一种锌基合金材料、其制备方法及大电阻薄膜、其制备方法技术

本发明专利技术提供一种锌基合金材料，由以下质量分数的原料制备得到：锌基合金：55～65％，水：10～15％，表面活性剂：5～10％，交联剂：10～30％；所述锌基合金包括60～99％的锌和1～40％的铝。本发明专利技术通过对锌基合金配方、靶材的制备工艺以及薄膜的制备工艺三部分进行改进，制备得到的锌基合金靶材无形变无裂纹，由该合金材料靶材制备得到的大电阻薄膜有良好的防静电能力，又不能影响电子产品的灵敏度。实验结果表明，本发明专利技术中的电子薄膜透光率在98％以上，面电阻为2.6

【技术实现步骤摘要】
一种锌基合金材料、其制备方法及大电阻薄膜、其制备方法


[0001]本专利技术属于电子显示器件
，尤其涉及一种锌基合金材料、其制备方法及大电阻薄膜、其制备方法。

技术介绍

[0002]目前，大多数互电容式触摸屏为外挂式，即触摸屏与显示屏分开制作然后贴合在一起。这种技术存在制作成本较高、光透过率较低、模组较厚的缺点。随着科技的发展，内嵌触摸屏技术逐渐成为研发新宠，其是指：用于实现触控功能的驱动电极线和探测电极线设置在显示屏的基板上。采用内嵌触摸屏技术的触控显示装置相比外挂式触控显示装置，具有厚度更薄、视角更宽、性能更高、成本更低的优势。
[0003]以触摸屏内嵌于ADS(ADvanced Super Dimension Switch，高级超维场转换，简称ADS)模式显示屏的一个具体应用为例，将阵列基板上的部分狭缝电极作为用于实现触控功能的驱动电极线，在彩膜基板的衬底基板和黑矩阵之间设置与驱动电极线交叉分布的探测电极线，驱动电路对狭缝电极分时驱动，狭缝电极分时工作于不同的状态，例如，在第一时间段作为狭缝电极与板状电极形成多维电场，在第二时间段作为驱动电极线与探测电极线之间产生互感电容。
[0004]为了防止静电电荷对ADS模式显示屏的影响，通常在彩膜基板的衬底基板与偏光片之间设置一面状的透明导电屏蔽层，这样，当外界静电接触到显示屏时，屏蔽层可快速地将静电电荷接地，避免静电电荷对显示屏造成静电损伤。
[0005]然而，面状屏蔽层在将静电电荷接地的同时，也阻挡了驱动电极线和探测电极线之间投射电场信号的穿出，极大地影响了触控效果的实现，影响触控灵敏度。

