转移装置及制作方法制造方法及图纸

本申请公开了一种转移装置及其制作方法，转移装置包括基板和转移层；转移层包括间隔设置的多个转移头；其中，基板上设置有位于转移头之间的支撑部，且支撑部的硬度大于转移头的硬度；本发明专利技术通过设置支撑部，使得转移头半成品图案化时，支撑部能够对转移头半成品起到一定的支撑作用，防止转移头半成品因材质偏软导致在图案化形成转移头的过程中，图案化精度不高，进而导致巨量Micro LED器件的转移精度不高，通过在多个转移头之间设置支撑部，有效提高了转移头的转移精度。高了转移头的转移精度。高了转移头的转移精度。

【技术实现步骤摘要】
转移装置及制作方法


[0001]本申请涉及显示
，具体涉及一种转移装置及制作方法。

技术介绍

[0002]随着显示行业的蓬勃发展，微型发光二极管(Micro light
‑
emitting diode，MicroLED)作为新一代显示技术，相比现有的有机发光半导体显示面板(Organic Electroluminescence Display，OLED)以及液晶显示面板(Liquid Crystal Display,LCD)技术具有亮度更高、功耗更低、发光效率更好以及寿命更长的优点。
[0003]现有的Micro LED的巨量转移中，转移头与微型发光二极管接触面的粗糙程度直接影响转移效率，可以使用图案化的聚二甲基硅氧烷(polydimethylsiloxane，PDMS)材料制作转移头，PDMS是一种具有粘性的有机材料，其为液态，PDMS使用时通常将主剂与硬化剂以一定的质量比混合，但是PDMS较软，使用过程中会因为变形现象导致Micro LED器件转移位置的偏移，影响转移精度。
专利技术内容
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种转移装置，其特征在于，包括：基板；转移层，设置于所述基板上，所述转移层包括间隔设置的多个转移头；其中，所述基板上设置有位于所述转移头之间的支撑部，且所述支撑部的硬度大于所述转移头的硬度。2.如权利要求1所述的转移装置，其特征在于，所述支撑部将所述基板划分为多个间隔设置的转移区，一所述转移区内设有一所述转移头。3.如权利要求2所述的转移装置，其特征在于，所述支撑部包括沿第一方向延伸的多条第一支撑子部，沿第二方向延伸的多条第二支撑子部，多条所述第一支撑子部和多条所述第二支撑子部交叉设置划分出多个所述转移区，一所述转移区内设有一所述转移头。4.如权利要求1所述的转移装置，其特征在于，所述支撑部包括多个间隔设置的支撑单元部，一所述支撑单元部绕一所述转移头设置。5.如权利要求1所述的转移装置，其特征在于，所述转移头的材料包括聚二甲基硅氧烷，所述支撑部的材料包括无定型二氧化硅。6.如权利要求1所述的转移装置，其特征在于，在垂直所述基板的方向上，所述支撑部的高度小于所述转移头的高度。7.如权利要求6所述的转移装置，其特征在于，所述基板设置有凹槽，所述支撑部在所述基板上的正投影位于所述凹槽内，且所述支撑部的厚度大于所述凹槽的深度。8...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘忠鹏，
申请(专利权)人：TCL华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：