一种超声波振荡显影及蚀刻循环液活化处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种超声波振荡显影及蚀刻循环液活化处理装置，包括：分离罐、安装在所述分离罐上的至少两根电解棒、超声波发生器、连接在所述分离罐底部的残渣收集箱，所述分离罐与所述残渣收集箱之间设置有排渣阀门；所述分离罐内设置有容纳腔，所述容纳腔与所述残渣收集箱相连通，所述电解棒的电解端伸入至容纳腔内，所述超声波发生器安装在所述容纳腔内。本实用新型专利技术通过超声波发生器配合电解棒进行作用，可有效的激活循环液，无需添加还原液，即可将循环液的活性还原如初，有效降低生产成本，实用性强。实用性强。实用性强。

【技术实现步骤摘要】
一种超声波振荡显影及蚀刻循环液活化处理装置


[0001]本技术涉及显影、蚀刻装置领域，尤其涉及一种超声波振荡显影及蚀刻循环液活化处理装置。

技术介绍

[0002]现有技术中，对于放久的显影液蚀刻以及多次使用后性能下降的显影液，一般都是废弃处理或是添加还原剂来恢复其活性。然而采用上述方式处理显影液存在以下问题：1、疲劳的显影液、蚀刻液(以下统称循环液)直接废弃处理或全溶液蒸发干燥所消耗的能源非常大，若添加还原剂可以恢复药水活性但无法将其活性恢复如初；2、循环液中容易形成光刻胶凝聚物或氯化亚铜、氯化铁、氯化亚铁的沉积物污染药水，其沉淀物从溶液中吸取H根或OH根离子惰化溶液，使用中有没得到彻底解决。
[0003]因此，现有技术存在缺陷，需要改进。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是克服现有技术的不足，提供一种超声波振荡显影及蚀刻循环液活化处理装置，解决现有技术中，循环液的活性无法完全恢复的问题；同时解决循环液中的光刻胶凝聚物或氯化亚铜、氯化铁、氯化亚铁的沉积物无法完成清除，导致药水污染的问题。
[0005]本技术的技本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种超声波振荡显影及蚀刻循环液活化处理装置，其特征在于，包括：分离罐、安装在所述分离罐上的至少两根电解棒、超声波发生器、连接在所述分离罐底部的残渣收集箱，所述分离罐与所述残渣收集箱之间设置有排渣阀门；所述分离罐内设置有容纳腔，所述容纳腔与所述残渣收集箱相连通，所述电解棒的电解端伸入至容纳腔内，所述超声波发生器安装在所述容纳腔内。2.根据权利要求1所述的一种超声波振荡显影及蚀刻循环液活化处理装置，其特征在于，所述分离罐的一侧上设置有进液管，另一侧上设置有出液管，且所述进液管设置在所述出液管的上侧。3.根据权利要求1所述的一种超声波振荡显影及蚀刻循环液活化处理装置，其特征在于，所述分离罐包括：罐体、盖在所述罐体上的盖板、连接在所述罐体底部的锥形斗。4.根据权利要求3所述的一种超声波振荡显影及蚀刻循环液活化处理装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡青，徐杰，李哲轩，
申请(专利权)人：迈达微深圳半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：