温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供一种用于MEMS麦克风的振膜，所述振膜包括方型主体部和由主体部四角向外延伸的第一锚定部，所述第一锚定部包括由主体部向外延伸的连接部和从连接部向外延伸的支撑部，所述主体部向外延伸形成外膜，所述外膜与所述连接部的连接处形成圆角。本...
该专利属于瑞声科技（南京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过瑞声科技（南京）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。