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本发明属于电子半导体生产技术领域，特别涉及一种片盒保管搬运设备。包括片盒保管搬运机器人；片盒保管搬运机器人包括依次连接的X轴驱动机构、Z轴驱动机构及R轴驱动机构，其中R轴驱动机构包括旋转驱动机构、大臂、小臂及端拾器，旋转驱动机构通过Z轴滑板...
该专利属于沈阳芯源微电子设备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳芯源微电子设备股份有限公司授权不得商用。

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