准直物镜调节机构及物镜测试系统技术方案

一种准直物镜调节机构及物镜测试系统，涉及物镜波像差测量技术领域。该准直物镜调节机构包括测量传感器、准直物镜、准直物镜座、弹性结构和调节螺丝；所述准直物镜通过所述准直物镜座安装在所述测量传感器上；所述调节螺丝用于调节所述准直物镜与所述测量传感器之间的相对位置；所述弹性结构用于拉紧所述准直物镜与所述测量传感器。该物镜测试系统包括准直物镜调节机构。本发明专利技术的目的在于提供一种准直物镜调节机构及物镜测试系统，以在一定程度上解决现有技术中存在的在小空间内准直物镜姿态调整较难的技术问题。调整较难的技术问题。调整较难的技术问题。

【技术实现步骤摘要】
准直物镜调节机构及物镜测试系统


[0001]本专利技术涉及物镜波像差测量
，具体而言，涉及一种准直物镜调节机构及物镜测试系统。

技术介绍

[0002]随着集成电路产业芯片特征尺寸的不断缩小，对曝光系统的性能要求不断提高，而投影物镜的像差控制直接关系着曝光图形线宽质量，因此，需要对投影物镜的主要性能参数进行离线或在线检测，确保满足设备工艺需求；主要检测参数有波像差、畸变、倍率、像散、IPD(集成产品开发，英文全称Integrated Product Development)和NA(光学系统的数值孔径，英文全称Numerical Aperture)一致性等。
[0003]测量传感器使用哈特曼传感器，在光线经过物镜折射聚光后，需经过准直物镜准直，然后经过哈特曼传感器的微透镜阵列并分别聚焦到CCD(电荷耦合器件，英文全称Charge
‑
coupled Device)靶面上。为实现测量精度，需首先校正准直物镜与哈特曼传感器的相对位置，消除准直物镜倾斜带来的系统误差。由于该测量系统组件之间结构紧凑，在小空间内调节准直物镜的姿态存在较大困难。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种准直物镜调节机构及物镜测试系统，以在一定程度上解决现有技术中存在的在小空间内准直物镜姿态调整较难的技术问题。
[0005]为了实现上述目的，本专利技术提供了以下技术方案：
[0006]一种准直物镜调节机构，包括测量传感器、准直物镜、准直物镜座、弹性结构和调节螺丝；
[0007]所述准直物镜通过所述准直物镜座安装在所述测量传感器上；
[0008]所述调节螺丝用于调节所述准直物镜与所述测量传感器之间的相对位置；
[0009]所述弹性结构用于拉紧所述准直物镜与所述测量传感器。
[0010]在上述任一技术方案中，可选地，所述准直物镜座包括镜座盖板和与所述镜座盖板固定连接的镜座调节座；
[0011]所述镜座盖板与所述准直物镜固定连接，所述镜座调节座与所述测量传感器固定连接；
[0012]所述调节螺丝与所述镜座盖板螺接，且所述调节螺丝的底部穿过所述镜座盖板并与所述镜座调节座抵接，以通过旋转所述调节螺丝来调节所述准直物镜与所述测量传感器之间的相对位置。
[0013]在上述任一技术方案中，可选地，所述弹性结构为弹性件；所述弹性件的一端与所述镜座盖板连接，另一端与所述镜座调节座连接；
[0014]或者，所述弹性结构为设置在所述镜座调节座上的沟槽组；所述沟槽组包括沿所述镜座调节座周向依次间隔设置的多个沟槽；所述沟槽组位于座板连接部与座感连接部之
间；所述座板连接部为所述镜座调节座的与所述镜座盖板的连接部分，所述座感连接部为所述镜座调节座的与所述测量传感器的连接部分。
[0015]在上述任一技术方案中，可选地，所述镜座调节座包括依次固定连接的调节座上部和调节座下部；所述座板连接部和所述沟槽组均设置在所述调节座上部的侧壁，所述座感连接部设置在所述调节座下部；
[0016]所述镜座调节座设置有贯穿所述调节座上部和所述调节座下部的调节座通孔；所述调节座通孔、所述调节座上部和所述调节座下部同光轴设置；
[0017]所述调节座通孔为阶梯孔，所述调节座上部的底板的内底面具有与所述调节螺丝的底部抵接的调节座内底支撑面；
[0018]所述调节座上部的底板的外径大于所述调节座下部的外径，所述调节座上部的底板的外底面具有与所述测量传感器的传感器定位端面抵接的调节座外底配合面。
[0019]在上述任一技术方案中，可选地，所述调节座上部的座板连接部内壁上设置有与所述镜座盖板螺接的调节座内螺纹；
[0020]或者，所述调节座下部的外壁上设置有与所述测量传感器的传感器内螺纹螺接的调节座外螺纹；
[0021]或者，所述调节座上部的侧壁的顶面为与所述镜座盖板配合的调节座上部配合面；
[0022]或者，所述镜座盖板设置有盖板通孔；所述准直物镜穿过所述盖板通孔，且所述准直物镜的至少一部分延伸至所述调节座通孔内；
[0023]或者，所述沟槽组的数量为多个，多个所述沟槽组沿所述镜座调节座的轴向依次间隔设置。
[0024]在上述任一技术方案中，可选地，所述镜座盖板包括依次固定连接的盖板上部和盖板下部；
[0025]所述盖板上部的外径大于所述盖板下部的外径，所述所述盖板上部的底面具有与所述镜座调节座配合的盖板上部配合面；
[0026]所述盖板下部的底面具有与所述准直物镜的准直物镜定位端面配合的盖板下部配合面；
[0027]所述盖板下部的外周面具有与所述镜座调节座螺接的盖板外螺纹；
