版库装置、版库系统及姿态调整方法制造方法及图纸

本申请涉及版库存储技术领域，尤其是涉及一种版库装置、版库系统及姿态调整方法，版库装置包括Y向调整构件、RxRy调整构件、Rz调整构件、RxRy调节组件、Rz调节组件、X向调节组件及版盒，Y向调整构件、RxRy调整构件及Rz调整构件从下向上顺次设置；Y向调整构件与Rz调整构件通过RxRy调节组件相连，用于调节及锁定Y向调整构件及Rz调整构件的Rx和Ry；Rz调整构件与RxRy调整构件及Y向调整构件均通过Rz调节组件相连，用于调节及锁定Rz调整构件的Rz；Rz调整构件与版盒通过X向调节组件相连，用于调节及锁紧版盒的X向位置。可见，本装置可调节的自由度多、适应性好，调整过程简单、省力、精度高。精度高。精度高。

【技术实现步骤摘要】
版库装置、版库系统及姿态调整方法


[0001]本申请涉及版库存储
，尤其是涉及一种版库装置、版库系统及姿态调整方法。

技术介绍

[0002]现有掩模版缓存设备(内版库设备)，一般是借助模组垂向运动，而后借助调平顶丝完成版库的姿态调整，这种方式调整的自由度少、适应性差，调整过程繁琐、费时、精度低。

