一种片盒保管搬运设备制造技术

本发明专利技术属于电子半导体生产技术领域，特别涉及一种片盒保管搬运设备。包括片盒保管搬运机器人；片盒保管搬运机器人包括依次连接的X轴驱动机构、Z轴驱动机构及R轴驱动机构，其中R轴驱动机构包括旋转驱动机构、大臂、小臂及端拾器，旋转驱动机构通过Z轴滑板与Z轴驱动机构连接；大臂的后端与旋转驱动机构连接，大臂的前端与小臂的后端转动连接，小臂的前端与端拾器转动连接；旋转驱动机构驱动大臂转动，大臂带动小臂反向转动，从而带动端拾器沿R轴方向平移。本发明专利技术的R轴驱动机构能够使端拾器在水平方向上前后移动，使得机器人具有X轴、Z轴和R轴三个方向的自由度，更加灵活，增大了抓取范围。围。围。

【技术实现步骤摘要】
一种片盒保管搬运设备


[0001]本专利技术属于电子半导体生产
，特别涉及一种片盒保管搬运设备。

技术介绍

[0002]在电子半导体领域，晶圆通常放置在晶圆片盒内完成搬移与运输工作。芯片制造设备内的单元数越来越多，并且需要满足高产能小空间的要求来达到预期目标，传片设备的产能由片盒数量决定，而片盒横向增多会导致机台过宽，占地面积增大，并且机器人横向行程加长等一系列不良问题，因此，为了保证高产能机台可以连续进片，需要可以保存并且搬运片盒的新型设备。
[0003]现有的抓取片盒机器人只有2个自由度，即X轴和Z轴移动的自由度，所以只能实现一侧的片盒抓取，因此抓取范围有限，天车位和缓存位必须和loadport(装载设备)在一侧才能抓取到。

