大面积单片集成的平坦化多通道滤光片阵列制造技术

本实用新型专利技术公开了一种大面积单片集成的平坦化多通道滤光片阵列，从下到上依次包括基底、下层反射膜、介质层、上层反射膜、上包层；所述的基底、下层反射膜、介质层、上层反射膜构成FP腔结构；FP腔结构上涂覆上包层，使滤波片阵列平坦化；所述的介质层呈台阶状。FP腔结构选择透射或者反射模式；透射模式中，上下两层反射膜厚度均不超过30 nm，使得光线可以透射出；反射模式中，其中下层反射膜的厚度需大于等于100 nm，以实现完全反射。本实用新型专利技术可以通过一次曝光工艺实现不同滤波片的大面积单片集成，简化工艺流程，降低生产成本，且通过平坦化技术，使得该滤波片表面平整，经久耐用，方便与其他器件进行集成。其他器件进行集成。其他器件进行集成。

【技术实现步骤摘要】
大面积单片集成的平坦化多通道滤光片阵列


[0001]本技术涉及一种大面积单片集成的平坦化多通道滤光片阵列，适用于显示、光谱成像、防伪、全息成像、数据存储、3D打印、传感等领域。

技术介绍

[0002]干涉式滤光片是一种非常常见的滤光器件，因其具有中心波长、带宽、截止深度可调等优点而被广泛应用于显示成像、光谱测量、激光防护等领域。
[0003]多层膜干涉式滤光片可以实现透射或者反射式的窄带滤波，其基本结构由多个周期的高低折射率的介质膜交替组合构成。其中，单层膜的厚度约为1/4个中心波长。通过改变多层膜的厚度或者折射率，可以调节滤光片的滤波波长。为了实现较好的滤波效果，多层膜的层数通常多达几十层，这就意味着为实现多层膜干涉式滤光片，需要几十次的沉积工艺。另外，现有的工艺一般只能实现单个基片上单个颜色的滤波功能，不同颜色滤波片的单片集成，往往涉及到利用光刻等技术进行多次图案化处理，而这会使得工艺复杂度大大增加。同时，需要结合多次沉积工艺实现不同滤波片的集成，这大大限制了这类滤波片的实际应用。因而，市售的滤波片基本都是单一颜色的滤波片。基于金属本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种大面积单片集成的平坦化多通道滤光片阵列，其特征在于：从下到上依次包括基底、下层反射膜、介质层、上层反射膜、上包层；所述的基底、下层反射膜、介质层、上层反射膜构成FP腔结构；FP腔结构上涂覆上包层，使滤波片阵列平坦化；所述的介质层呈台阶状。2.根据权利要求1所述的多通道滤光片阵列，其特征在于：所述的FP腔结构选择透射或者反射模式；透射模式中，上下两层反射膜厚度均不超过30 nm，使得光线可以透射出；反射模式中，其中下层反射膜的厚度需...

【专利技术属性】
技术研发人员：何赛灵，郭庭彪，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：新型
国别省市：