技术实现思路

[0006]本专利技术的目的在于提供一种锌基合金材料、其制备方法及大电阻薄膜、其制备方法，本专利技术中的锌基合金材料制备得到的大电阻薄膜，同时具有静电导出效果好和触控灵敏度高的优点。
[0007]本专利技术提供一种锌基合金材料，由以下质量分数的原料制备得到：
[0008]锌基合金：55～65％，水：10～15％，表面活性剂：5～10％，交联剂：10～30％；
[0009]所述锌基合金包括60～99％的锌和1～40％的铝。
[0010]优选的，所述表面活性剂为非离子表面活性剂；所述交联剂为三烯丙基异三聚氰酸酯。
[0011]本专利技术提供一种锌基合金材料的制备方法，包括以下步骤：
[0012]A)以质量分数计，将55～65％的锌基合金、10～15％水、5～10％表面活性剂和10～30％交联剂混合，得到混合浆料；
[0013]所述锌基合金包括60～99％的锌和1～40％的铝；
[0014]B)将所述混合浆料在真空条件下进行热处理，得到合金材料粗坯；
[0015]C)将所述合金材料粗坯进行热等静压处理，得到锌基合金材料。
[0016]优选的，所述步骤B)中的热处理的真空度为200～300Pa；
[0017]所述热处理在氮气氛围下进行时，所述热处理的温度为60～90℃，所述热处理的时间为60～90min；
[0018]所述热处理的氛围不加氮气时，所述热处理的温度为90～120℃，所述热处理的时间为90～120min。
[0019]优选的，所述热等静压的温度为900～1300℃，所述热等静压的保温时间为0.5～6小时，所述热等静压在氩气氛围下进行，所述热等静压的压力为50～100MPa。
[0020]优选的，所述热等静压由预热温度150～200℃经过0～120min加热至900～1300℃，保温0.5～6小时；
[0021]所述热等静压的压力由常压经过0～30min加压至100～200MPa。
[0022]本专利技术提供一种大电阻薄膜的制备方法，包括以下步骤：
[0023]以锌基合金材料为靶材，进行真空磁控溅射镀膜，然后得到的薄膜中间体进行退火，得到大电阻薄膜；
[0024]所述真空磁控溅射中通入氮气和氩气时，所述氮气的流量为200～300sccm2，所述氩气的流量为800～1200sccm2；
[0025]所述真空磁控溅射中通入氧气和氩气时，所述氧气的流量为30～50sccm2，所述氩气的流量为800～1200sccm2；
[0026]所述真空磁控溅射中通入氨气和氩气时，所述氨气的流量为100～300sccm2，所述氩气的流量为600～800sccm2；
[0027]所述锌基合金材料为上文所述的锌基合金材料。
[0028]优选的，所述真空磁控溅射中压强为0.2～0.5Pa，真空磁控溅射的功率为300～500W，所述真空磁控溅射的时间为100～300s。
[0029]优选的，所述退火的温度为60～100℃，所述退火的时间为10～30min。
[0030]如上文所述的制备方法制备得到的大电阻薄膜。
[0031]本专利技术提供一种锌基合金材料，由以下质量分数的原料制备得到：锌基合金：55～65％，水：10～15％，表面活性剂：5～10％，交联剂：10～30％；所述锌基合金包括60～99％的锌和1～40％的铝。本专利技术通过对锌基合金配方、靶材的制备工艺以及薄膜的制备工艺三部分进行改进，制备得到的锌基合金靶材无形变无裂纹，由该合金材料靶材制备得到的大电阻薄膜有良好的防静电能力，又不能影响电子产品的灵敏度。实验结果表明，本专利技术中的电子薄膜透光率在98％以上，面电阻为2.6
×
106～3.3
×
108Ω/cm2，响应时间为0.17～0.4s。
具体实施方式
[0032]本专利技术提供一种锌基合金材料，由以下质量分数的原料制备得到：
[0033]锌基合金：55～65％，水：10～15％，表面活性剂：5～10％，交联剂：10～30％；
[0034]所述锌基合金包括60～99％的锌和1～40％的铝。
[0035]在本专利技术中，所述锌基合金的质量分数优选为55～65％，更优选为58～60％，具体的，在本专利技术的实施例中，可以是55％、56％、57％、58％、59％、60％、61％、62％、63％、64％
或65％；所述锌基合金的成分为60～99％的锌和1～40％的铝，所述锌基合金中锌的质量含量优选为60～99％，更优选为65～95％，最优选为70～90％，具体的，在本专利技术的实施例中，可以是70％、76％或94％；所述锌基合金中铝的质量含量优选为1～40％，更优选为5～35％，最优选为10～30％，具体的，在本专利技术的实施例中，可以是30％、24％或6％；
[0036]在本专利技术中，所述水优选为超纯水，电导率＞8兆欧，所述水的质量分数优选为10～17％，更优选为11～14％，具体的，在本专利技术的实施例中，可以是10％、11％、12％、13％、14％、15％或15.8％。
[0037]在本专利技术中，所述表面活性剂优选为非离子表面活性剂，具体的，在本专利技术的实施例中，可以是用上海凯茵化工有限公司提供的型号为XL-40的非离子表面活性剂。所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种锌基合金材料，由以下质量分数的原料制备得到：锌基合金：55～65％，水：10～15％，表面活性剂：5～10％，交联剂：10～30％；所述锌基合金包括60～99％的锌和1～40％的铝。2.根据权利要求1所述的锌基合金材料，其特征在于，所述表面活性剂为非离子表面活性剂；所述交联剂为三烯丙基异三聚氰酸酯。3.一种锌基合金材料的制备方法，包括以下步骤：A)以质量分数计，将55～65％的锌基合金、10～15％水、5～10％表面活性剂和10～30％交联剂混合，得到混合浆料；所述锌基合金包括60～99％的锌和1～40％的铝；B)将所述混合浆料在真空条件下进行热处理，得到合金材料粗坯；C)将所述合金材料粗坯进行热等静压处理，得到锌基合金材料。4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述步骤B)中的热处理的真空度为200～300Pa；所述热处理在氮气氛围下进行时，所述热处理的温度为60～90℃，所述热处理的时间为60～90min；所述热处理的氛围不加氮气时，所述热处理的温度为90～120℃，所述热处理的时间为90～120min。5.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述热等静压的温度为900～1300℃，所述热等静压的保温时间为0.5～6小时，所述热等静压在氩气氛围下进行，所述热等静压的压力为50～100MPa。6.根据权利要求5所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄永香，
申请(专利权)人：湖南七点钟文化科技有限公司，
类型：发明
国别省市：