转移装置及其制作方法制造方法及图纸

本申请公开了一种转移装置及其制作方法，转移装置包括基板和转移层，转移层包括多个间隔设置的转移吸头，其中，转移吸头的材料包括基材以及磁性材料，转移吸头的粗糙度范围为Ra17μm

【技术实现步骤摘要】
转移装置及其制作方法


[0001]本申请涉及显示
，具体涉及一种转移装置及其制作方法。

技术介绍

[0002]随着显示行业的发展，微型发光二极管(Micro LED)作为新一代显示技术相比现有的OLED以及LCD技术具有亮度更高、功耗更低、发光效率更好以及寿命更长的优点。
[0003]为了改善现有Micro LED的巨量转移中，可以使用图案化的聚二甲基硅氧烷(polydimethylsiloxane，PDMS)制作转移头，PDMS是一种具有粘性的有机材料，液态时的聚二甲基硅氧烷为一黏稠液体，PDMS在使用时一般是由主剂与硬化剂以一定的质量比混合得到，由于PDMS转移吸头的制作通常采用模具制作，导致PDMS转移吸头与LED接触面的粗糙度过大，影响转移效率。

技术实现思路

[0004]本申请实施例提供一种转移装置及其制作方法，可以有效降低转移吸头表面的粗糙度，有效提升LED器件的转移效率。
[0005]本申请实施例提供一种转移装置，其特征在于，包括：
[0006]基板；
[0007]转移层，其设本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种转移装置，其特征在于，包括：基板；转移层，其设置于所述基板的一侧面，所述转移层包括多个间隔设置的转移吸头；其中，所述转移吸头的材料包括基材以及磁性材料，所述转移吸头包括位于所述转移吸头远离所述基板的一侧的转移工作面，所述转移吸头转移工作面的粗糙度范围为Ra17μm
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Ra23μm。2.如权利要求1所述的转移装置，其特征在于，所述基材包括聚二甲基硅氧烷，所述磁性材料包括纳米铁氧体。3.如权利要求1所述的转移装置，其特征在于，所述磁性材料与所述基材的重量比为1:1～4。4.如权利要求1所述的转移装置，其特征在于，所述转移吸头呈圆锥台状或柱状。5.如权利要求1所述的转移装置，其特征在于，所述基板包括暂态基板和玻璃基板中的一种。6.一种转移装置的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：提供一基板；在所述基板上形成液态磁流体层，所述液态磁流体层包括基材和磁性材料；对所述液态流体层施加磁场，所述磁场的磁场方向与所述基板呈一定夹角，使得所述液态磁流体层在所述基板上分散形成间隔设置的多个未固化转移吸头；将所述未...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘忠鹏，
申请(专利权)人：TCL华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：