半导体检测设备的调试件及半导体检测设备的调试方法技术

本申请提供一种调试件及利用调试件调试半导体检测设备的调试方法。调试件包括检测面及设置在检测面上的检测图案。检测图案包括以检测面的中心为中心的同心环、穿过检测面的中心的直径线及标定图形。同心环用于检测调试件是否位于半导体检测设备的承载装置的旋转中心。直径线用于检测检测面的中心是否在半导体检测设备的成像装置拍摄到调试件的视场范围的中心线及其延长线上。直径线与同心环相交形成间隔区域。标定图形位于间隔区域，标定图形用于检测半导体检测设备的成像装置的行频是否与承载装置的旋转速度对应。本申请的调试件及调试方法能够利用检测图案调试半导体检测设备，使半导体检测设备检测待检测件时获取的还原图像不失真。还原图像不失真。还原图像不失真。

【技术实现步骤摘要】
半导体检测设备的调试件及半导体检测设备的调试方法


[0001]本申请涉及检测
，特别涉及一种半导体检测设备的调试件及一种利用调试件调试半导体检测设备的调试方法。

技术介绍

[0002]一些半导体检测设备能够用于拍摄旋转的待检测件，以获取实时生成的扫描图像及经过处理后得到的还原图像。然而，半导体检测设备的成像装置拍摄到待检测件的视场范围的中心线与待检测件的旋转中心不一致时会导致拍摄的待检测件的还原图像失真。而根据失真的还原图像调试半导体检测设备耗时较长，效率较低，且不便捷。

技术实现思路

[0003]本申请实施方式提供一种半导体检测设备的调试件及一种利用调试件调试半导体检测设备的调试方法。
[0004]本申请实施方式的调试件包括检测面及设置在所述检测面上的检测图案。所述检测图案包括以所述检测面的中心为中心的同心环、穿过所述检测面的中心的直径线、及标定图形。所述直径线用于检测所述检测面的中心是否在所述半导体检测设备的成像装置拍摄到所述调试件的视场范围的中心线及其延长线上。所述直径线与所述同心环相交形成间隔区域。所述标定本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体检测设备的调试件，其特征在于，所述调试件包括检测面及设置在所述检测面上的检测图案，所述检测图案包括：以所述检测面的中心为中心的同心环；穿过所述检测面的中心的直径线，所述直径线用于检测所述检测面的中心是否在所述半导体检测设备的成像装置拍摄到所述调试件的视场范围的中心线及其延长线上，所述直径线与所述同心环相交形成间隔区域；及标定图形，所述标定图形位于所述间隔区域，所述标定图形用于检测所述半导体检测设备的成像装置的行频是否与所述半导体检测设备的承载装置的旋转速度对应。2.根据权利要求1所述的调试件，其特征在于，所述同心环包括多个，相邻两个所述同心环之间的距离为所述视场范围的长度的0.1倍；和/或所述同心环的线宽为所述成像装置的像元的长度/宽度的2倍。3.根据权利要求1所述的调试件，其特征在于，所述直径线包括多条直径线，相邻两条所述直径线之间的夹角的取值范围为[1
°
，180
°
]；和/或所述直径线的线宽为所述成像装置的像元的长度/宽度的2倍。4.根据权利要求3所述的调试件，其特征在于，所述同心环包括多个，多个所述同心环与多条所述直径线相交后在径向上及周向上均形成多个所述间隔区域，至少部分所述间隔区域设有所述标定图形，相邻两条所述直径线之间的所述标定图形的中心在所述径向上共线，共线的所述标定图形的尺寸相同。5.根据权利要求4所述的调试件，其特征在于，周向上相邻的所述间隔区域内的所述标定图形位于以所述检测面的中心为中心的同一虚拟圆周上。6.根据权利要求5所述的调试件，其特征在于，每个所述间隔区域设有多个标定图形，每个所述标定图形位于不同的所述虚拟圆周上。7.根据权利要求4
‑
6任意一项所述的调试件，其特征在于，周向上相邻的所述间隔区域内距离所述检测面的中心等距的所述标定图形具有至少两种尺寸。8.根据权利要求4所述的调试件，其特征在于，所述标定图形包括圆形、多边形、椭圆形、跑道形中的任意一种。9.根据权利要求4所述的调试件，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈鲁，刘健鹏，左天成，范铎，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：