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本实用新型提供的红外探测器杜瓦组件检漏装置，包括检漏工装、检漏仪、机械泵以及检漏气体供应单元；检漏工装包括槽体、盖体以及至少两路检漏管路，每路检漏管路的一端设于槽体内用于与杜瓦组件连接，每路检漏管路的另一端设于槽体外并连接到检漏仪；槽体与盖...
该专利属于浙江珏芯微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江珏芯微电子有限公司授权不得商用。

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