技术实现思路

[0003]本申请的目的在于提供一种版库装置、版库系统及姿态调整方法，在一定程度上解决了现有技术中存在的现有掩模版缓存设备的姿态调整过程中，调整的自由度少、适应性差，调整过程繁琐、费时、精度低的技术问题。
[0004]本申请提供了一种版库装置，包括：姿态调整机构以及设置于所述姿态调整机构的版盒，所述姿态调整机构包括Y向调整构件、RxRy调整构件、Rz调整构件、RxRy调节组件、Rz调节组件以及X向调节组件；其中，所述Y向调整构件、所述RxRy调整构件以及所述Rz调整构件从下向上顺次设置；
[0005]所述Y向调整构件与所述Rz调整构件通过所述RxRy调节组件相连接，且所述RxRy调节组件用于调节以及锁定所述Y向调整构件以及所述Rz调整构件的RX和RY；
[0006]所述Rz调整构件与所述RxRy调整构件以及所述Y向调整构件均通过所述Rz调节组件相连接，且所述Rz调节组件用于调节以及锁定所述Rz调整构件的Rz；
[0007]所述Rz调整构件与所述版盒通过所述X向调节组件相连接，所述X向调节组件用于调节以及锁紧所述版盒的X向位置。
[0008]在上述技术方案中，进一步地，所述RxRy调节组件包括锁紧螺栓、锁紧螺母、锥面垫圈以及球面垫圈；
[0009]其中，所述锁紧螺栓依次穿设于所述Y向调整构件、所述锥面垫圈、所述球面垫圈以及所述RxRy调整构件；
[0010]所述锥面垫圈的锥面与所述球面垫圈的球面相配合；所述锁紧螺母旋拧于所述螺栓，并且用于锁紧所述Y向调整构件以及所述RxRy调整构件。
[0011]在上述任一技术方案中，进一步地，所述Rz调节组件包括Rz导向销以及Rz调整座；其中，所述Rz调整构件和所述RxRy调整构件通过Rz导向销转动连接；
[0012]所述Rz调整座与所述Y向调整构件相连接；
[0013]所述Rz调整座形成有第一腰形孔，所述Rz调整座通过穿设于所述第一腰形孔的第一紧固构件与所述Rz调整构件相连接；所述Rz调整座形成有第一螺纹施力孔。
[0014]在上述任一技术方案中，进一步地，所述Rz调节组件还包括至少三个第二紧固构件，且沿着所述版盒的宽度方向，至少两个所述第二紧固构件设置于所述版盒的一侧，至少
一个所述第二紧固构件设置于所述版盒的相对的另一侧；
[0015]至少三个所述第二紧固构件均连接于所述Rz调整构件以及所述RxRy调整构件。
[0016]在上述任一技术方案中，进一步地，所述X向调节组件包括X向导向销、导向孔、第二腰形孔、第三紧固构件以及X向调整座；
[0017]其中，所述导向孔以及所述第二腰形孔均形成于所述版盒，所述X向导向销设置于所述Rz调整构件，并且插设于所述导向孔内，所述X向导向销能够沿着所述导向孔移动；
[0018]所述第三紧固构件通过所述第二腰形孔连接所述Rz调整构件以及所述版盒；
[0019]所述X向调整座与所述Rz调整构件相连接，且所述X向调整座形成有第二螺纹施力孔。
[0020]在上述任一技术方案中，进一步地，所述X向导向销的数量为两个，且两个所述X向导向销沿着所述版盒的长度方向顺次间隔设置。
[0021]在上述任一技术方案中，进一步地，所述版盒包括：整体式版盒、入位检测装置、凸版检测装置、存在检测装置、右侧反射组件、左侧反射组件、版叉限位构件以及多个吸附组件；
[0022]其中，多个所述吸附组件均设置于所述整体式版盒内，且沿着所述整体式版盒的高度方向顺次设置；
[0023]所述入位检测装置和所述凸版检测装置均设置于所述整体式版盒的顶部；所述右侧反射组件以及所述左侧反射组件分别设置于所述整体式版盒的底部的相对的两侧；
[0024]任一所述吸附组件均配设有所述存在检测装置，且所述存在检测装置设置于所述吸附组件的侧部；
[0025]所述版叉限位构件设置于所述整体式版盒的一侧。
[0026]在上述任一技术方案中，进一步地，所述吸附组件包括：支撑板件、吸附构件、第一限位构件以及第二限位构件；
[0027]其中，所述支撑板件的一侧形成有沿其宽度方向延伸的安装凸起部，所述第一限位构件设置于所述安装凸起部的一端，所述第二限位构件设置于所述安装凸起部的相对的另一端；所述支撑板件的相对的另一侧形成有沿其宽度方向延伸的限位凸起部；
[0028]所述吸附构件设置于所述安装凸起部，且位于所述第一限位构件和所述第二限位构件之间；
[0029]所述第一限位构件形成有垂直于所述支撑板件的第一限位部，所述第二限位构件形成有垂直于所述支撑板件的第二限位部。
[0030]在上述任一技术方案中，进一步地，所述版库装置还包括Z向模组，所述姿态调整机构与所述Z向模组向连接，所述Z向模组用于驱动所述姿态调整机构沿着Z向运动；和/或
[0031]所述版库装置还包括支撑架，所述Y向调整构件设置于所述支撑架。
[0032]本申请还提供了一种版库系统，包括上述技术方案所述的版库装置，因而，具有该版库装置的全部有益技术效果，在此，不再赘述。
