一种片盒保管搬运设备制造技术

本发明专利技术属于电子半导体生产技术领域，特别涉及一种片盒保管搬运设备。包括片盒保管搬运机器人；片盒保管搬运机器人包括依次连接的X轴驱动机构、Z轴驱动机构及R轴驱动机构，其中R轴驱动机构包括旋转驱动机构、大臂、小臂及端拾器，旋转驱动机构通过Z轴滑板与Z轴驱动机构连接；大臂的后端与旋转驱动机构连接，大臂的前端与小臂的后端转动连接，小臂的前端与端拾器转动连接；旋转驱动机构驱动大臂转动，大臂带动小臂反向转动，从而带动端拾器沿R轴方向平移。本发明专利技术的R轴驱动机构能够使端拾器在水平方向上前后移动，使得机器人具有X轴、Z轴和R轴三个方向的自由度，更加灵活，增大了抓取范围。围。围。

【技术实现步骤摘要】
一种片盒保管搬运设备


[0001]本专利技术属于电子半导体生产
，特别涉及一种片盒保管搬运设备。

技术介绍

[0002]在电子半导体领域，晶圆通常放置在晶圆片盒内完成搬移与运输工作。芯片制造设备内的单元数越来越多，并且需要满足高产能小空间的要求来达到预期目标，传片设备的产能由片盒数量决定，而片盒横向增多会导致机台过宽，占地面积增大，并且机器人横向行程加长等一系列不良问题，因此，为了保证高产能机台可以连续进片，需要可以保存并且搬运片盒的新型设备。
[0003]现有的抓取片盒机器人只有2个自由度，即X轴和Z轴移动的自由度，所以只能实现一侧的片盒抓取，因此抓取范围有限，天车位和缓存位必须和loadport(装载设备)在一侧才能抓取到。

技术实现思路

[0004]针对上述问题，本专利技术的目的在于提供一种片盒保管搬运设备，以解决现有抓取片盒机器人只能实现一侧的片盒抓取，抓取范围有限的问题。
[0005]为了实现上述目的，本专利技术采用以下技术方案：
[0006]一种片盒保管搬运设备，包括片盒保管搬运机器人；本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种片盒保管搬运设备，其特征在于，包括片盒保管搬运机器人；所述片盒保管搬运机器人包括依次连接的X轴驱动机构(1)、Z轴驱动机构(2)及R轴驱动机构(3)，其中R轴驱动机构(3)包括旋转驱动机构(32)、大臂(33)、小臂(34)及端拾器(35)，所述旋转驱动机构(32)通过Z轴滑板(31)与Z轴驱动机构(2)连接；所述大臂(33)的后端与所述旋转驱动机构(32)连接，所述大臂(33)的前端与所述小臂(34)的后端转动连接，所述小臂(34)的前端与端拾器(35)转动连接；所述旋转驱动机构(32)驱动大臂(33)转动，所述大臂(33)带动所述小臂(34)反向转动，从而带动所述端拾器(35)沿R轴方向平移。2.根据权利要求1所述的片盒保管搬运设备，其特征在于，所述大臂(33)包括大臂体(331)和带传动机构Ⅰ，其中大臂体(331)的后端与所述旋转驱动机构(32)的输出端连接；所述带传动机构Ⅰ设置于所述大臂体(331)内，并且与所述小臂(34)的后端连接；所述旋转驱动机构(32)驱动所述大臂体(331)转动，从而带动所述带传动机构Ⅰ沿相反方向转动。3.根据权利要求2所述的片盒保管搬运设备，其特征在于，所述带传动机构Ⅰ包括带轮Ⅰ(332)、传动带Ⅰ(333)及带轮Ⅱ(334)，其中带轮Ⅰ(332)设置于所述Z轴滑板(31)上，并且容置于所述大臂(33)的后端内部；所述带轮Ⅱ(334)可转动地设置于所述大臂(33)的前端，并且通过传动带Ⅰ(333)与所述带轮Ⅰ(332)连接；所述小臂(34)与所述带轮Ⅱ(334)连接。4.根据权利要求3所述的片盒保管搬运设备，其特征在于，所述小臂(34)包括小臂体(341)和带传动机构Ⅱ，其中小臂体(341)的后端与所述带轮Ⅱ(334)连接；所述带传动机构Ⅱ设置于所述小臂体(...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘晓姣，洪旭东，
申请(专利权)人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：