一种硅材料用化学抛光机制造技术

本发明专利技术涉及抛光设备技术领域，且公开了一种硅材料用化学抛光机，包括壳体，壳体的内部固定连接有底座，底座的内部固定安装有双轴电机，双轴电机输出轴的一端固定连接有与底座活动套接的抛光垫，壳体的上端卡接有抛光盘。通过连接结构、液压腔、环形连接腔、环形推板的设置，能够将从环形集液腔中进入环形连接腔内部的颗粒较少的抛光液向上挤压，使抛光液能够从出液管流到抛光垫的边缘，对抛光垫上的抛光液进行补充，并且随着双轴电机的持续旋转，能够实现周而复始的将环形集液腔内部经过沉淀的含颗粒物较少的抛光液间歇不断的挤压到抛光垫的上方，进一步保证抛光液的充分利用，节约成本。成本。成本。

【技术实现步骤摘要】
一种硅材料用化学抛光机


[0001]本专利技术涉及抛光设备
，具体为一种硅材料用化学抛光机。

技术介绍

[0002]硅片的机械化学抛光是硅片的最终加工工序，要求抛光表面具有晶格完整性、高的平面度及洁净性。现有的抛光工艺为通过抛光机台大盘的旋转和抛投自转相结合达到移除硅片表面损伤层，在高速高压抛光条件下，抛光布和硅片之间形成封闭的抛光剂层。同时，在硅片表面形成软质水合膜，抛光盘通过不断去除水合膜进行硅片的抛光，确保硅片表面平整度要求。
[0003]但现有的化学抛光机在抛光硅片的过程中还存在以下不足：首先，在旋转过程中，硅片与夹持头在抛光垫的表面产生离心趋势，极易造成抛光液飞溅，化学作用减小，虽然抛光盘和抛光底座之间为密闭状态，但还是容易造成部分抛光液无法流至硅片的底部，造成抛光液分布的不均匀，导致抛光后的硅片表面凹凸不平，进而影响硅片的使用；其次，抛光过程中抛光液在经过抛光后，抛光液内部会存在较多的磨损颗粒物，如果抛光后的抛光液直接排出将会造成很大的浪费，实际生产过程中也是通过抛光液配合抛光垫进行抛光时需要不断地滴入抛光液，利用抛光液的流动性将抛光后的小颗粒带走，但这种方式收效甚微，无法快速实现抛光液的整体置换，抛光液中还会残留较多的磨损颗粒物，不利于抛光，并且抛光液一直源源不断的使用会造成大量浪费，不利于生产。

