一种可提高使用寿命的真空阀门制造技术

本实用新型专利技术涉及真空阀门技术领域，且公开了一种可提高使用寿命的真空阀门，包括阀体、第一驱动装置、阀杆、阀盖和第一密封圈，所述阀体通过安装板连接有第一驱动装置。该可提高使用寿命的真空阀门，通过阀体、安装板、第一驱动装置、阀杆、阀盖、第一密封圈、法兰接口、防护套、第一定位管、第一转轴、第二定位管、第二转轴、第二驱动装置、第一连杆、第一真空盖板、第二连杆和第二真空盖板之间的相互配合，达到了防止膜层材料沉积在真空阀内部运动部件或密封面上的效果，解决了与真空镀膜设备内配套使用的真空阀在使用一段时间后，靠近真空镀膜室阀门内的运动部件或密封面上易沉积膜层材料，从而造成真空阀密封性能下降，运行异常的问题。题。题。

【技术实现步骤摘要】
一种可提高使用寿命的真空阀门


[0001]本技术涉及真空阀门
，具体为一种可提高使用寿命的真空阀门。

技术介绍

[0002]真空阀门是指在真空系统中用来改变气流方向，调节气流量大小，切断或接通管路的真空系统元件，通过控制真空管道上阀门的动作可以控制镀膜腔室真空度，最终达到控制镀膜工艺环境的目的。真空阀门按结构组成一般可分为插板阀、挡板阀、翻板阀、球阀、微调阀、蝶阀、压差阀和隔膜阀等，而按接口方式可分为直通阀、角通阀和三通阀。
[0003]真空镀膜设备需要搭配真空阀才能正常使用，而靠近真空镀膜腔室的阀门，在镀膜过程中会有膜层材料沉积到阀体内部的运动部件或密封面上，在经过一段时间后，不仅会造成阀体漏气，导致真空工艺无法精准控制，还可能会造成阀体无法正常开关，从而引起真空阀故障甚至报废。

