一种刻蚀机制造技术

本发明专利技术公开了一种刻蚀机，包括固定腔，所述固定腔底部贯穿连接有空心腔，所述空心腔内腔固定设置有正反转电机，所述固定腔内腔顶部设置有两个转轴，所述正反转电机输出轴端部与其中一个转轴传动连接，两个所述转轴外周面均固定设置有皮带轮以及主动齿轮，两个所述皮带轮之间连接有传动皮带，所述固定腔内腔四角位置处均设置有转杆。本发明专利技术通过四个支脚实现对固定腔支撑，提高刻蚀机本体的稳定性，正反转电机正转带动四个转杆转动，进而带动活动板向下移动，通过四个万向轮实现将固定腔顶起，便于刻蚀机本体移动，从而使得刻蚀机本体能够根据需要实现固定与移动，且固定效果好，移动便捷。捷。捷。

【技术实现步骤摘要】
一种刻蚀机


[0001]本专利技术涉及刻蚀机
，具体涉及一种刻蚀机。

技术介绍

[0002]等离子刻蚀机，又叫等离子蚀刻机、等离子平面刻蚀机、等离子体刻蚀机、等离子表面处理仪、等离子清洗系统等，等离子刻蚀，是干法刻蚀中最常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面，某种程度来讲，等离子清洗实质上是等离子体刻蚀的一种较轻微的情况，进行干式蚀刻工艺的设备包括反应室、电源、真空部分，工件送入被真空泵抽空的反应室，气体被导入并与等离子体进行交换，等离子体在工件表面发生反应，反应的挥发性副产物被真空泵抽走，等离子体刻蚀工艺实际上便是一种反应性等离子工艺，近期的发展是在反应室的内部安装成搁架形式，这种设计的是富有弹性的，用户可以移去架子来配置合适的等离子体的蚀刻方法：反应性等离子体(RIE)，顺流等离子体，直接等离子体，等离子刻蚀机一般应用于半导体硅片或基片的加工，技术比较高端。
[0003]现有技术存在以下不足：现有的刻蚀机分为两种，一种为固定式，另一种为移动式，两者均存在缺点，固定式移动不便，移动式固定效果较差，如何设计一种刻蚀机，在需要固定时固定效果好，需要移动时移动便捷，是目前亟需解决的问题。
[0004]在所述
技术介绍
部分公开的上述信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此它可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
专利
技术实现思路

