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本申请公开了一种半导体生产设备的产能管理方法、系统及设备，用以提高估算半导体生产设备产能的准确性。本申请预先将所述半导体生产设备进行划分，使得所述半导体生产设备包括至少一个主生产模块，以及至少一个子生产模块，本申请提供的所述半导体生产设备的...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。

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