一种基于柔性机构的六自由度精密运动平台制造技术

本发明专利技术提供了一种基于柔性机构的六自由度精密运动平台，涉及多自由度运动平台技术领域。它包括依次连接的Z轴移动模块、XY轴移动模块、Z轴转动模块和XY轴转动模块，Z轴移动模块中设置有Z轴移动机构，XY轴移动模块中设置有XY轴移动机构，Z轴转动模块中设置有Z轴转动机构，XY轴转动模块中设置有XY轴转动机构，Z轴移动机构、XY轴移动机构、Z轴转动机构和XY轴转动机构均为柔性机构，能够同时实现沿X、Y、Z三轴方向的移动以及绕θx、θy、θz三轴的转动，构型设计更加合理，装配简单，通过使用柔性机构，不存在间隙导致的磨损，运动轨迹连续，可控性好，能够提供更高分辨率的输出位移，控制系统要求更简单，更好地实现执行机构运动控制。更好地实现执行机构运动控制。更好地实现执行机构运动控制。

【技术实现步骤摘要】
一种基于柔性机构的六自由度精密运动平台


[0001]本专利技术涉及多自由度运动平台
，尤其是涉及一种基于柔性机构的六自由度精密运动平台。

技术介绍

[0002]多自由度运动平台，例如六自由度运动平台等，能实现多个不同自由度的运动输出，广泛应用于自动化机加工、机械制造等领域。
[0003]本申请人发现现有技术中至少存在以下技术问题：1）现有多自由度电动平台多是采用传统多自由度机械臂接触式传动，结构复杂，机构冗余度多，加工装配困难；2）现有多自由度电动平台由于间隙的存在导致磨损，需要润滑，难以实现连续的高精密运动控制；3）由于寄生误差的存在，如果要达到更高精度的控制，需要附加额外的解耦机构，因此相应的运动控制系统较为复杂。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种基于柔性机构的六自由度精密运动平台，以解决现有技术中存在的技术问题。本专利技术提供的诸多技术方案中的优选技术方案所能产生的诸多技术效果详见下文阐述。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供了以下技术方案：一种基于柔性机构的六自由度精密本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于柔性机构的六自由度精密运动平台，其特征在于，包括Z轴移动模块（1）、XY轴移动模块（2）、Z轴转动模块（3）和XY轴转动模块（4），其中：所述Z轴移动模块（1）中设置有Z轴移动机构（12）；所述XY轴移动模块（2）连接在所述Z轴移动模块（1）的顶部，所述XY轴移动模块（2）中设置有XY轴移动机构（21）；所述Z轴转动模块（3）连接在所述XY轴移动模块（2）的顶部，所述Z轴转动模块（3）中设置有Z轴转动机构（31）；所述XY轴转动模块（4）连接在所述Z轴转动模块（3）的顶部，X所述XY轴转动模块（4）中设置有XY轴转动机构（41）；所述Z轴移动机构（12）、所述XY轴移动机构（21）、所述Z轴转动机构（31）和所述XY轴转动机构（41）均为柔性机构。2.根据权利要求1所述的基于柔性机构的六自由度精密运动平台，其特征在于：所述Z轴移动模块（1）还包括底座（11）、第一驱动机构（13）、弹簧（14）和平台连接件（15）；所述第一驱动机构（13）的底部与所述底座（11）相连接并且其顶部与所述平台连接件（15）相连接；所述Z轴移动机构（12）的数量为两组，两组所述Z轴移动机构（12）对称设置在所述第一驱动机构（13）的两侧，所述Z轴移动机构（12）的底部与所述底座（11）相连接并且其顶部与所述平台连接件（15）相连接；所述弹簧（14）连接在所述Z轴移动机构（12）与所述平台连接件（15）之间；所述平台连接件（15）与所述XY轴移动模块（2）相连接。3.根据权利要求1所述的基于柔性机构的六自由度精密运动平台，其特征在于：所述XY轴移动模块（2）还包括第二驱动机构安装件（22）和第二驱动机构（23），所述第二驱动机构（23）通过所述第二驱动机构安装件（22）固定于所述XY轴移动机构（21）上。4.根据权利要求3所述的基于柔性机构的六自由度精密运动平台，其特征在于：所述XY轴移动机构（21）分别与所述Z轴移动模块（1）和所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨尚，郑浩，常佳，陈伟海，赵正，
申请(专利权)人：北京航空航天大学杭州创新研究院，
类型：发明
国别省市：