【技术实现步骤摘要】
一种半导体供气领域用双瓶自动切换且连续供气的气瓶架
[0001]本专利技术属于供气
,更具体的是一种半导体供气领域用双瓶自动切换且连续供气的气瓶架。
技术介绍
[0002]供气系统能够向用气设备或区域提供流量稳定的保护气体或特种气体。供气系统由气瓶、减压阀、预热器、流量计、干燥器及管路等组成,半导体供气领域用双瓶自动切换且连续供气的气瓶架是一种具备双瓶自动切换且连续供气的供气装置,本方案具体涉及一种半导体供气领域用双瓶自动切换且连续供气的气瓶架。
[0003]现有的供气用气瓶架在使用的过程中存在一定的弊端,首先,不能够对供气瓶进行卡紧,不方便对供气瓶进行更换和安装,在夹紧过程中会对供气瓶发生擦伤,不可以对供气瓶的表面起到清洁的作用,其次,不能够在支撑座和连接架之间进行拉紧,气瓶架连接的管路会出现松脱的情况,气瓶架管路的上方没有进行防护,气瓶架管路使用的安全性较低,最后,不方便驱动座在三通阀座的两侧进行切换封堵,无法实现双瓶自动切换且连续供气。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的在于提供一 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种半导体供气领域用双瓶自动切换且连续供气的气瓶架,其特征在于,包括支撑座(1)和连接架(2),所述连接架(2)位于支撑座(1)的外侧位置,且连接架(2)的底部靠近两侧位置均固定安装有安装板(3),所述安装板(3)的内部贯穿连接有安装销(4),所述支撑座(1)的顶部放置有供气瓶(5),所述供气瓶(5)的顶部卡设有卡接机构(6),所述连接架(2)的上表面靠近两侧位置均固定安装有调节阀座(7),所述供气瓶(5)的输出端连接有输出管(8),所述输出管(8)与调节阀座(7)之间连接有传输管(9),且输出管(8)的外表面套设有开关旋钮(10),所述支撑座(1)和连接架(2)之间连接有拉紧防护机构(11),所述调节阀座(7)的顶部连接有调节旋钮(12),且调节阀座(7)的外表面连接有排空管(13),所述排空管(13)的外表面套设有排空阀门(14),所述调节阀座(7)的内侧连接有导气管(15),且调节阀座(7)的外侧连接有压力表(16),所述导气管(15)的外表面靠近中间位置连接有三通阀座(17),所述三通阀座(17)的外表面连接有供气管(18),且三通阀座(17)的上表面靠近两侧位置均连接有电磁阀(19),所述三通阀座(17)的内部靠近顶部位置开设有导气孔(20),且三通阀座(17)的内部靠近中间开设有调节空腔(21),所述三通阀座(17)的内部连接有切换驱动机构(22)。2.根据权利要求1所述的一种半导体供气领域用双瓶自动切换且连续供气的气瓶架,其特征在于,所述卡接机构(6)包括弧形卡块(601)、连接板(602)、缓冲气垫(603)、限位座(604)、限位柱(605)、伸缩弹簧(606)、单向排气头(607)、充气头(608)和过滤嘴(609),所述弧形卡块(601)设置在支撑座(1)的上方位置,所述连接板(602)固定于弧形卡块(601)的底部靠近两侧的位置,所述缓冲气垫(603)粘接在弧形卡块(601)的内侧,所述限位座(604)嵌入至支撑座(1)的内部,所述限位柱(605)固定于连接板(602)的下表面,所述伸缩弹簧(606)的一端固定于限位柱(605)的底端,且伸缩弹簧(606)的另一端延伸至限位座(604)的内部,所述单向排气头(607)均匀的设置在缓冲气垫(603)的内侧,所述充气头(608)设置在缓冲气垫(603)的外表面,所述过滤嘴(609)设置在充气头(608)和充气头(608)的衔接处。3.根据权利要求2所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:朱俭,李兰,
申请(专利权)人:理纯上海洁净技术有限公司,
类型:发明
国别省市:
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