一种复合图形化衬底、含有该衬底的外延片及发光二极管制造技术

本实用新型专利技术公开了一种复合图形化衬底、含有该衬底的外延片及发光二极管；所述衬底以中心为圆心，分成多个同心环状区域，同一环状区域内的图形的底宽和图形之间的间距相同，不同环状区域内的图形的高度由内向外依次递增或递减；所述衬底的翘曲度为正值时，不同环状区域内的图形的高度由内向外依次递增；所述衬底的翘曲度为负值时，不同环状区域内的图形的高度由内向外依次递减。本实用新型专利技术利用不同环状区域内的图形的高度由内向外依次递增或递减，改善衬底外延生长后的翘曲现象，保证波长均匀性。性。性。

【技术实现步骤摘要】
一种复合图形化衬底、含有该衬底的外延片及发光二极管


[0001]本技术涉及半导体
，尤其涉及一种复合图形化衬底、含有该衬底的外延片及发光二极管。

技术介绍

[0002]LED作为新一代光源，被广泛应用在照明、显示、背光乃至光通信等领域。衬底是LED产品的重要组成部分，它是具有特定晶面和适当电学，光学和机械特性的用于生长外延层的洁净单晶薄片，衬底不仅起着电气性能的作用，而且也起着机械支撑的作用。
[0003]在现有技术中，衬底以中心为圆心，各区域的图形底宽、高度及图形之间的间距均相同，外延生长后翘曲度较大，导致其波长均匀性较差。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种复合图形化衬底、含有该衬底的外延片及发光二极管，改善衬底外延生长后的翘曲现象，保证波长均匀性，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]一种复合图形化衬底，所述衬底以中心为圆心，分成多个同心环状区域，同一环状区域内的图形的底宽和图形之间的间距相同，不同环状区域内的图形的高度本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种复合图形化衬底，其特征在于：所述衬底（10）以中心为圆心，分成多个同心环状区域，同一环状区域内的图形的底宽和图形之间的间距相同，不同环状区域内的图形的高度由内向外依次递增或递减。2.如权利要求1所述的一种复合图形化衬底，其特征在于：所述衬底（10）的翘曲度为正值时，不同环状区域内的图形的高度由内向外依次递增。3.如权利要求1所述的一种复合图形化衬底，其特征在于：所述衬底（10）的翘曲度为负值时，不同环状区域内的图形的高度由内向外依次递减。4.如权利要求1所述的一种复合图形化衬底，其特征在于：所述同心环状区域的数量为2～5个。5.如权利要求2或3所述的一种复合图形化衬底，其特征在于：所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭园，王淑姣，吕腾飞，宋长伟，展望，程志青，芦玲，
申请(专利权)人：淮安澳洋顺昌光电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：