红外探测器杜瓦组件检漏装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供的红外探测器杜瓦组件检漏装置，包括检漏工装、检漏仪、机械泵以及检漏气体供应单元；检漏工装包括槽体、盖体以及至少两路检漏管路，每路检漏管路的一端设于槽体内用于与杜瓦组件连接，每路检漏管路的另一端设于槽体外并连接到检漏仪；槽体与盖体形成一腔体，机械泵与腔体连接用于抽取腔体内的气体，检漏气体供应单元与腔体连接用于向腔体内充入检漏气体以提供正压气体氛围。在本实用新型专利技术中，通过在检漏工装内设置至少两路检漏管路，以实现至少两个杜瓦组件的同时检漏，以降低检漏的成本，并且，利用机械泵及检漏气体供应单元在腔体内形成一正压的检漏气体氛围，提高杜瓦组件的内外的压差，从而提高杜瓦检漏装置的检漏精度。置的检漏精度。置的检漏精度。

【技术实现步骤摘要】
红外探测器杜瓦组件检漏装置


[0001]本技术涉及半导体
，特别涉及一种红外探测器杜瓦组件检漏装置。

技术介绍

[0002]红外探测器主要包括杜瓦组件和制冷机两大部分。红外探测器的杜瓦组件包括芯片和杜瓦，芯片封装于杜瓦内，杜瓦为芯片提供真空的工作环境。真空度是杜瓦组件的重要可靠性指标，其将直接影响杜瓦组件的使用寿命。
[0003]因此，在杜瓦组件封装前，需对杜瓦组件进行检漏测试。现有的杜瓦组件检漏测试方式为人工检漏：将待测杜瓦组件与检漏仪连接，再手持氦气袋对待测杜瓦组件的各处(周围)进行喷射氦气，并通过观察检漏仪上的真空读数的变化确定气密性。在上述检漏过程较为粗糙，检漏精度较低，难以准确反映杜瓦组件的真空度。另外，上述检漏过程的检漏效率极低且对氦气的浪费极大，不利于降低生产成本。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种红外探测器杜瓦组件检漏装置，以提高对杜瓦组件的检漏测试的精度。
[0005]本技术的另一目的在于降低杜瓦组件检漏测试的成本。
[0006]为解决上述技术问题，本技术提供一种红外本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种红外探测器杜瓦组件检漏装置，其特征在于，包括检漏工装、检漏仪、机械泵以及检漏气体供应单元；所述检漏工装包括槽体、盖体以及至少两路检漏管路，每路所述检漏管路的一端设于所述槽体内用于与所述杜瓦组件连接，每路所述检漏管路的另一端设于所述槽体外并汇总连接到所述检漏仪，每路所述检漏管路上设有单向控制阀门；所述槽体与所述盖体形成一腔体，所述机械泵与所述腔体连接用于抽取所述腔体内的气体，所述检漏气体供应单元与所述腔体连接用于向所述腔体内充入检漏气体以提供正压的检漏气体氛围。2.根据权利要求1所述的红外探测器杜瓦组件检漏装置，其特征在于，所述机械泵及所述检漏气体供应单元利用三通与所述腔体连接。3.根据权利要求2所述的红外探测器杜瓦组件检漏装置，其特征在于，还包括气体流量表，所述气体流量表连接于所述三通与所述腔体之间，用于检测气体流量及气体压力。4.根据权利要求1至3中任一项所述的红外探测器杜瓦组件检漏...

【专利技术属性】
技术研发人员：李锐平，熊雄，毛剑宏，
申请(专利权)人：浙江珏芯微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：