【技术实现步骤摘要】
能够调整曝光时间的TDI图像传感器和包括其的检查系统
[0001]本公开涉及一种时间延迟积分(TDI)图像传感器，并且更具体地，涉及一种能够调整曝光时间的TDI图像传感器以及包括该TDI图像传感器的检查系统。
技术介绍
[0002]随着生产设施变得大批量生产、自动化且精密，依赖于人眼或各种传感器的功能正在被图像传感器取代。作为主要用于图像传感器的半导体器件的示例，存在电荷耦合器件(CCD)。
[0003]电荷耦合器件(以下简称为CCD)是指将电荷从一个器件传输到另一相邻器件的设备。使用这种CCD的图像传感器具有将由一定量的光引起的大量电荷的变化转换为电信号的结构。使用CCD的图像传感器包括输出单元，该输出单元通过其中累积电荷的单元区以及顺序地传输所累积的电荷的移位寄存器配置而成。
[0004]图像传感器的扫描方法包括区域扫描方法、行扫描方法和时间延迟积分(TDI)行扫描方法。
[0005]在使用TDI行扫描方法的图像传感器中，沿扫描方向布置有多个行传感器，以通过与扫描对象的移动同步而将累积在每个行的C...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种能够调整曝光时间的TDI图像传感器，包括：像素单元，其包括多个行传感器，在所述多个行传感器中，每个行传感器的一部分中光的入射被阻光单元阻挡，并且每个行传感器的其余部分被曝光，扫描控制器，其利用不同的曝光时间来控制行传感器的暴露部分的曝光，以产生对于第一曝光时间的感测结果和对于第二曝光时间的感测结果；以及输出单元，其基于对于第一曝光时间的感测结果和对于第二曝光时间的感测结果来产生图像。2.根据权利要求1所述的TDI图像传感器，其中，所述扫描控制器基于外部行触发信号来产生内部行触发信号，所述内部行触发信号控制所述行传感器的暴露部分的曝光。3.根据权利要求2所述的TDI图像传感器，其中，每当所述外部行触发信号输入，扫描控制器就在经过预定时间之后产生曝光控制信号，并将所述外部行触发信号和所述曝光控制信号组合以产生所述内部行触发信号。4.根据权利要求3所述的TDI图像传感器，其中，所述扫描控制器在两个外部行触发信号之间的预定的特定定时处产生所述曝光控制信号。5.根据权利要求4所述的TDI图像传感器，其中，所述扫描控制器包括：寄存器，其储存预定值以及输出与所储存的值相对应的曝光比；曝光控制信号发生器，其基于所述外部行触发信号和所述曝光比来产生曝光控制信号；以及信号发生器，其基于所述外部行触发信号和所述曝光控制信号来产生所述内部行触发信号。6.根据权利要求5所述的TDI图像传感器，其中，所述曝光控制信号发生器包括：计数器控制逻辑，其接收所述外部行触发信号和所述曝光控制信号，并输出计数器激活信号；计数器，其接收所述计数器激活信号并输出计数值；转换逻辑，其基于储存在所述寄存器中的曝光比来转换为使所述计数器递增计数的时钟脉冲的数量；比较器，其输出将在所述计数器激活信号被使能的时段期间被递增计数的计数器值与基于所述曝光比而计算出的时钟脉冲数的数量进行比较的结果；以及脉冲发生器，其接收所述比较器的比较结果信号并输出所述曝光控制信号。7.根据权利要求2所述的TDI图像传感器，其中，每当所述外部行触发信号输入，所述扫描控制器就产生所述内部行触发信号，并且在所述外部行触发信号被输入之后下一个外部行触发信号产生之前附加地产生所述内部行触发信号。8.根据权利要求7所述的TDI图像传感器，其中，所述扫描控制器允许产生被附加地产生的所述内部行触发信号的定时对应于由用户设置的定时。9.根据权利要求8所述的TDI图像传感器，其中，所述扫描控制器包括：寄存器，其储存预定的定时并输出与所储存的定时相对应的延迟控制信号；曝光控制信号发生器，其基于所述外部行触发信号和所述延迟控制信号来产生曝光控制信号；以及信号发生器，其基于所述外部行触发信号和所述曝光控制信号来产生所述内部行触发
信号。10.根据权利要求9所述的TDI图像传感器，其中，所述曝光控制信号发生器包括：锁存电路，其在所述外部行触发信号被输入之后将所述振荡器激活信号使能，直到所述曝光控制信号输入为止；振荡器，其在所述振荡器激活信号的使能时段期间产生振荡器信号；计数器，每当所述振荡器信号被移位到特定电平，所述计数器就增加计数器信号的计数值；比较电路，其将所述计数器信号的计数值与所述延迟控制信号进行比较以产生比较结果信号；以及脉冲输出电路，其基于所述比较结果信号来产生...
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