【技术实现步骤摘要】
一种凸面晶片工件研磨装置
[0001]本技术涉及一种研磨装置,尤其涉及一种凸面晶片工件研磨装置。
技术介绍
[0002]如图1所示,现有技术中的凸面晶片工件研磨装置包括凹球形研磨盘1和吸片盘3;所述吸片盘3位于所述凹球形研磨盘1的上方;所述吸片盘3与顶针4的下端活动连接;凸面晶片工件0通过胶带2与吸片盘3固定连接。由于顶针的下端与吸片盘的顶面施力位置要求精度高,凸面晶片工件的安放位置必须与吸片盘的底面同心,顶针、吸片盘和凸面晶片工件不易保持同轴,对工人的操作技艺要求高。顶针的下端与吸片盘的顶面由于接触面积小,容易磨损,造成加力不均匀,使凸面晶片工件球面偏心度增大(达到120秒),最终影响对凸面晶片工件的加工质量。由于上述原因,目前,顶针、吸片盘的使用寿命短,更换频率高,生产成本大。
技术实现思路
[0003]本技术方案要解决的技术问题是提供一种凸面晶片工件研磨装置,该装置对工人的操作技艺要求低。吸片盘的顶面不容易磨损,使凸面晶片工件球面偏心度减小(小于60秒),大大提高对凸面晶片工件的加工质量,同时,吸片盘的使用寿命大大延长,更换频率大大降低,生产成本大大降低。
[0004]为了解决上述技术问题,本技术方案提供了一种凸面晶片工件研磨装置,包括凹球形研磨盘和吸片盘;
[0005]所述吸片盘位于所述凹球形研磨盘的上方;
[0006]所述吸片盘与卡盘卡合连接;
[0007]所述卡盘通过第一螺母与球柄的一端固定连接;
[0008]所述球柄的另一端通过摆杆与下锁母活动连接;< ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种凸面晶片工件研磨装置,包括凹球形研磨盘(1)和吸片盘(3);所述吸片盘(3)位于所述凹球形研磨盘(1)的上方;其特征在于:所述吸片盘(3)与卡盘(5)卡合连接;所述卡盘(5)通过第一螺母(7)与球柄(6)的一端固定连接;所述球柄(6)的另一端通过摆杆(9)与下锁母(8)活动连接;所述下锁母(8)和所述摆杆(9)之间通过第二螺母(10)固定连接。2.根据权利要求1所述的凸面晶片工件研磨装置,其特征在于:所述卡盘(5)包括卡盘
‑
盘体(5
‑
1);所述卡盘
‑
盘体(5
‑
1)的形状呈圆形;所述卡盘
‑
盘体(5
‑
1)的下端面中央沿轴向向内凹入形成卡盘
‑
卡口(5
‑
2);所述卡盘
‑
盘体(5
‑
1)的端面中央贯通有卡盘
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螺纹孔(5
‑
3);所述卡盘
‑
盘体(5
‑
1)的上端面边缘设置有卡盘
‑
圆锥面(5
‑
4);所述卡盘
‑
盘体(5
‑
1)的下端面边缘设置有卡盘
‑
倒角(5
‑
5);所述卡盘
‑
倒角(5
‑
5)是圆倒角。3.根据权利要求2所述的凸面晶片工件研磨装置,其特征在于:所述球柄(6)包括球柄
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球体(6
‑
1)和球柄
‑
杆体(6
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2);所述球柄
‑
球体(6
‑
1)和所述球柄
‑
杆体(6
‑
2)构成一体件;所述球柄
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杆体(6
‑
2)的外侧面设置有球柄
‑
螺纹(6
‑
3);所述球柄
‑
杆体(6
‑
2)的下端设置有球柄
‑
倒角(6
‑
4);所述球柄
‑
倒角(6
‑
4)是斜倒角。4.根据权利要求3所述的凸面晶片工件研磨装置,其特征在于:所述下锁母(8)包括下锁母
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本体(8
‑
1);所述下锁母
‑
本体(8
‑
1)的形状呈圆柱体;所述下锁母
‑
本体(8
‑
1)的上端面中央开设有下锁母
‑
调节孔(8
‑
2);所述下锁母
‑
调节孔(8
‑
2)的侧面设置有螺纹;所述下锁母
‑
调节孔(8
‑
2)的底面中央开设有下锁母
‑
定位孔(8
‑
4);所述下锁母
‑
定位孔(8
‑
4)是下半球面定位孔或下锥面定位孔;所述下锁母
‑
本体(8
‑
1)的下端面中央开设有下锁母
‑
避让口(8
‑
5);所述下锁母
‑
避让口(8
...
【专利技术属性】
技术研发人员:李剑,王丽娟,袁庆祝,常丽敏,段洪伟,马建立,
申请(专利权)人:唐山万士和电子有限公司,
类型:新型
国别省市:
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