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本申请提供一种调试件及利用调试件调试半导体检测设备的调试方法。调试件包括检测面及设置在检测面上的检测图案。检测图案包括以检测面的中心为中心的同心环、穿过检测面的中心的直径线及标定图形。同心环用于检测调试件是否位于半导体检测设备的承载装置的旋...
该专利属于深圳中科飞测科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳中科飞测科技股份有限公司授权不得商用。

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