【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于闪烁体沉积的基板固定装置、包括其的基板沉积装置以及使用其的闪烁体沉积方法
[0001]本专利技术涉及一种用于闪烁体沉积的基板固定装置、包括该装置的基板沉积装置、以及使用该装置的闪烁体沉积方法，更详细而言，涉及应用背面冷却(back side cooling)的基板固定装置、包括该装置的基板沉积装置、以及使用该装置的闪烁体的沉积方法。
技术介绍
[0002]作为用于医疗图像诊断或无损检测等的放射线摄像的装置，有X射线检测器和平板检测器(Flat panel detector)等，X射线检测器是将照射的X射线直接变换为电信号，来检测图像信号的方式，平板检测器是将通过被摄体的放射线在闪烁体(Scintillator)变换为光，并将在闪烁体经变换放出的光利用受光元件检测的间接变换方式。
[0003]在所述闪烁体中，为了高效地将从闪烁体发出的光传递至X射线检测器的受光元件，广泛使用碘化铯(Cesium Iodide)、碘化铊(Thallium Iodide)等碱金属卤化物的柱状结晶组。
[0004]形成在闪烁体的柱...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种基板固定装置，其用于固定所述基板，使得在所述基板沉积从至少一个蒸发源蒸发的沉积材料，其特征在于，包括：基板温度调整部，用于所述向基板传热；以及基板固定部，联接于所述基板温度调整部的一侧面，用于固定所述基板，所述基板固定部以所述基板的前面向所述蒸发源方向暴露的方式固定所述基板，在所述基板固定部和所述基板的背面之间形成有空间。2.根据权利要求1所述的基板固定装置，其特征在于，所述基板温度调整部，包括：第一基板温度调整部；油流部，具备流路，所述流路设置于所述第一基板温度调整部的内部，供从供油源流入的油循环；以及第二基板温度调整部，联接于所述第一基板温度调整部的一侧面。3.根据权利要求2所述的基板固定装置，其特征在于，所述流路，包括：进油流动管线，供所述油流入；排油流动管线，用于排放所述油，所述进油流动管线和所述排油流动管线相交叉配置。4.根据权利要求2所述的基板固定装置，其特征在于，所述基板固定部，包括：第一固定部，在一侧面联接所述第二基板温度调整部；第二固定部，联接于所述第一固定部的另一侧面，形成为暴露所述基板的前面，所述基板固定于所述第一固定部和所述第二固定部之间。5.根据权利要求4所述的基板固定装置，其特征在于，所述第一固定部，包括：凹槽部，沿所述第一固定部的内周形成；密封构件容纳部，与所述凹槽部相隔开预定间隔设置在所述凹槽部的内侧，沿所述第一固定部的内周形成，并容纳至少一个密封构件；至少一个引导销，形成在所述凹槽部和所述密封构件容纳部之间，以引导所述基板安置在所述第一固定部；供气孔，用于向所述空间注入气体；以及排气孔，用于从所述空间排放气体。6.根据权利要求5所述的基板固定装置，其特征在于，所述密封构件密封所述基板与所述第一固定部之间的缝隙，并与所述基板面接触。7.根据权利要求5所述的基板固定装置，其特征在于，在所述基板沿着所述基板的外侧边角部分设置预定面积的边缘部，所述边缘部配置在所述第二固定部和所述密封构件之间，以向所述密封构件施加应力。8.根据权利要求4所述的基板固定装置，其特征在于，所述第二固定部，包括：边框部，形成在所述第二固定部的内周面；以及掩模区域，形成在所述边框部的端部，所述掩模区域形成为相对于所述边框部的下面向所述第二固定部的中心部方向倾斜。9.根据权利要求4所述的基板固定装置，其特征在于，所述第一固定部和所述第二固定部的重量总和保持相同。
10.根据权利要求1所述的基板固定装置，其特征在于，所述基板固定装置与自转部的自转轴相连接，所述自转部的一部分容纳在内部具备所述蒸发源的腔室内，所述基板固定装置随着所述自转轴的旋转而旋转。11.根据权利要求10所述的基板固定装置，其特征在于，所述蒸发源设置在所述腔室内部的下端，所述基板固定装置位于所述蒸发源的更上部。12.一种基板沉积装置，其为在基板沉积从至少一个蒸发源蒸发的沉积材料的装置，其特征在于，包括：腔室，在内部容纳所述蒸发源；公转部，局部容纳在所述腔室中，以公转轴为中心旋转；多个自转部，联接于所述公转部，并随着所述公转部的旋转而公转；以及根据权利要求1所述的基板固定...
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