炉顶盘升降旋转机构制造技术

本发明专利技术属于半导体生产技术领域，具体的说是炉顶盘升降旋转机构，包括调整平台和旋转固定架；所述调整平台上固接有导向筒；所述导向筒中活动连接有炉盖提升轴；所述炉盖提升轴下端通过关节轴承连接有电缸；所述炉盖提升轴上端固接有炉盖连接架；所述炉盖连接架远离炉盖提升轴的一端安装有炉盖；所述旋转固定架上安装有旋转单元；通过电缸推动炉盖提升轴上移，带动炉盖上升，使得炉盖与碳化硅单晶生长炉脱离，之后通过旋转单元带动炉盖提升轴转动，将炉盖旋转移开，便于后续对炉体内部情况进行检测，以及对炉体内部进行清扫，该操作解决了碳化硅单晶生长炉的炉盖自动提升和自动旋转这两个技术难题，保证了碳化硅单晶生长炉功能的完整性。完整性。完整性。

【技术实现步骤摘要】
炉顶盘升降旋转机构


[0001]本专利技术属于半导体生产
，具体的说是炉顶盘升降旋转机构。

技术介绍

[0002]碳化硅单晶材料，作为宽带隙半导体材料，具有优异的物理特性和电学性能，特别适合于制造高温、高频、大功率、抗辐射、短波长发光及光电集成器件，因此被广泛应用于航空、航天、雷达、通讯等领域。目前碳化硅单晶生长炉是生产碳化硅单晶材料的常用设备。
[0003]目前现有技术中，碳化硅单晶生长炉的炉盖需要经常开启，以对炉体内部情况进行检测，以及对炉体内部进行清扫，但是将炉盖从炉体上方移开一般需要吊运设备配合，其过程耗时费力，目前缺乏一种炉顶盘升降旋转机构。
[0004]为此，本专利技术提供炉顶盘升降旋转机构。

