用于MEMS麦克风的振膜及MEMS麦克风制造技术

本实用新型专利技术提供一种用于MEMS麦克风的振膜，所述振膜包括方型主体部和由主体部四角向外延伸的第一锚定部，所述第一锚定部包括由主体部向外延伸的连接部和从连接部向外延伸的支撑部，所述主体部向外延伸形成外膜，所述外膜与所述连接部的连接处形成圆角。本实用新型专利技术主要通过在振膜的主体部与第一锚定部的连接处设置圆角，以增大振膜的面积，从而达到增大MEMS麦克风灵敏度的目的。MEMS麦克风灵敏度的目的。MEMS麦克风灵敏度的目的。

【技术实现步骤摘要】
用于MEMS麦克风的振膜及MEMS麦克风


[0001]本技术涉及MEMS麦克风，尤其涉及一种用于MEMS麦克风的振膜及MEMS麦克风。

技术介绍

[0002]现有电容式MEMS麦克风芯片主要由电容部分和基底部分构成，具体包括具有背腔的基底结构，以及位于基底上部的振膜和固定背板结构。振膜和固定背板结构组成了电容系统，当声压作用于振膜时，正对背板与背对背板的振膜两平面间存在压强差，使得振膜与背板间的距离发生相对变化，从而引起振膜电极与背板电极间的电容变化，进而实现声音信号到电信号的转换。灵敏度是衡量麦克风性能的重要指标之一，灵敏度越高，麦克风的信噪比越高，高信噪比的麦克风是近年来各个麦克风制造商孜孜不倦的追求。麦克风的灵敏度与振膜的很多参数有关，譬如振膜的材料，刚度、结构以及振膜电极与背板电极间的电容有关。
[0003]请参考图1，图1为现有振膜结构，它是通过采用4个锚定结构来固定振膜，以使得振膜的四周都是自由结构，这种设计相对于其他麦克风制造商固定振膜的四周，更能提高振膜的灵敏度。但是，这样设计的弊端是牺牲了振膜的边缘面积，使得振本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于MEMS麦克风的振膜，所述振膜包括方型主体部和由主体部四角向外延伸的第一锚定部，所述第一锚定部包括由主体部向外延伸的连接部和从连接部向外延伸的支撑部，其特征在于：所述主体部向外延伸形成外膜，所述外膜与所述连接部的连接处形成圆角。2.根据权利要求1所述的振膜，其特征在于，所述外膜包括与所述连接部连接的第一边以及与所述第一边连接并与所述主体部间隔设置的第二边，所述第二边为直边。3.根据权利要求2所述的振膜，其特征在于，所述第二边与所述主体部相对平行设置。4.根据权利要求2所述的振膜，其特征在于，所述第一边与所述连接部的连接处形成大于90度的圆角。5.根据权利要求1所述的振膜，其特征在于，所述外膜包括与所述连接部连接的第一边以及与所述第一边连接并与所述主体部间隔设置的第二边，所述第二边为弧边。6.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵转转，但强，王凯杰，李杨，
申请(专利权)人：瑞声科技南京有限公司，
类型：新型
国别省市：