一种磁控溅射陶瓷靶材及制备方法技术

本发明专利技术公开了一种磁控溅射陶瓷靶材及制备方法，所述陶瓷靶材由氧化锌、掺杂物和助烧物组成，所述掺杂物含量占比为0.7

【技术实现步骤摘要】
一种磁控溅射陶瓷靶材及制备方法
[0001]

[0002]本专利技术涉及材料
，具体涉及一种磁控溅射陶瓷靶材及制备方法。

技术介绍

[0003]在薄膜太阳能电池中，需要使用到具有透明和导电功能的透明导电氧化物（TCO）薄膜作为透明电极。被广泛使用的TCO薄膜材料是氧化铟基陶瓷，如氧化铟锡（ITO）薄膜材料，它具有优异的导电性和透光性。但是，ITO材料使用贵金属铟，不仅材料成本高，而且价格波动大，不利于薄膜太阳能电池成本降低和价格稳定。可以替代ITO薄膜材料的材料较多，如氧化锡基、氧化锌基、石墨烯、纳米银等。在这些潜在的替代材料中，氧化锌基TCO薄膜具有综合的光电性能、材料成本、与ITO薄膜工艺兼容。
[0004]制备透明导电氧化物（TCO）薄膜的方法有多种，如电子束热蒸镀，磁控溅射，脉冲激光沉积，喷雾热解，化学气相沉积等，各种制备工艺对靶材的要求有所不同。
[0005]为了提高氧化锌基陶瓷靶材的导电性，通常在氧化锌中加入可以形成自由电子的掺杂元素，如Al、Ga、In等，这些有掺杂元素存在的薄膜，载流子浓度高，在红外波段的透光本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种磁控溅射陶瓷靶材，由氧化锌、掺杂物和助烧物组成，其特征在于，所述掺杂物含量占比为0.7
‑
2.5wt%，所述助烧物含量占比为0.08
‑
0.15wt%；所述掺杂物的组成为钨酸锌和/或钼酸锌，当掺杂物为钨酸锌和钼酸锌的混合物时，其中钨酸锌的占比为30
‑
70wt%；所述助烧物为硼酸锌、硅酸锌和铋酸锌的混合物，其中硼酸锌、硅酸锌和铋酸锌的占比分别为20
‑
30wt%、40
‑
60wt%和20
‑

【专利技术属性】
技术研发人员：许积文，余晨旭，杨玲，王华，周贤界，
申请(专利权)人：桂林电子科技大学，
类型：发明
国别省市：