技术实现思路

[0004]针对上述问题，本专利技术的目的在于提供一种片盒保管搬运设备，以解决现有抓取片盒机器人只能实现一侧的片盒抓取，抓取范围有限的问题。
[0005]为了实现上述目的，本专利技术采用以下技术方案：
[0006]一种片盒保管搬运设备，包括片盒保管搬运机器人；
[0007]所述片盒保管搬运机器人包括依次连接的X轴驱动机构、Z轴驱动机构及R轴驱动机构，其中R轴驱动机构包括旋转驱动机构、大臂、小臂及端拾器，所述旋转驱动机构通过Z轴滑板与Z轴驱动机构连接；所述大臂的后端与所述旋转驱动机构连接，所述大臂的前端与所述小臂的后端转动连接，所述小臂的前端与端拾器转动连接；
[0008]所述旋转驱动机构驱动大臂转动，所述大臂带动所述小臂反向转动，从而带动所述端拾器沿R轴方向平移。
[0009]所述大臂包括大臂体和带传动机构Ⅰ，其中大臂体的后端与所述旋转驱动机构的输出端连接；所述带传动机构Ⅰ设置于所述大臂体内，并且与所述小臂的后端连接；所述旋转驱动机构驱动所述大臂体转动，从而带动所述带传动机构Ⅰ沿相反方向转动。
[0010]所述带传动机构Ⅰ包括带轮Ⅰ、传动带Ⅰ及带轮Ⅱ，其中带轮Ⅰ设置于所述Z轴滑板上，并且容置于所述大臂的后端内部；所述带轮Ⅱ可转动地设置于所述大臂的前端，并且通过传动带Ⅰ与所述带轮Ⅰ连接；所述小臂与所述带轮Ⅱ连接。
[0011]所述小臂包括小臂体和带传动机构Ⅱ，其中小臂体的后端与所述带轮Ⅱ连接；所述带传动机构Ⅱ设置于所述小臂体内，并且与所述端拾器连接；所述小臂体转动，带动所述带传动机构Ⅱ沿反向转动，从而使所述端拾器的姿态保持不变。
[0012]所述带传动机构Ⅱ包括带轮Ⅲ、传动带Ⅱ及带轮Ⅳ，其中带轮Ⅲ设置于所述大臂的前端连接，并且容置于所述小臂体的后端内部；所述带轮Ⅳ可转动地设置于所述小臂体的前端，并且通过传动带Ⅱ与所述带轮Ⅲ连接；所述端拾器与所述带轮Ⅳ连接。
[0013]所述带轮Ⅰ和所述带轮Ⅱ的齿数比是2:1；所述带轮Ⅲ和所述带轮Ⅳ的齿数比是1:2。
[0014]所述旋转驱动机构包括R轴电机和R轴减速机，其中R轴减速机设置于所述Z轴滑板上，并且输入轴与所述R轴电机连接，输出轴与所述大臂的后端连接。
[0015]所述X轴驱动机构和所述Z轴驱动机构均为带传动机构；所述X轴驱动机构具有沿X轴方向运动的自由度；所述Z轴驱动机构具有沿Z轴方向运动的自由度。
[0016]所述的片盒保管搬运设备，还包括片盒存储框架；所述片盒保管搬运机器人设置于所述片盒存储框架内，用于片盒的传输。
[0017]所述片盒存储框架的一侧从上至下依次设有天车位和缓存位，另一侧设有装载设备。
[0018]本专利技术的优点及有益效果是：
[0019]1.本专利技术通过增加一个R轴驱动机构能扩大抓取片盒的抓取范围。
[0020]2.本专利技术的R轴驱动机构能够使端拾器在水平方向上前后移动，使得机器人具有X轴、Z轴和R轴三个方向的自由度，更加灵活。
[0021]3.本专利技术的片盒存储框架配合R轴可以设计两列缓存区，增加了片盒的存储量，满足高产能的要求。
附图说明
[0022]图1为本专利技术片盒保管搬运设备的结构示意图；
[0023]图2为本专利技术中X轴直线驱动的结构示意图；
[0024]图3为本专利技术中R轴驱动机构的轴测图；
[0025]图4为本专利技术中R轴驱动机构的结构示意图；
[0026]图5为本专利技术中片盒存储框架的结构示意图；
[0027]图6为图5的右视图。
[0028]图中：1为X轴驱动机构，11为X轴框架，12为X轴滑板，13为X轴导轨，14为X轴电机，15为X轴减速机，16为X轴驱动轮，17为X轴传动带，18为X轴从动轮，2为Z轴驱动机构，3为R轴驱动机构，31为Z轴滑板，32为旋转驱动机构，321为R轴电机，322为R轴减速机，33为大臂，331为大臂体,332为带轮Ⅰ，333为传动带Ⅰ，334为带轮Ⅱ，34为小臂，341为小臂体，342为带轮Ⅲ，343为传动带Ⅱ，344为带轮Ⅳ，35为端拾器，4为片盒存储框架，5为天车位，6为缓存位，7为装载设备。
具体实施方式
[0029]为了使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图和具体实施例对本专利技术进行详细描述。
[0030]如图1、图3所示，本专利技术提供的一种片盒保管搬运设备，包括片盒保管搬运机器人；片盒保管搬运机器人包括依次连接的X轴驱动机构1、Z轴驱动机构2及R轴驱动机构3，其中R轴驱动机构3包括旋转驱动机构32、大臂33、小臂34及端拾器35，旋转驱动机构32通过Z轴滑板31与Z轴驱动机构2连接；大臂33的后端与旋转驱动机构32连接，大臂33的前端与小臂34的后端转动连接，小臂34的前端与端拾器35转动连接；旋转驱动机构32驱动大臂33转
动，大臂33带动小臂34反向转动，从而带动端拾器35沿R轴方向平移。
[0031]本专利技术提供的一种片盒保管搬运设备通过增设R轴驱动机构3，R轴驱动机构3能够使端拾器35在水平方向上前后移动，使得机器人具有X轴、Z轴和R轴三个方向的自由度，更加灵活，增大了抓取范围。
[0032]本专利技术的实施例中，X轴驱动机构1和Z轴驱动机构2均为带传动机构；X轴驱动机构1具有沿X轴方向运动的自由度；Z轴驱动机构2具有沿Z轴方向运动的自由度。
[0033]如图2所示，本专利技术的实施例中，X轴驱动机构1包括X轴框架11、X轴滑板12、X轴导轨13、X轴电机14、X轴减速机15、X轴驱动轮16、X轴传动带17及X轴从动轮18，其中X轴框架11上设有X轴导轨13；X轴驱动轮16和X轴从动轮18分别设置于X轴框架11的两端，并且通过X轴传动带17连接；X轴减速机15设置于X轴框架11上，X轴减速机15的输入端与X轴电机14连接，输出端与X轴驱动轮16连接；X轴滑板12与X轴导轨13滑动配合，并且与Z轴驱动机构2连接。
[0034]具体地，X轴框架11固定在片盒保管搬运系统的框架上，X轴框架11由不锈钢型材焊接而成，也可由铝型材拼接而成。X轴的传动机构由X轴电机14、X轴减速机15带动X轴驱动轮16转动，通过X轴驱动轮16和本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种片盒保管搬运设备，其特征在于，包括片盒保管搬运机器人；所述片盒保管搬运机器人包括依次连接的X轴驱动机构(1)、Z轴驱动机构(2)及R轴驱动机构(3)，其中R轴驱动机构(3)包括旋转驱动机构(32)、大臂(33)、小臂(34)及端拾器(35)，所述旋转驱动机构(32)通过Z轴滑板(31)与Z轴驱动机构(2)连接；所述大臂(33)的后端与所述旋转驱动机构(32)连接，所述大臂(33)的前端与所述小臂(34)的后端转动连接，所述小臂(34)的前端与端拾器(35)转动连接；所述旋转驱动机构(32)驱动大臂(33)转动，所述大臂(33)带动所述小臂(34)反向转动，从而带动所述端拾器(35)沿R轴方向平移。2.根据权利要求1所述的片盒保管搬运设备，其特征在于，所述大臂(33)包括大臂体(331)和带传动机构Ⅰ，其中大臂体(331)的后端与所述旋转驱动机构(32)的输出端连接；所述带传动机构Ⅰ设置于所述大臂体(331)内，并且与所述小臂(34)的后端连接；所述旋转驱动机构(32)驱动所述大臂体(331)转动，从而带动所述带传动机构Ⅰ沿相反方向转动。3.根据权利要求2所述的片盒保管搬运设备，其特征在于，所述带传动机构Ⅰ包括带轮Ⅰ(332)、传动带Ⅰ(333)及带轮Ⅱ(334)，其中带轮Ⅰ(332)设置于所述Z轴滑板(31)上，并且容置于所述大臂(33)的后端内部；所述带轮Ⅱ(334)可转动地设置于所述大臂(33)的前端，并且通过传动带Ⅰ(333)与所述带轮Ⅰ(332)连接；所述小臂(34)与所述带轮Ⅱ(334)连接。4.根据权利要求3所述的片盒保管搬运设备，其特征在于，所述小臂(34)包括小臂体(341)和带传动机构Ⅱ，其中小臂体(341)的后端与所述带轮Ⅱ(334)连接；所述带传动机构Ⅱ设置于所述小臂体(...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘晓姣，洪旭东，
申请(专利权)人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：