[0005]本专利技术的目的是提供一种刻蚀机，通过四个支脚实现对固定腔支撑，提高刻蚀机本体的稳定性，正反转电机正转带动四个转杆转动，进而带动活动板向下移动，通过四个万向轮实现将固定腔顶起，便于刻蚀机本体移动，从而使得刻蚀机本体能够根据需要实现固定与移动，且固定效果好，移动便捷，以解决上述
技术介绍
中的问题。
[0006]为了实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种刻蚀机，包括固定腔，所述固定腔底部贯穿连接有空心腔，所述空心腔内腔固定设置有正反转电机，所述固定腔内腔顶部设置有两个转轴，所述正反转电机输出轴端部与其中一个转轴传动连接，两个所述转轴外周面均固定设置有皮带轮以及主动齿轮，两个所述皮带轮之间连接有传动皮带，所述固定腔内腔四角位置处均设置有转杆，四个所述转杆顶部均固定设置有从动齿轮，两个所述主动齿轮与对应位置的两个从动齿轮之间均连接有链条，所述固定腔内腔设置有活动板，所述活动板顶部四角位置处均固定设置有套管，四个所述转杆分别贯穿设置在对应位置的套管内，所述活动板底部四角位置处均固定设置有万向轮，所述固定腔顶部固定设置有刻蚀机本体。
[0007]优选的，所述固定腔底部两侧均固定设置有第一通槽，四个所述第一通槽分别设
置在对应位置的万向轮底部。
[0008]优选的，所述活动板顶部固定设置有第二通槽，所述空心腔贯穿设置在第二通槽内。
[0009]优选的，四个所述转杆底部均固定设置有外螺纹，四个所述套管内壁均固定设置有内螺纹，四个所述转杆分别螺纹连接在对应位置的套管内。
[0010]优选的，四个所述转杆与固定腔顶部连接处以及远离正反转电机的转轴与固定腔顶部连接处均设置有轴承，四个所述转杆以及远离正反转电机的转轴均通过轴承与固定腔转动连接。
[0011]优选的，所述固定腔两侧内壁中部均固定设置有挡块。
[0012]优选的，所述固定腔底部四角位置处均固定设置有支脚，四个所述支脚底部均固定设置有防滑垫。
[0013]在上述技术方案中，本专利技术提供的技术效果和优点：
[0014]通过四个支脚实现对固定腔支撑，在对应位置的防滑垫的作用下，固定腔的固定效果更好，从而使得刻蚀机本体更加稳定，正反转电机正转带动两个转轴同时转动，两个转轴进而带动四个转杆转动，四个转杆转动时使得四个套管带动活动板同时向下移动，四个万向轮从对应位置的第一通槽内穿出实现将固定腔顶起，从而在四个万向轮的作用下便于固定腔的移动，进而便于刻蚀机本体移动，从而刻蚀机本体能够根据需要实现固定与移动，且固定效果好，移动便捷。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0016]图1为本专利技术的整体结构示意图。
[0017]图2为本专利技术图1的A部放大图。
[0018]图3为本专利技术图1的使用场景图。
[0019]图4为本专利技术固定腔的局部结构左侧剖视图。
[0020]图5为本专利技术主动齿轮、从动齿轮以及链条的连接示意图。
[0021]附图标记说明：
[0022]1、固定腔；2、空心腔；3、正反转电机；4、转轴；5、皮带轮；6、主动齿轮；7、传动皮带；8、转杆；9、从动齿轮；10、链条；11、活动板；12、套管；13、万向轮；14、刻蚀机本体；15、支脚。
具体实施方式
[0023]现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的范例；相反，提供这些示例实施方式使得本公开的描述将更加全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。附图仅为本公开的示意性图解，并非一定是按比例绘制。图中相同的附图标记表示相同或类似的部分，因而将省略对它们的重复描述。
[0024]此外，所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多示例
实施方式中。在下面的描述中，提供许多具体细节从而给出对本公开的示例实施方式的充分理解。然而，本领域技术人员将意识到，可以实践本公开的技术方案而省略所述特定细节中的一个或更多，或者可以采用其它的方法、组元、步骤等。在其它情况下，不详细示出或描述公知结构、方法、实现或者操作以避免喧宾夺主而使得本公开的各方面变得模糊。
[0025]本专利技术提供了如图1-5所示的一种刻蚀机，包括固定腔1，所述固定腔1底部贯穿连接有空心腔2，所述空心腔2内腔固定设置有正反转电机3，所述固定腔1内腔顶部设置有两个转轴4，所述正反转电机3输出轴端部与其中一个转轴4传动连接，两个所述转轴4外周面均固定设置有皮带轮5以及主动齿轮6，两个所述皮带轮5之间连接有传动皮带7，所述固定腔1内腔四角位置处均设置有转杆8，四个所述转杆8顶部均固定设置有从动齿轮9，两个所述主动齿轮6与对应位置的两个从动齿轮9之间均连接有链条10，所述固定腔1内腔设置有活动板11，所述活动板11顶部四角位置处均固定设置有套管12，四个所述转杆8分别贯穿设置在对应位置的套管12内，所述活动板11底部四角位置处均固定设置有万向轮13，所述固定腔1顶部固定设置有刻蚀机本体14。
[0026]进一步的，在上述技术方案中，所述固定腔1底部两侧均固定设置有第一通槽，四个所述第一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种刻蚀机，包括固定腔(1)，其特征在于：所述固定腔(1)底部贯穿连接有空心腔(2)，所述空心腔(2)内腔固定设置有正反转电机(3)，所述固定腔(1)内腔顶部设置有两个转轴(4)，所述正反转电机(3)输出轴端部与其中一个转轴(4)传动连接，两个所述转轴(4)外周面均固定设置有皮带轮(5)以及主动齿轮(6)，两个所述皮带轮(5)之间连接有传动皮带(7)，所述固定腔(1)内腔四角位置处均设置有转杆(8)，四个所述转杆(8)顶部均固定设置有从动齿轮(9)，两个所述主动齿轮(6)与对应位置的两个从动齿轮(9)之间均连接有链条(10)，所述固定腔(1)内腔设置有活动板(11)，所述活动板(11)顶部四角位置处均固定设置有套管(12)，四个所述转杆(8)分别贯穿设置在对应位置的套管(12)内，所述活动板(11)底部四角位置处均固定设置有万向轮(13)，所述固定腔(1)顶部固定设置有刻蚀机本体(14)。2.根据权利要求1所述的一种刻蚀机，其特征在于：所述固定腔(1)底部两侧均固定设置有第...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱强，袁鸣，
申请(专利权)人：无锡芯汉电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：