一种半导体生产设备的产能管理方法、系统及设备技术方案

本申请公开了一种半导体生产设备的产能管理方法、系统及设备，用以提高估算半导体生产设备产能的准确性。本申请预先将所述半导体生产设备进行划分，使得所述半导体生产设备包括至少一个主生产模块，以及至少一个子生产模块，本申请提供的所述半导体生产设备的产能管理方法包括：获取所述主生产模块的数量和状态，以及所述子生产模块的数量和状态；根据所述主生产模块的数量和状态，以及所述子生产模块的数量和状态，确定所述半导体生产设备的生产效率；其中，所述状态具体是指处于工作状态或停机状态。或停机状态。或停机状态。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体生产设备的产能管理方法、系统及设备


[0001]本申请涉及半导体
，尤其涉及一种半导体生产设备的产能管理方法、系统及设备。

技术介绍

[0002]半导体生产过程非常复杂，实践中关于半导体产能的计算，都以整台半导体生产设备为准给出一个估算的总时间，但是由于实际上整台半导体生产设备用到的腔室(Chamber)个数不同、晶圆(wafer)的片数不同等，导致实际的生产时间可以差几倍。因此，现有技术中关于半导体产能的计算准确度较差，不符合实际情况。

技术实现思路

[0003]本申请实施例提供了一种半导体生产设备的产能管理方法、系统及设备，用以提高估算半导体生产设备产能的准确性。
[0004]本申请实施例提供了一种半导体生产设备的产能管理方法，所述半导体生产设备包括至少一个主生产模块，以及至少一个子生产模块，所述方法包括：
[0005]获取所述主生产模块的数量和状态，以及所述子生产模块的数量和状态；
[0006]根据所述主生产模块的数量和状态，以及所述子生产模块的数量和状态，确定所述半导体生产设备的生本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体生产设备的产能管理方法，其特征在于，所述半导体生产设备包括至少一个主生产模块，以及至少一个子生产模块，所述方法包括：获取所述主生产模块的数量和状态，以及所述子生产模块的数量和状态；根据所述主生产模块的数量和状态，以及所述子生产模块的数量和状态，确定所述半导体生产设备的生产效率；其中，所述状态具体是指处于工作状态或停机状态。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，根据所述主生产模块的数量和状态，以及所述子生产模块的数量和状态，确定所述半导体生产设备的生产效率，具体包括：根据统计时间内，处于工作状态的主生产模块和子生产模块的数量，以及所述半导体生产设备配置的主生产模块和子生产模块的数量，确定所述半导体生产设备的生产效率。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，根据统计时间内，处于工作状态的主生产模块和子生产模块的数量，以及所述半导体生产设备配置的主生产模块和子生产模块的数量，确定所述半导体生产设备的生产效率，具体包括：将统计时间内处于工作状态的主生产模块的时间占所述统计时间的时间比例，乘以处于工作状态的子生产模块占所有子生产模块的数量比例，将得到的乘积作为所述半导体生产设备的生产效率，其中，所述半导体生产设备配置了一个主生产模块和多个子生产模块。4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，根据统计时间内，处于工作状态的主生产模块和子生产模块的数量，以及所述半导体生产设备配置的主生产模块和子生产模块的数量，确定所述半导体生产设备的生产效率，具体包括：将统计时间内处于工作状态的主生产模块的时间占所述统计时间的时间比例，乘以所述统计时间内处于工作状态的子生产模块的时间占所述统计时间的时间比例，再乘以处于工作状态的子生产模块占所有子生产模块的数量比例，将得到的乘积作为所述半导体生产设备的生产效率，其中，所述半导体生产设备配置了一个主生产模块和多个子生产模块。5.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，根据统计时间内，处于工作状态的主生产模块和子生产模块的数量，以及所述半导体生产设备配置的主生产模块和子生产模块的数量，确定所述半...

【专利技术属性】
技术研发人员：王晓，宁泽宇，朱志翔，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：