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本实用新型公开了一种大面积单片集成的平坦化多通道滤光片阵列，从下到上依次包括基底、下层反射膜、介质层、上层反射膜、上包层；所述的基底、下层反射膜、介质层、上层反射膜构成FP腔结构；FP腔结构上涂覆上包层，使滤波片阵列平坦化；所述的介质层呈台...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

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