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一种磁控溅射氧化锆掺杂的羟基磷灰石涂层及其应用制造技术
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下载一种磁控溅射氧化锆掺杂的羟基磷灰石涂层及其应用的技术资料
文档序号:33564600
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本发明涉及一种磁控溅射氧化锆掺杂的羟基磷灰石涂层及其应用。本发明以羟基磷灰石靶材和二氧化锆靶材为溅射源,在医用镁合金衬底表面共溅射沉积氧化锆掺杂的羟基磷灰石涂层,通过调节羟基磷灰石靶材和二氧化锆靶材的溅射功率来调控复合涂层中二氧化锆的含量。...
该专利属于中南大学湘雅医院所有,仅供学习研究参考,未经过中南大学湘雅医院授权不得商用。
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