[0028]所述镜座盖板设置有与所述准直物镜螺接的盖板通孔；所述盖板通孔贯穿所述盖板上部和所述盖板下部。
[0029]在上述任一技术方案中，可选地，所述镜座盖板设置有多个与所述调节螺丝相对应的顶丝孔，多个所述顶丝孔沿所述镜座盖板的周向依次间隔设置；所述调节螺丝通过所述顶丝孔与所述镜座盖板螺接。
[0030]在上述任一技术方案中，可选地，多个所述顶丝孔沿所述镜座盖板的周向均匀设置；
[0031]或者，所述调节螺丝和所述顶丝孔的数量均为4个；
[0032]或者，所述调节螺丝为球头顶丝；
[0033]或者，所述测量传感器为哈特曼传感器。
[0034]在上述任一技术方案中，可选地，所述准直物镜包括与所述镜座盖板配合的准直
物镜外螺纹；
[0035]所述准直物镜的准直物镜定位端面位于所述准直物镜外螺纹的下方。
[0036]一种物镜测试系统，包括物镜和准直物镜调节机构；
[0037]所述物镜与所述准直物镜调节机构同光轴设置。
[0038]本专利技术的有益效果主要在于：
[0039]本专利技术提供的准直物镜调节机构及物镜测试系统，通过调节螺丝调节准直物镜与测量传感器之间的相对位置，可较容易的实现在较小空间内准直物镜的姿态调节，在一定程度上提升了准直物镜调节机构所在的物镜测试系统的测量精度；通过弹性结构拉紧准直物镜与测量传感器，以保证准直物镜与测量传感器之间的连接刚度，进而保证调节螺丝的预紧力，在一定程度上保证了调节螺丝的调节精度，进而提升了物镜测试系统的测量精度。
[0040]为使本申请的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合附图，作详细说明如下。
附图说明
[0041]为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本专利技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0042]图1为本专利技术实施例提供的准直物镜调节机构的结构原理图；
[0043]图2为本专利技术实施例提供的准直物镜调节机构的结构示意图；
[0044]图3为本专利技术实施本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种准直物镜调节机构，其特征在于，包括测量传感器(2)、准直物镜(3)、准直物镜座(4)、弹性结构(5)和调节螺丝(6)；所述准直物镜(3)通过所述准直物镜座(4)安装在所述测量传感器(2)上；所述调节螺丝(6)用于调节所述准直物镜(3)与所述测量传感器(2)之间的相对位置；所述弹性结构(5)用于拉紧所述准直物镜(3)与所述测量传感器(2)。2.根据权利要求1所述的准直物镜调节机构，其特征在于，所述准直物镜座(4)包括镜座盖板(8)和与所述镜座盖板(8)固定连接的镜座调节座(9)；所述镜座盖板(8)与所述准直物镜(3)固定连接，所述镜座调节座(9)与所述测量传感器(2)固定连接；所述调节螺丝(6)与所述镜座盖板(8)螺接，且所述调节螺丝(6)的底部穿过所述镜座盖板(8)并与所述镜座调节座(9)抵接，以通过旋转所述调节螺丝(6)来调节所述准直物镜(3)与所述测量传感器(2)之间的相对位置。3.根据权利要求2所述的准直物镜调节机构，其特征在于，所述弹性结构(5)为弹性件；所述弹性件的一端与所述镜座盖板(8)连接，另一端与所述镜座调节座(9)连接；或者，所述弹性结构(5)为设置在所述镜座调节座(9)上的沟槽组(904)；所述沟槽组(904)包括沿所述镜座调节座(9)周向依次间隔设置的多个沟槽；所述沟槽组(904)位于座板连接部与座感连接部之间；所述座板连接部为所述镜座调节座(9)的与所述镜座盖板(8)的连接部分，所述座感连接部为所述镜座调节座(9)的与所述测量传感器(2)的连接部分。4.根据权利要求3所述的准直物镜调节机构，其特征在于，所述镜座调节座(9)包括依次固定连接的调节座上部(910)和调节座下部(920)；所述座板连接部和所述沟槽组(904)均设置在所述调节座上部(910)的侧壁，所述座感连接部设置在所述调节座下部(920)；所述镜座调节座(9)设置有贯穿所述调节座上部(910)和所述调节座下部(920)的调节座通孔(930)；所述调节座通孔(930)、所述调节座上部(910)和所述调节座下部(920)同光轴设置；所述调节座通孔(930)为阶梯孔，所述调节座上部(910)的底板的内底面具有与所述调节螺丝(6)的底部抵接的调节座内底支撑面(906)；所述调节座上部(910)的底板的外径大于所述调节座下部(920)的外径，所述调节座上部(910)的底板的外底面具有与所述测量传感器(2)的传感器定位端面(201)抵接的调节座外底配合面(901)。5.根据权利要求4所述的准直物镜调节机构，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：王勇威，孙明睿，武震，田锐，李蓉，王东海，
申请(专利权)人：北京半导体专用设备研究所中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：