本实用新型专利技术公开了一种循环过滤的磷化铟研磨液稳定供药装置，包括搅拌缸、搅拌电机、搅拌桨、硬质套管、第一输液软管、蠕动泵、循环过滤装置、第二输液软管和回液循环泵；搅拌缸的顶部设有端盖；搅拌电机安装在端盖中央，搅拌桨位于搅拌缸内侧，搅拌桨的顶部穿出端盖与搅拌电机的转轴连接；搅拌缸内侧底部呈与搅拌桨底部角度相适应的锥形；硬质套管位于搅拌缸内侧、且可拆卸连接在端盖上；第一输液软管一端穿过硬质套管伸入搅拌缸的底部、另一端分支为第一支管和第二支管；第一支管与蠕动泵的进料口连通；回液循环泵安装在端盖上，第二支管、循环过滤装置、第二输液软管、回液循环泵和搅拌缸依次连通。上述装置解决了卡死问题，提高了研磨质量。研磨质量。研磨质量。
【技术实现步骤摘要】
一种循环过滤的磷化铟研磨液稳定供药装置
[0001]本技术涉及一种磷化铟研磨液稳定供药装置，属于磷化铟研磨液供药装置
技术介绍
[0002]现有技术中，磷化铟双面研磨液采用沉降式泵抽取，泵头较大、且有一定的厚度，搅拌缸底部约1/4左右的研磨液是抽不到的；同时也导致搅拌浆的设计比较短小，搅拌浆的底部与搅拌缸底部之间的距离较大，搅拌缸底部通常是处于搅拌缸高度的中间位置左右，在添加研磨粉过程中，由于沉降式泵在研磨液内部，研磨粉容易在沉降式泵内沉淀导致卡死，需要抬起泵拆卸螺丝，清理泵内部结块，不利于操作；由于搅拌桨较短等问题，在不堵的情况下也会导致研磨过程中出现研磨液断流及结块现象，进而导致研磨过程中容易产生磷化铟划伤及碎片等情况。另外沉降式泵抽流量不好控制，需要安装泄压阀，供液阀也是阀门控制，非连续作业时，阀门出容易出现粉末堆积导致堵塞及掉出块状粉末也会引起磷化铟划伤等情况发生。
技术实现思路
[0003]本技术提供一种循环过滤的磷化铟研磨液稳定供药装置，将沉降式泵改为蠕动泵，可有效的控制研磨液的流量，且蠕动泵是在研磨液外部，不容易产生泵头卡死现象，且清理及维护都比较轻松；将搅拌缸内侧底部呈与搅拌桨底部角度相适应的锥形，延长了搅拌桨的深度，提高了搅拌的充分性，减少了研磨粉团聚、沉淀等现象；设置了循环过滤装置，避免了研磨液中的较大颗粒对磷化铟的损伤；通过硬质套管将输液软管送到搅拌缸内底部，使研磨液抽离更加彻底，提升了研磨液的利用率，同时稳定安全。
[0004]为解决上述技术问题，本技术所采用的技术方案如下：
[0005]一种循环过滤的磷化铟研磨液稳定供药装置，包括搅拌缸、搅拌电机、搅拌桨、硬质套管、第一输液软管、蠕动泵、循环过滤装置、第二输液软管和回液循环泵；
[0006]搅拌缸的顶部设有端盖，端盖上设有加料口，加料口上设有遮挡板；搅拌电机安装在端盖上表面中央，搅拌桨位于搅拌缸内侧，搅拌桨的顶部穿出端盖与搅拌电机的转轴连接，搅拌桨的底部呈V形；搅拌缸内侧底部呈与搅拌桨底部角度相适应的锥形；
[0007]硬质套管位于搅拌缸内侧、且可拆卸连接在端盖上；第一输液软管一端穿过硬质套管伸入搅拌缸的底部、另一端分支为第一支管和第二支管；
[0008]第一支管与蠕动泵的进料口连通，第二支管与循环过滤装置的进料口连通；回液循环泵安装在端盖上，第二输液软管一端与循环过滤装置的出料口连通、另一端与回液循环泵的进料口连通，回液循环泵的出料口穿过端盖通向搅拌缸内。
[0009]上述蠕动泵式供液系统可去掉阀门管道更不容易产生结块现象。
[0010]上述装置用于磷化铟单晶衬底片于研磨时，研磨液的稳定供给。
[0011]使用时，将Al2O3研磨液原料在搅拌缸内搅拌2小时以上，搅拌时，搅拌缸内物料不
断地做“依次经第一输液软管、第二支管、循环过滤装置、第二输液软和回液循环泵后，回到搅拌缸”的循环；之后通过蠕动泵将研磨液输送至研磨机，此时搅拌桨可继续转动，但循环过滤装置需要关闭，蠕动泵的转速为20～100r/min。
[0012]上述装置有效解决了沉降式泵容易堵塞的问题，同时解决了供液不稳定导致的研磨过程中的碎片及划伤问题，达到了便于操作的同时，提升了产品质量。
[0013]为了进一步提升研磨液的质量，作为其中一种具体的实现方案，上述循环过滤装置包括滤筒和滤芯，滤芯横截面为圆环状，滤芯位于滤筒内，滤芯的底部与滤筒内侧底部相接，滤芯的顶部与滤筒内侧顶部相接，滤芯外侧壁与滤筒内侧壁之间的区域为储液区，滤芯内侧为净液区，进料口设在储液区正对的滤筒侧壁上，出料口设在净液区正对的滤筒顶部。研磨液由进料口进入储液区，再渗透进入净液区，净液区内研磨液再依次经第二输液软管和回液循环泵后，回流至搅拌缸内。
[0014]为了达到研磨要求，滤芯的过滤精度为20μm～100μm。
