攀峰，朱剑熹，
申请(专利权)人：中南大学湘雅医院，
类型：发明
国别省市：