技术实现思路

[0004]针对上述
技术介绍
的不足，本专利技术提供了一种硅材料用化学抛光机，具备节约抛光液、提高抛光效果的优点，解决了
技术介绍
提出的问题。
[0005]本专利技术提供如下技术方案：一种硅材料用化学抛光机，包括壳体，壳体的内部固定连接有底座，底座的内部固定安装有双轴电机，双轴电机输出轴的一端固定连接有与底座活动套接的抛光垫，壳体的上端卡接有抛光盘，抛光盘的上端固定连接有连接件，连接件的中部活动套接有与抛光盘活动套接的转轴，转轴的底端固定连接有安装在抛光垫上方的夹具，所述夹具的底部固定安装有硅片，所述转轴底部的侧面固定安装有位于抛光盘内部的第一齿轮，所述第一齿轮的一侧啮合有与抛光盘活动套接的第二齿轮，所述抛光盘的内部活动套接有内齿圈，所述内齿圈的内圈与第二齿轮啮合，所述内齿圈的底部固定连接有三组与抛光盘活动套接的压杆，所述底座上端的边缘开设有位于压杆下方的环形槽，所述环形槽的底部固定连接有蓄水环，所述底座的内部开设有位于双轴电机外侧的环形集液腔，所述环形集液腔的外侧开设有若干组等圆周排列的进液管，所述进液管的另一端与环形槽内侧壁连接，所述环形集液腔底部的外侧开设有若干组排液管，所述排液管的另一端连接有开设在底座内部的环形储液槽。
[0006]优选的，所述底座的内部开设有设置在双轴电机的下方液压腔，所述液压腔的底部固定安装有支撑弹簧，所述支撑弹簧的上端固定连接有与液压腔活动套接的连接结构，
所述双轴电机输出轴另一端的两侧均固定连接有与连接结构活动套接的限位杆，所述限位杆截面为圆形，所述液压腔的两侧均设置有开设在底座内部的活动腔，所述活动腔的内部活动套接有活塞杆，所述液压腔的底部与活动腔的底部相连通，且液压腔内部与活动腔中活塞杆底部之间填充有液压油，所述活动腔的上方设置有开设在底座内部的环形连接腔，所述环形连接腔的内部活动套接有环形推板，所述活塞杆的上端与环形推板的底部固定连接，所述环形连接腔底部的外侧设置有若干组与环形集液腔相连通的连接管，所述环形连接腔上端的侧面固定连接有若干组等距排列的出液管，所述出液管的上端延伸到底座顶面安装的抛光垫的外侧。
[0007]优选的，所述连接结构包括套筒主体，所述套筒主体内壁的两侧均开设有竖直槽，所述竖直槽两侧壁之间的距离大于限位杆的杆径，两组所述竖直槽的首尾之间通过开设在套筒主体内侧的两组螺旋式弧形凹槽连接，两组所述弧形凹槽以套筒主体中心对称方式分布。
[0008]优选的，所述第一齿轮的外径小于第二齿轮的外径，所述第二齿轮的外径小于内齿圈的内径，所述压杆在内齿圈的底部呈等距分布。
[0009]优选的，所述蓄水环的高度高于底座的上端面，所述蓄水环为延展性好、弹性大的吸水海绵，所述吸水海绵内部结构密度从上至下逐渐增大，且蓄水环的外侧粘接有不透水的弹性橡胶封皮。
[0010]优选的，所述竖直槽两侧壁之间的距离大于限位杆的杆径，所述套筒主体的底部设置有密封板，所述环形推板的中部设置有若干组开口朝向环形连接腔底部的止回阀，所述出液管的上端开口处设置有开口朝上的止回阀。
[0011]本专利技术具备以下有益效果：
[0012]1、通过蓄水环、环形集液腔的设置，不仅能够对抛光液还具有阻挡作用，保证抛光垫上的硅片底部的水合膜可以被充分的抛光液包覆，同时能够使海绵体内部抛光液中颗粒物进行初步沉淀，从而在压杆挤压蓄水环时，保证蓄水环上方被挤压回到抛光垫上方的抛光液内部含有较少的颗粒物，确保抛光效果的同时提高抛光液的利用率，并且压杆挤压蓄水环还会使其内部吸收的抛光液从进液管流入环形集液腔中汇集，汇集的抛光液中颗粒物会在环形集液腔中沉降到其底部，其底部的含有较多颗粒物的抛光液将会从排液管中被排出，能够去除抛光使用后抛光液中较多、甚至所有的颗粒物。
[0013]2、通过连接结构、液压腔、环形连接腔、环形推板的设置，由于在双轴电机带动抛光垫缓慢旋转的过程中还会带动其输出轴另一端的限位杆进行同步旋转，使套筒主体克服支撑弹簧的弹力向下运动，通过挤压液压油，推动两侧活动腔内部的活塞杆向上移动，能够将从环形集液腔中进入环形连接腔内部的颗粒较少的抛光液向上挤压，使抛光液能够从出液管流到抛光垫的边缘，对抛光垫上的抛光液进行补充，进一步保证抛光液的充分利用，节约成本，并且在限位杆运动到弧形凹槽的最上端时，会再次进入竖直槽内部，此时套筒主体在支撑弹簧的回弹作用下快速上升，使得限位杆再次回到竖直槽的底部，随着双轴电机的持续旋转，能够实现周而复始的将环形集液腔内部经过沉淀的含颗粒物较少的抛光液间歇不断的挤压到抛光垫的上方。
附图说明
[0014]图1为本专利技术结构示意图；
[0015]图2为本专利技术结构内齿圈示意图；
[0016]图3为本专利技术结构A处放大示意图；
[0017]图4为本专利技术结构连接结构示意图；
[0018]图5为本专利技术结构B
‑
B处剖面示意图。
[0019]图中：1、壳体；2、底座；3、双轴电机；4、抛光垫；5、抛光盘；6、连接件；7、转轴；8、夹具；9、硅片；10、第一齿轮；11、第二齿轮；12、内齿圈；13、压杆；14、环形槽；15、蓄水环；16、环形集液腔；17、进液管；18、排液管；19、环形储液槽；20、液压腔；21、支撑弹簧；22、连接结构；221、套筒主体；222、竖直槽；223、弧形凹槽；23、限位杆；24、活动腔；25、活塞杆；26、环形连接腔；27、环形推板；28、连接管；29、出液管。
具体实施方式
[0020]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅材料用化学抛光机，包括壳体(1)，壳体(1)的内部固定连接有底座(2)，底座(2)的内部固定安装有双轴电机(3)，双轴电机(3)输出轴的一端固定连接有与底座(2)活动套接的抛光垫(4)，壳体(1)的上端卡接有抛光盘(5)，抛光盘(5)的上端固定连接有连接件(6)，连接件(6)的中部活动套接有与抛光盘(5)活动套接的转轴(7)，转轴(7)的底端固定连接有安装在抛光垫(4)上方的夹具(8)，所述夹具(8)的底部固定安装有硅片(9)，其特征在于：所述转轴(7)底部的侧面固定安装有位于抛光盘(5)内部的第一齿轮(10)，所述第一齿轮(10)的一侧啮合有与抛光盘(5)活动套接的第二齿轮(11)，所述抛光盘(5)的内部活动套接有内齿圈(12)，所述内齿圈(12)的内圈与第二齿轮(11)啮合，所述内齿圈(12)的底部固定连接有三组与抛光盘(5)活动套接的压杆(13)，所述底座(2)上端的边缘开设有位于压杆(13)下方的环形槽(14)，所述环形槽(14)的底部固定连接有蓄水环(15)，所述底座(2)的内部开设有位于双轴电机(3)外侧的环形集液腔(16)，所述环形集液腔(16)的外侧开设有若干组等圆周排列的进液管(17)，所述进液管(17)的另一端与环形槽(14)内侧壁连接，所述环形集液腔(16)底部的外侧开设有若干组排液管(18)，所述排液管(18)的另一端连接有开设在底座(2)内部的环形储液槽(19)。2.根据权利要求1所述的一种硅材料用化学抛光机，其特征在于：所述底座(2)的内部开设有设置在双轴电机(3)的下方液压腔(20)，所述液压腔(20)的底部固定安装有支撑弹簧(21)，所述支撑弹簧(21)的上端固定连接有与液压腔(20)活动套接的连接结构(22)，所述双轴电机(3)输出轴另一端的两侧均固定连接有与连接结构(22)活动套接的限位杆(23)，所述限位杆(23)截面为圆形，所述液压腔(20)的两侧均设置有开设在底座(2)内部的活动腔(24)，所述活动腔(24)的内部活动套接有活塞杆(25)，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈韬，
申请(专利权)人：陈韬，
类型：发明
国别省市：