[0015]为了方便使用，同时简化结构，硬质套管的顶部外侧设有沿周边设置的卡环，端盖的边缘内侧设有通孔，通孔的直径小于卡环的外径、且不小于硬质套管的外径；硬质套管底部从通孔穿过、到达搅拌缸内底部(但不接触)，硬质套管顶部的卡环被卡合在通孔外侧。这样方便了硬质套管的拆装、清洁维护。
[0016]为了尽可能地扩大搅拌范围，搅拌缸内侧底部与搅拌桨底部相互平行。进一步优选，搅拌缸内侧底部与搅拌桨底部之间的间隔不大于5cm。
[0017]为了便于管路的局部更换，第一输液软管由第一支管、第二支管、第三支管和三通阀组装而成，第一支管、第二支管和第三支管分别连通在三通阀的三个头部；其中第三支管穿过硬质套管伸入搅拌缸的底部。这样只要更换破损的支管即可，无需整体更换。
[0018]为了方便使用，上述遮挡板转动连接在加料口外侧，当需要向搅拌缸内添加物料时，转动打开遮挡板即可，加料完毕后，再将遮挡板闭合，将加料口遮挡。
[0019]为了方便移动，搅拌缸的底部设有沿周边设置的3个以上的带锁滚轮。
[0020]上述搅拌缸、搅拌桨和硬质套管所用材质均为不锈钢。
[0021]上述蠕动泵的出料口通过第三输液软管通向研磨机。
[0022]上述装置，管道接口少、易安装、易清理、供液更稳定、不容易堵塞。
[0023]本技术未提及的技术均参照现有技术。
[0024]本技术循环过滤的磷化铟研磨液稳定供药装置，将沉降式泵改为蠕动泵，可稳定控制研磨液的流量，且蠕动泵是在研磨液外部，方便操作控制，不容易产生泵头堵塞、卡死现象，且清理及维护都比较轻松，同时减轻了缸体重量；将搅拌缸内侧底部呈与搅拌桨底部角度相适应的锥形，延长了搅拌桨的深度，提高了搅拌的充分性，减少了研磨粉团聚、沉淀等现象；设置了循环过滤装置，对研磨液进行循环过滤，滤除研磨液中团聚研磨粉及渣滓大颗粒，避免了研磨液中的较大颗粒对磷化铟的损伤，提高了研磨质量；通过硬质套管将输液软管送到搅拌缸内底部，使研磨液抽离更加彻底，提升了研磨液的利用率，同时稳定安全。
附图说明
[0025]图1为本技术循环过滤的磷化铟研磨液稳定供药装置的结构示意图；
[0026]图2为本技术工艺流程图；
[0027]图中，1为搅拌缸，2为搅拌电机，3为搅拌桨，4为硬质套管，5为第一输液软管，6为蠕动泵，7为循环过滤装置，71为滤筒，72为滤芯，8为第二输液软管，9为回液循环泵，10为第三输液软管。
具体实施方式
[0028]为了更好地理解本技术，下面结合实施例进一步阐明本技术的内容，但本技术的内容不仅仅局限于下面的实施例。
[0029]本申请“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等方位词为基于附图所示或使用状态时的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种循环过滤的磷化铟研磨液稳定供药装置，其特征在于：包括搅拌缸、搅拌电机、搅拌桨、硬质套管、第一输液软管、蠕动泵、循环过滤装置、第二输液软管和回液循环泵；搅拌缸的顶部设有端盖，端盖上设有加料口，加料口上设有遮挡板；搅拌电机安装在端盖上表面中央，搅拌桨位于搅拌缸内侧，搅拌桨的顶部穿出端盖与搅拌电机的转轴连接，搅拌桨的底部呈V形；搅拌缸内侧底部呈与搅拌桨底部角度相适应的锥形；硬质套管位于搅拌缸内侧、且可拆卸连接在端盖上；第一输液软管一端穿过硬质套管伸入搅拌缸的底部、另一端分支为第一支管和第二支管；第一支管与蠕动泵的进料口连通，第二支管与循环过滤装置的进料口连通；回液循环泵安装在端盖上，第二输液软管一端与循环过滤装置的出料口连通、另一端与回液循环泵的进料口连通，回液循环泵的出料口穿过端盖通向搅拌缸内。2.如权利要求1所述的循环过滤的磷化铟研磨液稳定供药装置，其特征在于：循环过滤装置包括滤筒和滤芯，滤芯横截面为圆环状，滤芯位于滤筒内，滤芯的底部与滤筒内侧底部相接，滤芯的顶部与滤筒内侧顶部相接，滤芯外侧壁与滤筒内侧壁之间的区域为储液区，滤芯内侧为净液区，进料口设在储液区正对的滤筒侧壁上，出料口设在净液区正对的滤筒顶部。3.如权利要求2所述的循环过滤的磷化铟研磨液稳定供药装置，其特征在于：滤芯的过滤精度为20μm～100μm。4.如权利要求1
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3任意一项所述的循环过...
【专利技术属性】
技术研发人员：周锐，刘桂勇，刘兴达，刘于，柯尊斌，王卿伟，
申请(专利权)人：中锗科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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