技术实现思路

[0005]为了弥补现有技术的不足，解决
技术介绍
中所提出的至少一个技术问题。
[0006]本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：本专利技术所述的炉顶盘升降旋转机构，包括调整平台和旋转固定架；所述调整平台上固接有导向筒；所述导向筒中活动连接有炉盖提升轴；所述炉盖提升轴下端贯穿旋转固定架并通过关节轴承连接有电缸；所述炉盖提升轴上端通过连接键固接有炉盖连接架；所述炉盖连接架远离炉盖提升轴的一端安装有炉盖；所述旋转固定架上安装有旋转单元；通过电缸推动炉盖提升轴上移，进而炉盖连接架带动炉盖上升，使得炉盖与碳化硅单晶生长炉脱离，之后通过旋转单元带动炉盖提升轴转动，进而炉盖连接架将炉盖移开，实现炉盖的旋转功能，便于后续对炉体内部情况进行检测，以及对炉体内部进行清扫，该操作解决了碳化硅单晶生长炉的炉盖自动提升和自动旋转这两个技术难题，保证了碳化硅单晶生长炉功能的完整性。
[0007]优选的，所述旋转单元包括一号电机；所述一号电机的输出轴上固接有主动带轮；所述旋转固定架上转动连接有从动带轮，且主动带轮与从动带轮之间通过同步带连接；所述从动带轮通过导向轮带动炉盖提升轴旋转；通过一号电机带动主动带轮转动，主动带轮通过同步带带动从动带轮转动，进而从动带轮通过导向轮带动炉盖提升轴旋转，从而实现炉盖自动旋转的功能，将炉盖从碳化硅单晶生长炉上方移开。
[0008]优选的，所述炉盖连接架与炉盖之间固接有调节弹簧；合炉时有自适应功能，合炉时炉盖可自适应接触法兰面，通过调节弹簧对炉盖连接架的弹力将炉盖自动调节至水平，避免炉盖与炉室组件硬接触，导致炉室受力过大而损坏，并避免合炉后炉盖与炉室之间有缝隙，无法实现整机的密封功能，调节弹簧还能给炉盖一个预压力，便于抽空。
[0009]优选的，所述导向筒顶部固接有安装板，安装板与炉盖连接架垂直且长度相同；所述安装板下侧固接有二号电机；所述安装板上侧转动连接有基座，且基座与二号电机的输出轴固接；所述基座上端设有中间体，且中间体外侧圆周均布有多个叶片；炉盖长时间使用之后其下侧会粘附大量杂质，并且炉盖移开后其表面温度还较高，厂房内部的灰尘及其他
杂物会粘接在炉盖下侧，此时将炉盖从碳化硅单晶生长炉上方移开后，控制炉盖位于安装板的上方，同时通过二号电机带动基座、中间体和叶片旋转，进而叶片将炉盖下方的杂质刮除，实现自动清理炉盖的功能，避免将炉盖重新安装后，炉盖下侧的杂质掉落到炉体内部，对炉体造成污染的问题。
[0010]优选的，所述基座为中空结构，且基座内部通过滑槽滑动连接有活塞；所述活塞与基座底端之间固接有弹簧；所述活塞与中间体之间固接有连杆；所述叶片根部设有气囊，且气囊通过管路与基座的无杆腔连通；所述叶片内部开设有滑腔，且滑腔中滑动连接有配重球；所述配重球与气囊之间固接有弹性绳；叶片刚开始转动时，配重球受到离心力的作用在滑腔内部滑动，进而通过弹性绳将气囊拉长，气囊内部的气体通过管路进入基座的无杆腔中，推动活塞上移，使得叶片自动贴合在炉盖下侧，提高叶片与炉盖之间的贴合程度，从而提高对炉盖下侧杂质的刮除效率。
[0011]优选的，所述滑腔设置为波纹状；通过将滑腔设置为波纹状，使得配重球在滑腔内部滑动时，会带动叶片抖动，从而清理上一次工作时残留在叶片上的杂质。
[0012]优选的，所述叶片自由端的下侧铰接有活动杆；所述活动杆根部与叶片之间固接有弹片；所述活动杆的自由端固接有一号弹性块；所述叶片下侧靠近活动杆自由端的位置固接有二号弹性块；叶片刚开始转动时，活动杆受到离心力的作用朝外转动并展开，之后清理工作结束，叶片停止转动，活动杆在弹片的作用下转动复位，进而带动一号弹性块与二号弹性块发生碰撞，进一步使得叶片抖动，从而清理残留在叶片上的杂质。
[0013]优选的，所述中间体上侧开设有收集槽；所述叶片上侧均布有多个柔性刷条；所述柔性刷条为弧形结构，且其弯曲方向朝向中间体；通过设置多个柔性刷条，可以提高对炉盖的清理效果，同时使得叶片刚开始与炉盖接触时，柔性刷条会将炉盖下侧的杂质向内推走，对杂质进行预清理，并将杂质推到中部的收集槽中，将杂质储存起来，减小杂质掉落并造成污染的问题。
