温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种凸面晶片工件研磨装置，包括凹球形研磨盘和吸片盘；所述吸片盘位于所述凹球形研磨盘的上方；所述吸片盘与卡盘卡合连接；所述卡盘通过第一螺母与球柄的一端固定连接；所述球柄的另一端通过摆杆与下锁母活动连接；所述下锁母和所述摆杆之间...
该专利属于唐山万士和电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过唐山万士和电子有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。