感光性树脂组合物制造技术

本申请涉及一种感光性树脂组合物。所述感光性树脂组合物，其含有碱溶性高分子；具有烯属不饱和键的化合物；和光聚合引发剂，且利用用于评价耐化学试剂性的化学试剂对在基板表面上形成由该感光性树脂组合物形成的感光性树脂层、并进行曝光和显影而得到的抗蚀图案进行处理后，固化抗蚀层线的最小线宽为17μm以下。下。

【技术实现步骤摘要】
感光性树脂组合物
[0001]本申请是申请日为2016年4月8日、申请号为201680019911.6、专利技术名称为“感光性树脂组合物”的申请的分案申请。


[0002]本专利技术涉及感光性树脂组合物等。

技术介绍

[0003]一直以来，印刷电路板通常通过光刻法来进行制造。光刻法中，首先，对层叠在基板上的感光性树脂组合物层进行图案曝光。感光性树脂组合物的曝光部进行聚合固化(为负型的情况)或变得可溶于显影液(为正型的情况)。接着，利用显影液去除未曝光部(为负型的情况)或曝光部(为正型的情况)而在基板上形成抗蚀图案。进而，实施蚀刻或镀覆处理而形成导体图案，然后自基板剥离去除抗蚀图案。通过经过这些工序，在基板上形成导体图案。
[0004]关于光刻法，通常在基板上涂布感光性树脂组合物时，可以使用如下方法中的任一者：将感光性树脂组合物的溶液涂布于基板上并使其干燥的方法；或者在基板上层叠感光性树脂层叠体(以下，也称为“干膜抗蚀层”)的方法，该感光性树脂层叠体是通过依次层叠支撑体、由感光性树脂组合物形成的层(以下，也称为“感光性树脂层”)和根本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种感光性树脂组合物，其含有：(A)碱溶性高分子；(B)具有烯属不饱和键的化合物；和，(C)光聚合引发剂，所述(A)碱溶性高分子的玻璃化转变温度Tg的重量平均值Tg
total
为110℃以下，且含有具有3个以上烯属不饱和键的(甲基)丙烯酸酯化合物作为所述(B)具有烯属不饱和键的化合物。2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其含有具有5个以上烯属不饱和键、且具有环氧烷链的(甲基)丙烯酸酯化合物作为所述(B)具有烯属不饱和键的化合物。3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中，所述(A)碱溶性高分子具有100～600的酸当量和5000～500000的重均分子量，且在其侧链具有芳香族基。4.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其含有具有5个以上烯属不饱和键、且具有环氧乙烷链的(甲基)丙烯酸酯化合物作为所述(B)具有烯属不饱和键的化合物。5.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其含有具有环氧乙烷链和二季戊四醇骨架的(甲基)丙烯酸酯化合物作为所述(B)具有烯属不饱和键的化合物。6.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其还含有下述通式(II)所示的化合物作为所述(B)具有烯属不饱和键的化合物，式(II)中，R1及R2分别独立地表示氢原子或甲基，A为C2H4，B为C3H6，n1及n3分别独立地为1～39的整数，且n1+n3为2～40的整数，n2及n4分别独立地为0～29的整数，且n2+n4为0～30的整数，
‑
(A
‑
O)
‑
及
‑
(B
‑
O)
‑
的重复单元的排列可以为无规也可以为嵌段，在为嵌段的情况下，
‑
(A
‑
O)
‑
和
‑
(B
‑
O)
‑
中的任一者在联苯基侧均可。7.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其还含有下述通式(I)所示的化合物作为所述(B)具有烯属不饱和键的化合物，
式(I)中，R3～R6分别独立地表示碳数...

【专利技术属性】
技术研发人员：国松真一，松田隆之，山田有里，筒井大和，藤原晶，
申请(专利权)人：旭化成株式会社，
类型：发明
国别省市：