技术实现思路

[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本技术提供了一种可提高使用寿命的真空阀门，具备防止膜层材料沉积在真空阀内部运动部件或密封面上的优点，解决了与真空镀膜设备内配套使用的真空阀在使用一段时间后，靠近真空镀膜室阀门内的运动部件或密封面上易沉积膜层材料，从而造成真空阀运行异常的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种可提高使用寿命的真空阀门，包括阀体、第一驱动装置、阀杆、阀盖和第一密封圈，所述阀体通过安装板连接有第一驱动装置，所述阀杆与第一驱动装置的内部连接，所述阀杆的底端与阀盖的顶部固定连接，所述第一密封圈设置于阀盖的底部，所述阀体的底部与左侧均设置有法兰接口，阀体的内底壁与左侧内壁均开设有通槽，所述阀体的内顶壁固定连接有防护套管，所述阀杆和阀盖均位于防护套管的内部，所述阀体的后侧固定连接有第一定位管和第二定位管，所述第一定位管的内部设置有第一转轴，所述第二定位管的内部设置有第二转轴，所述阀体的后侧设置有两个第二驱动装置，上侧第二驱动装置与第一转轴的后端连接，下侧第二驱动装置与第二转轴的后端连接，所述第一转轴通过第一连杆连接有第一真空盖板，所述第一真空盖板的顶部与防护套管的底端连接，所述第二转轴通过第二连杆连接有第二真空盖板，所述第二真空盖板的底部与阀体的内底壁抵持。
[0008]优选的，所述第一真空盖板的顶部设置有环形锥体，所述防护套管的底端开设有锥形槽，所述环形锥体正剖视图斜线的斜率与锥形槽正剖视图斜线的斜率相同，所述环形锥体的侧表面与锥形槽的内壁抵持，环形锥体正剖视图斜线与锥形槽正剖视图斜线的斜率相同，从而保证了第一真空盖板在闭合后，锥形体侧表面能紧密与锥形槽内壁贴合，以起到更好的密封作用，从而将防护套管内的阀盖与阀体内部其他空间隔开，避免膜层材料沉积
在阀盖表面。
[0009]优选的，所述第二真空盖板的底部设置有第二密封圈，所述阀体的内底壁设置有环形凸缘，所述第二密封圈的底部与环形凸缘的顶部抵持，当第二密封圈被夹持在第二真空盖板和环形凸缘之间后，第二密封圈会发生挤压变形，从而将第二真空盖板与阀体内底壁的间隙封堵，防止膜层材料沉积在下侧法连接口表面。
[0010]优选的，所述第二驱动装置包括两个固定杆、两个套环、第一伸缩气缸和第二伸缩气缸，所述两个固定杆的前端与阀体的后侧固定连接，所述第一转轴和第二转轴的侧表面分别与两个套环的内部固定连接，上侧固定杆通过第一伸缩气缸与上侧套环连接，下侧固定杆通过第二伸缩气缸与下侧套环连接，第一伸缩气缸和第二伸缩气缸的伸缩可以分别带动第一转轴和第二转轴的转动，从而带动第一真空盖和第二真空盖的转动，起到了控制真空盖转动的作用。
[0011]优选的，上侧伸缩气缸的左端与上侧固定杆铰接，上侧伸缩气缸活塞杆的右端与上侧套环铰接，下侧伸缩气缸的左端与下侧固定杆铰接，上侧伸缩气缸活塞杆的右端与下侧套环铰接。
[0012]优选的，所述伸缩气缸活塞杆与套环较接点的中心线不与第一转轴的轴向中心线或第二转轴的轴向中心线处于同一水平面，以便于通过伸缩气缸活塞杆的伸缩带动第一转轴和第二转轴转动。
[0013]与现有技术相比，本技术提供了一种可提高使用寿命的真空阀门，具备以下有益效果：
[0014]该可提高使用寿命的真空阀门，通过阀体、安装板、第一驱动装置、阀杆、阀盖、第一密封圈、法兰接口、防护套、第一定位管、第一转轴、第二定位管、第二转轴、第二驱动装置、第一连杆、第一真空盖板、第二连杆和第二真空盖板之间的相互配合，达到了防止膜层材料沉积在真空阀内部运动部件或密封面上的效果，解决了与真空镀膜设备内配套使用的真空阀在使用一段时间后，靠近真空镀膜室阀门内的运动部件或密封面上易沉积膜层材料，从而造成真空阀密封性能下降，运行异常的问题。
附图说明
[0015]图1为本技术正剖视图；
[0016]图2为本技术侧视图；
[0017]图3为本技术仰视图。
[0018]其中：1、阀体；2、安装板；3、第一驱动装置；4、阀杆；5、阀盖；6、第一密封圈；7、法兰接口；8、防护套管；9、第一定位管；10、第一转轴；11、第二定位管；12、第二转轴；13、第一连杆；14、第一真空盖板；15、第二连杆；16、第二密封圈；17、环形凸缘；18、固定杆；19、第二真空盖板。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下
所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]请参阅图1
‑
3，一种可提高使用寿命的真空阀门，包括阀体1、第一驱动装置3、阀杆4、阀盖5和第一密封圈6，阀体1起到了将整个真空阀密封的作用，阀体1通过安装板2连接有第一驱动装置3，阀体1的内顶壁开设有通孔，安装板2的中心处开设有连通孔，连通孔位于通孔的正上方，阀杆4与第一驱动装置3的内部连接，阀杆4位于连通孔的内部，第一驱动装置3主要起到提供动力的作用，它可以带动阀杆4和阀盖5上下运动，从而实现阀门的开关，阀杆4的底端与阀盖5的顶部固定连接，阀杆4的轴向中心线与阀盖5的轴向中心线共线，阀杆4通过第一驱动装置3与阀盖5的连接，第一密封圈6设置于阀盖5的底部，阀体1的底部与左侧均设置有法兰接口7，阀体1的内底壁与左侧内壁均开设有通槽，下侧通槽位于下侧法兰接口7的正上方，左侧通槽位于左侧通槽的右侧，左侧法兰接口7为与真空镀膜室连接的接口，下侧法兰接口7为与其他管道连接的接口，阀体1内底壁与下通槽对应的面为密封面，可以在阀体1关闭后与阀盖5上的第一密封圈6配合起到隔绝气体的作用，阀体1的内顶壁固定连接有防护套管8，阀杆4和阀盖5均位于防护套管8的内部，且防护套管8的轴向中心先与阀杆4的轴向中心线共线。
[0021]阀体1的后侧固定连接有第一定位管9和第二定位管11，第一定位本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可提高使用寿命的真空阀门，包括阀体(1)、第一驱动装置(3)、阀杆(4)、阀盖(5)和第一密封圈(6)，所述阀体(1)通过安装板(2)连接有第一驱动装置(3)，所述阀杆(4)与第一驱动装置(3)的内部连接，所述阀杆(4)的底端与阀盖(5)的顶部固定连接，所述第一密封圈(6)设置于阀盖(5)的底部，所述阀体(1)的底部与左侧均设置有法兰接口(7)，阀体（1）的内底壁与左侧内壁均开设有通槽，其特征在于：所述阀体(1)的内顶壁固定连接有防护套管(8)，所述阀杆(4)和阀盖(5)均位于防护套管(8)的内部，所述阀体(1)的后侧固定连接有第一定位管(9)和第二定位管(11)，所述第一定位管(9)的内部设置有第一转轴(10)，所述第二定位管(11)的内部设置有第二转轴(12)，所述阀体(1)的后侧设置有两个第二驱动装置，上侧第二驱动装置与第一转轴(10)的后端连接，下侧第二驱动装置与第二转轴(12)的后端连接，所述第一转轴(10)通过第一连杆(13)连接有第一真空盖板(14)，所述第一真空盖板(14)的顶部与防护套管(8)的底端连接，所述第二转轴(12)通过第二连杆(15)连接有第二真空盖板(19)，所述第二真空盖板(19)的底部与阀体(1)的内底壁抵持。2.根据权利要求1所述的一种可提高使用寿命的真空阀门，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘万满，张哲星，
申请(专利权)人：夏禹纳米科技深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：