[0033]在上述技术方案中，进一步地，所述版库系统包括转轴装置、支撑构件、气浴装置以及控制装置；其中，所述支撑构件通过所述转轴装置与目标地相连接；所述Z向模组设置于所述支撑构件的一侧，所述控制装置设置于所述支撑构件的另一侧；所述版库装置设置于所述Z向模组的远离所述支撑构件的一侧；
[0034]所述版库装置的版盒形成有A面以及B面，所述A面垂直于所述Z向模组的高度方向，所述B面平行于所述Z向模组的高度方向，且所述B面沿着所述版盒的宽度方向设置；
[0035]所述气浴装置设置于所述版库装置的一侧，用于向所述版库装置吹风。
[0036]本申请还提供了一种姿态调整方法，包括上述任一技术方案所述的版库装置，因而，具有该版库装置的全部有益技术效果，在此，不再赘述。
[0037]在上述技术方案中，进一步地，所述姿态调整方法包括如下步骤：
[0038]首先按照设备装配作业指导完成所述版库系统的初步集成工作，满足设计要求；
[0039]所述版库系统通过其转轴装置集成到掩模传输分系统上，将调试坐标原点建立在掩模传输分系统的交换版手的版叉上；
[0040]运行所述Z向模组，驱动所述版盒装置沿着Z向运动，选定所述版盒装置的版盒的A面与B面作为检测面，并检测出A面的
△
x与
△
y，调整所述转轴装置，使得A面的
△
x与
△
y在误差允许范围内，检测B面的<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种版库装置，其特征在于，包括：姿态调整机构以及设置于所述姿态调整机构的版盒，所述姿态调整机构包括Y向调整构件、RxRy调整构件、Rz调整构件、RxRy调节组件、Rz调节组件以及X向调节组件；其中，所述Y向调整构件、所述RxRy调整构件以及所述Rz调整构件从下向上顺次设置；所述Y向调整构件与所述Rz调整构件通过所述RxRy调节组件相连接，且所述RxRy调节组件用于调节以及锁定所述Y向调整构件以及所述Rz调整构件的RX和RY；所述Rz调整构件与所述RxRy调整构件以及所述Y向调整构件均通过所述Rz调节组件相连接，且所述Rz调节组件用于调节以及锁定所述Rz调整构件的Rz；所述Rz调整构件与所述版盒通过所述X向调节组件相连接，所述X向调节组件用于调节以及锁紧所述版盒的X向位置。2.根据权利要求1所述的版库装置，其特征在于，所述RxRy调节组件包括锁紧螺栓、锁紧螺母、锥面垫圈以及球面垫圈；其中，所述锁紧螺栓依次穿设于所述Y向调整构件、所述锥面垫圈、所述球面垫圈以及所述RxRy调整构件；所述锥面垫圈的锥面与所述球面垫圈的球面相配合；所述锁紧螺母旋拧于所述螺栓，并且用于锁紧所述Y向调整构件以及所述RxRy调整构件。3.根据权利要求1所述的版库装置，其特征在于，所述Rz调节组件包括Rz导向销以及Rz调整座；其中，所述Rz调整构件和所述RxRy调整构件通过Rz导向销转动连接；所述Rz调整座与所述Y向调整构件相连接；所述Rz调整座形成有第一腰形孔，所述Rz调整座通过穿设于所述第一腰形孔的第一紧固构件与所述Rz调整构件相连接；所述Rz调整座形成有第一螺纹施力孔。4.根据权利要求1所述的版库装置，其特征在于，所述Rz调节组件还包括至少三个第二紧固构件，且沿着所述版盒的宽度方向，至少两个所述第二紧固构件设置于所述版盒的一侧，至少一个所述第二紧固构件设置于所述版盒的相对的另一侧；至少三个所述第二紧固构件均连接于所述Rz调整构件以及所述RxRy调整构件。5.根据权利要求1所述的版库装置，其特征在于，所述X向调节组件包括X向导向销、导向孔、第二腰形孔、第三紧固构件以及X向调整座；其中，所述导向孔以及所述第二腰形孔均形成于所述版盒，所述X向导向销设置于所述Rz调整构件，并且插设于所述导向孔内，所述X向导向销能够沿着所述导向孔移动；所述第三紧固构件通过所述第二腰形孔连接所述Rz调整构件以及所述版盒；所述X向调整座与所述Rz调整构件相连接，且所述X向调整座形成有第二螺纹施力孔。6.根据权利要求5所述的版库装置，其特征在于，所述X向导向销的数量为两个，且两个所述X向导向销沿着所述版盒的长度方向顺次间隔设置。7.根据权利要求1所述的版库装置，其特征在于，所述版盒包括：整体式版盒、入位检测装置、凸版检测装置、存在检测装置、右侧反射组件、左侧反射组件、版叉限位构件以及多个吸附组件；其中，多个所述吸附组件均设置于所述整体式版盒内，且沿着所述整体式版盒的高度方向...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵东雷，关宏武，王浩楠，林继柱，刘颖，
申请(专利权)人：北京半导体专用设备研究所中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：