一种取片机构制造技术

本实用新型专利技术请求保护的取片机构，包括机械手、摆臂连接板、活动连接板和取放片板，摆臂连接板安装于机械手上，活动连接板设置于摆臂连接板与取放片板之间，其中活动连接板朝摆臂连接板方向的一侧面通过第一连接组件连接于摆臂连接板，以使活动连接板能够通过第一连接组件沿第一方向作相对于摆臂连接板的运动，活动连接板朝取放片板方向的一侧面通过第二连接组件连接于取放片板，以使取放片板能够通过第二连接组件沿第二方向作相对于活动连接板的运动。本实用新型专利技术的取放片板能够作相对于摆臂连接板的位置调整，进而使得该取片机构后续在放片时，实现对硅片位置的自适应调节，以此确保被该取片机构抓取的硅片能够在载板的载板槽上实现精确定位。槽上实现精确定位。槽上实现精确定位。

【技术实现步骤摘要】
一种取片机构


[0001]本技术属于硅片传送相关的
，特别是涉及一种取片机构。

技术介绍

[0002]PECVD/PVD/RPD制备工艺与设备中硅片的传送为该工序一个重要环节，即由传送装置将硅片移栽到载板上，在放置硅片之前首先要将载板进行精确定位，再通过移载机构带动已排布好硅片的载板放置到PECVD/PVD/RPD的腔室中。为防止镀膜过程将硅片边缘位置镀膜到背面，这对载板定位精度和硅片放置精度提出更高要求。
[0003]现有硅片的抓取，及将抓取的硅片放置到载板上载板槽的定位，通常用CCD 相机拍摄的四轴机器人将电池片自动敷设到托盘指定位置，该方式依靠CCD配合机器人实现精确定位，但每次放置只是一至二片，制造成本高，定位精度高，生产节拍低。在硅片不断地抓取放置过程中，前端硅片传输位置和后端载板位置之间还会产生累积偏差。现有的取片机构与被其抓取的硅片之间的位置是不可调节的，这样后续在放片的过程中无法根据载板上载板槽对应的位置进行适应性调整，使得现有的取片机构无法实现放片位置的精确定位。

技术实现思路

[0004]基于此，有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种取片机构，其特征在于，包括机械手(10)、摆臂连接板(20)、活动连接板(30)和取放片板(40)，所述机械手(10)安装于所述摆臂连接板(20)上，所述活动连接板(30)设置于所述摆臂连接板(20)与所述取放片板(40)之间，其中所述活动连接板(30)朝所述摆臂连接板(20)方向的一侧面通过第一连接组件(101)连接于所述摆臂连接板(20)，以使所述活动连接板(30)能够通过所述第一连接组件(101)沿第一方向作相对于所述摆臂连接板(20)的运动，所述活动连接板(30)朝所述取放片板(40)方向的一侧面通过第二连接组件(102)连接于所述取放片板(40)，以使所述取放片板(40)能够通过所述第二连接组件(102)沿第二方向作相对于所述活动连接板(30)的运动。2.根据权利要求1所述的取片机构，其特征在于，所述取片机构还包括连接框架(50)和活动导向板(60)，所述连接框架(50)安装于所述摆臂连接板(20)上，所述活动导向板(60)转动地安装于所述连接框架(50)远离所述摆臂连接板(20)的一侧，所述第一连接组件(101)安装于所述活动导向板(60)与所述活动连接板(30)之间。3.根据权利要求2所述的取片机构，其特征在于，所述连接框架(50)上转动地连接有多个导轮(51)，多个所述导轮(51)间隔地分布于所述连接框架(50)上，且所述连接框架(50)通过所述导轮(51)转动地连接于所述活动导向板(60)。4.根据权利要求3所述的取片机构，其特征在于，所述活动导向板(60)上开设有多个用...

【专利技术属性】
技术研发人员：许明现，马胜涛，胡林，张杜超，吴天祥，李奎源，段威，
申请(专利权)人：东方日升常州新能源有限公司，
类型：新型
国别省市：