[0014]优选的，所述基座的有杆腔中填充有清洁水；所述基座的有杆腔通过导管与滑腔连通；所述安装板上侧固接有储存壳，且基座贯穿储存壳并与之转动密封连接；所述储存壳通过管路与收集槽连通；通过在基座有杆腔中添加清洁水，活塞向上移动时会将水通过导管挤入滑腔内部，进而滑腔中的水通过叶片对炉盖下侧进行冷却，避免炉盖温度较高，造成灰尘继续粘附在炉盖下侧的问题。
[0015]优选的，所述柔性刷条自由端固接有吸水棉；所述柔性刷条内部固接有导水棉条；所述导水棉条一端与吸水棉连接，另一端延伸至滑腔内部；通过设置吸水棉和导水棉条，滑腔内部的水分会被导水棉条引导至吸水棉中，进而吸水棉将炉盖下侧沾湿，进一步降低炉盖的温度，避免灰尘继续粘附在炉盖下侧，同时沾湿之后还能附加清洗效果，促进对杂质的刮除效率。
[0016]优选的，所述储存壳上侧通过支架固接有一号磁体；靠近所述收集槽的部分柔性刷条自由端固接有连接绳，且连接绳贯穿中间体并与之滑动连接；所述连接绳延伸至中间体下方的一端固接有二号磁体；刮除过程中产生的部分污水会被柔性刷条推入收集槽中，进而通过管路进入储存壳内部，减小污水掉落并造成污染的问题，同时中间体转动的过程中，二号磁体受到一号磁体的吸引力，进而通过连接绳间歇式的拉动收集槽内部的柔性刷条，促进收集槽内部的污水顺利进入储存壳中，提高收集效率。
[0017]本专利技术的有益效果如下：
[0018]1.本专利技术所述的炉顶盘升降旋转机构，通过电缸推动炉盖提升轴上移，进而炉盖连接架带动炉盖上升，使得炉盖与碳化硅单晶生长炉脱离，之后通过旋转单元带动炉盖提升轴转动，进而炉盖连接架将炉盖移开，实现炉盖的旋转功能，便于后续对炉体内部情况进行检测，以及对炉体内部进行清扫，该操作解决了碳化硅单晶生长炉的炉盖自动提升和自动旋转这两个技术难题，保证了碳化硅单晶生长炉功能的完整性。
[0019]2.本专利技术所述的炉顶盘升降旋转机构，通过一号电机带动主动带轮转动，主动带轮通过同步带带动从动带轮转动，进而从动带轮通过导向轮带动炉盖提升轴旋转，从而实现炉盖自动旋转的功能，将炉盖从碳化硅单晶生长本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.炉顶盘升降旋转机构，其特征在于：包括调整平台(1)和旋转固定架(2)；所述调整平台(1)上固接有导向筒(3)；所述导向筒(3)中活动连接有炉盖提升轴(4)；所述炉盖提升轴(4)下端贯穿旋转固定架(2)并通过关节轴承(5)连接有电缸(6)；所述炉盖提升轴(4)上端通过连接键固接有炉盖连接架(7)；所述炉盖连接架(7)远离炉盖提升轴(4)的一端安装有炉盖(37)；所述旋转固定架(2)上安装有旋转单元。2.根据权利要求1所述的炉顶盘升降旋转机构，其特征在于：所述旋转单元包括一号电机(8)；所述一号电机(8)的输出轴上固接有主动带轮(9)；所述旋转固定架(2)上转动连接有从动带轮(10)，且主动带轮(9)与从动带轮(10)之间通过同步带连接；所述从动带轮(10)通过导向轮(11)带动炉盖提升轴(4)旋转。3.根据权利要求2所述的炉顶盘升降旋转机构，其特征在于：所述炉盖连接架(7)与炉盖(37)之间固接有调节弹簧(38)。4.根据权利要求3所述的炉顶盘升降旋转机构，其特征在于：所述导向筒(3)顶部固接有安装板(12)，安装板(12)与炉盖连接架(7)垂直且长度相同；所述安装板(12)下侧固接有二号电机(13)；所述安装板(12)上侧转动连接有基座(14)，且基座(14)与二号电机(13)的输出轴固接；所述基座(14)上端设有中间体(15)，且中间体(15)外侧圆周均布有多个叶片(16)。5.根据权利要求4所述的炉顶盘升降旋转机构，其特征在于：所述基座(14)为中空结构，且基座(14)内部通过滑槽滑动连接有活塞(17)；所述活塞(17)与基座(14)底端之间固接有弹簧(18)；所述活塞(17)与中间体(15)之间固接有连杆(19)；所述叶片(16)根部设有气囊(20)，且气囊(20)通过管路与基座(14)的无杆腔连通；...

【专利技术属性】
技术研发人员：黎志欣，廖亚，张瑶勇，李佳明，李占贤，
申请(专利权)人：连城凯克斯科技有限公司，
类型：发明
国别省市：