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本实用新型公开了一种用于光刻机的压紧装置，涉及光刻机技术领域，包括压边升降机构、水平位移机构、压边滚轮和滚轮定位机构，水平位移机构可带动压边升降机构水平位移，压边升降机构可带动水平位移机构和滚轮定位机构做升降运动；压边升降机构包括升降气缸和...
该专利属于广东科视光学技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东科视光学技术股份有限公司授权不得商用。

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