基于反射太赫兹光谱的介质厚度预测、评价方法及系统技术方案

本发明专利技术提供一种基于反射太赫兹光谱的介质厚度预测、评价方法及系统，预测方法包括：获取待测区域的太赫兹反射信号并进行预处理；将所述预处理后的待测区域的太赫兹反射信号输入厚度预测模型，获得厚度预测模型输出的所述待测区域的厚度值。评价方法包括：将厚度预测结果与利用时间延迟原理计算得到的厚度结果进行比较，进一步验证预测模型的准确性和适用性。本发明专利技术提供的预测方法只需考虑参考波形和已知参考厚度，建立两者的拟合模型，避免了因介质厚度较薄使信号混叠和因太赫兹波传输色散使波形展宽引起的厚度计算误差，为光学薄样品和厚样品的厚度测量提供了新思路，对结构复杂的工业部件的厚度无损检测提供了新的方向。杂的工业部件的厚度无损检测提供了新的方向。杂的工业部件的厚度无损检测提供了新的方向。

【技术实现步骤摘要】
基于反射太赫兹光谱的介质厚度预测、评价方法及系统


[0001]本专利技术涉及太赫兹智能检测
，尤其涉及一种基于反射太赫兹光谱的介质厚度预测、评价方法及系统。

技术介绍

[0002]复合材料在工业生产中的应用十分广泛，其中在金属或类金属基底表面黏结其他介质可以发挥有益的保护或增强性能的作用，提升关键零部件的使用性能和寿命。如航空发动机利用特定的涂层实现抗氧化、隔热、耐磨等作用，增加发动机使用寿命；高速飞行器、运载火箭等外部抗烧蚀涂层；汽车外壳表面镀膜起到抗腐蚀耐磨特性，不同颜色漆膜增加美观性；芯片工艺过程中的涂层结构等等。由于制备工艺、工件结构、应用复杂性等因素的影响，产生了一系列新的质量检测和可靠性评价问题，目前应用无损检测技术对这些部件设备的防护介质进行质量分析与评估非常重要。
[0003]介质层厚度是评价工件制备过程可靠性和应用安全性的重要指标，对于提升工件性能和使用效率具有重要意义，现有的无损检测技术体系在不断发展以应对这些问题。目前常见的介质层测厚方法有超声波测厚、X射线测厚、声发射测厚和涡流测厚等，这些方法都存在一定的局本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于反射太赫兹光谱的介质厚度预测方法，其特征在于，包括：获取待测区域的太赫兹反射信号并进行预处理；将所述预处理后的待测区域的太赫兹反射信号输入厚度预测模型，获得厚度预测模型输出的所述待测区域的厚度预测值；其中，所述厚度预测模型是基于已知厚度参考区的太赫兹反射信号和已知厚度参考区的厚度值，通过偏最小二乘回归法训练得到的。2.根据权利要求1所述的基于反射太赫兹光谱的介质厚度预测方法，其特征在于，所述待测区域的太赫兹反射信号通过太赫兹脉冲垂直照射到待测区域获得。3.根据权利要求2所述的基于反射太赫兹光谱的介质厚度预测方法，其特征在于，所述待测区域的太赫兹反射信号包含三个完整的反射回波，用于在选择时间窗口分离反射信号时，保证介质上下表面反射信号完整性。4.根据权利要求1至3中任一所述的基于反射太赫兹光谱的介质厚度预测方法，其特征在于，所述预处理包括：基线校正和小波滤波，所述预处理用于减弱因震荡和噪声引起的信号峰值相位提取误差。5.根据权利要求1至3中任一所述的基于反射太赫兹光谱的介质厚度预测方法，其特征在于，所述厚度预测模型通过偏最小二乘回归法训练，包括：根据所述已知厚度参考区的太赫兹反射信号获得自变量矩阵，根据所述已知厚度参考区的厚度值获得因变量向量，对所述自变量矩阵和因变量向量进行标准化处理，获得第一标准化矩阵和第二标准化矩阵；根据第一标准化矩阵和第二标准化矩阵采用偏最小二乘回归法建立回归方程并训练，获得以光谱为自变量、以厚度值为因变量的厚度预测模型。6.一种评价方法，其特征在于，该方法包括：根据太赫兹时域信号的时间延迟原理获得待测区域的厚度测量值；采用权利要求1至5中任一所述的一种基于反射太赫兹光谱的介质厚度预测方法获得待测区域的厚度预测值；根据所述待测区域的厚度...

【专利技术属性】
技术研发人员：张振伟，关昊，韩思怡，吴迎红，李春连，何箐，李建超，王璐，张存林，
申请(专利权)人：北京金轮坤天特种机械有限公司，
类型：发明
国别省市：