一种用于光刻机的压紧装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于光刻机的压紧装置，涉及光刻机技术领域，包括压边升降机构、水平位移机构、压边滚轮和滚轮定位机构，水平位移机构可带动压边升降机构水平位移，压边升降机构可带动水平位移机构和滚轮定位机构做升降运动；压边升降机构包括升降气缸和升降座，升降气缸可驱动升降座做升降运动；水平位移机构包括位移马达和位移丝杆，位移马达可驱动位移丝杆水平移动；滚轮定位机构包括滚轮定位支架和滚轮定位座。本实用新型专利技术压紧装置的压边升降机构和水平位移机构联动工作，使滚轮定位座和压边滚轮能够做升降、水平运动，压边滚轮能够将PCB在竖直方向压平，保证PCB的稳定性，从而能够保证光刻加工的质量。从而能够保证光刻加工的质量。从而能够保证光刻加工的质量。

【技术实现步骤摘要】
一种用于光刻机的压紧装置


[0001]本技术涉及光刻机
，具体是一种用于光刻机的压紧装置。

技术介绍

[0002]光刻机称为掩膜对准曝光机，常用的光刻机是采用掩膜对准光刻，一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等多道工序，高端的投影式光刻机可分为步进投影和扫描投影光刻机这两种，分辨率通常在七纳米至几微米之间。
[0003]PCB中文名称是印制电路板，又称为印刷线路板，是非常重要的电子部件，是电子元器件的支撑体，也是是电子元器件电气连接的载体。几乎每种电子设备，小到电子手表、计算器、遥控器，大到计算机、通信电子设备、机床、军用武器系统，只要有集成电路等电子元件，为了使各个元件之间的电气互连，都要使用印制板，由于它是采用电子印刷术制作的，故被称为“印刷”电路板。
[0004]现有技术中，光刻机吸盘是光刻机的重要组成部分。吸盘的大小、平面度、吸附方式和吸附力大小等因素对PCB制版的实际生产制造有着重要影响。现有的光刻机吸盘吸附比较薄的PCB时，尚且能将PCB吸附平整，具有一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于光刻机的压紧装置，其特征在于，包括压边升降机构、水平位移机构、压边滚轮和滚轮定位机构，所述水平位移机构设于所述压边升降机构之间，并与所述压边升降机构连接，所述水平位移机构可带动压边升降机构水平位移，所述压边升降机构可带动所述水平位移机构做升降运动，所述压边滚轮与所述滚轮定位机构连接，所述滚轮定位机构设于所述压边升降机构底部，并与所述压边升降机构连接，所述压边升降机构可带动所述滚轮定位机构做升降运动；所述压边升降机构包括升降气缸和升降座，所述升降气缸设于所述升降座顶侧，所述升降气缸与所述升降座连接，所述升降气缸可驱动所述升降座做升降运动；所述水平位移机构包括位移马达和位移丝杆，所述位移丝杆设于所述位移马达输出端，并与位移马达连接，所述位移马达可驱动所述位移丝杆水平移动；所述滚轮定位机构包括滚轮定位支架和滚轮定位座，所述压边滚轮连接于所述滚轮定位支架上，所述滚轮定位支架设于所述滚轮定位座上，并与所述滚轮定位座连接。2.根据权利要求1所述的一种用于光刻机的压紧装置，其特征在于，所述压边升降机构设有两个，分别设于所述滚轮定位座的两端，并与所述滚轮定位座固定连接。3.根据权利要求1所述的一种用于光刻机的压紧装置，其特征在于，所述压边升降机构还包括气缸固定块、升降滑轨和升降滑块，所述气缸固定块、升降滑轨、升降滑块依次设置、连接，所述气缸固定块底部与所述水平位移机构固定连接，所述升降气缸连接于所述气缸固定块的顶部，所述升降滑轨固定连接于所述气缸固定块侧面，所述升降滑块可滑动...

【专利技术属性】
技术研发人员：王华，甘泉，
申请(专利权)人：广东科视光学技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：