晶棒翻转设备以及晶棒翻转方法技术

本申请实施例涉及太阳能技术领域，特别涉及一种晶棒翻转设备以及晶棒翻转方法，晶棒翻转设备包括：底座，底座上有承载部件，承载部件在垂直于底座底面方向上相对于底座移动，对晶棒执行上料和下料步骤；位于底座上的夹持部件，包括固定端与移动端；设置于夹持部件上的旋转部件；检测部件，包括：检测模块，检测模块用于检测晶棒的待下料面的位置是否符合预设位置；第一控制单元，第一控制单元与旋转部件通讯连接，若待下料面的位置不符合预设位置，检测模块向第一控制单元发送第一反馈信号，第一控制单元基于第一反馈信号控制晶棒进行翻转，直至待下料面的位置符合预设位置。本申请实施例有利于改善在晶棒翻转过程中有可能造成晶棒损坏的问题。成晶棒损坏的问题。成晶棒损坏的问题。

【技术实现步骤摘要】
晶棒翻转设备以及晶棒翻转方法


[0001]本申请实施例涉及太阳能
，特别涉及一种晶棒翻转设备以及晶棒翻转方法。

技术介绍

[0002]晶棒是半导体生产的基础材料，晶棒通过切割，断成所需尺寸，方便检测、运输。在对晶棒进行加工前，需要对晶棒进行清洁以及外观检测，晶棒检测合格后，才能投入使用。通常，需要采用晶棒翻转设备对晶棒进行翻转，以对晶棒的侧面进行清洁以及外观检测。

技术实现思路

[0003]本申请实施例提供一种晶棒翻转设备以及晶棒翻转方法，至少有利于改善在使用晶棒翻转设备对晶棒进行翻转时造成晶棒损坏的问题。
[0004]本申请实施例提供一种晶棒翻转设备，包括：底座，底座上设有承载部件，承载部件在垂直于底座的底面方向上相对于底座移动以对晶棒执行上料以及下料步骤；设置于底座上的夹持部件，夹持部件包括固定端与移动端；设置于夹持部件上的旋转部件；检测部件，检测部件包括：检测模块，检测模块用于检测晶棒的待下料面的位置是否符合预设位置；第一控制单元，第一控制单元与旋转部件通讯连接，若待下料面的位置不符合预设位置，检测模块还向第一控制单元发送第一反馈信号，第一控制单元基于第一反馈信号控制晶棒进行翻转，直至待下料面的位置符合预设位置。
[0005]另外，检测模块包括：检测标识，所述检测标识设置于晶棒的表面；检测单元，检测单元获取检测标识的位置；判断单元，判断单元用于判断是否向第一控制单元发送第一反馈信号；反馈单元，反馈单元基于判断单元的判断结果向第一控制单元发送第一反馈信号。
[0006]另外，检测标识设置于晶棒朝向检测单元的端面。
[0007]另外，检测单元包括压力传感器或者感应式接近传感器中的任意一种或多种。
[0008]另外，检测部件还包括：角度检测模块，角度检测模块与承载部件通讯连接，角度检测模块位于旋转部件表面。
[0009]另外，还包括：警报单元，警报单元与检测部件通讯连接，检测部件向警报单元发送第二反馈信号，警报单元基于第二反馈信号发出警报信息。
[0010]另外，检测部件还包括：角度检测模块，警报单元还与角度检测模块通讯连接。
[0011]另外，还包括：复位开关，复位开关与检测部件通讯连接。
[0012]另外，承载部件包括晶棒放置区以及除晶棒放置区以外的非晶棒放置区，还包括：保护装置，保护装置设置于承载部件的非晶棒放置区，保护装置用于感应人体信号，保护装置还与旋转部件通讯连接。
[0013]相应地，本申请实施例还提供一种晶棒翻转方法，可应用于上述任一项晶棒翻转设备，包括：将晶棒放置于承载部件上，承载部件在垂直于底座的底面方向上相对于底座移动，以对晶棒进行上料步骤；在承载部件移动到预设到达位置后，夹持部件的固定端以及移
动端夹持住晶棒；旋转部件对晶棒进行翻转，以对晶棒进行作业；在晶棒完成作业后，检测模块检测晶棒的待下料面的位置是否符合预设位置，若待下料面的位置不符合预设位置，检测模块还向第一控制单元发送第一反馈信号，第一控制单元基于第一反馈信号控制晶棒进行翻转，直至待下料面的位置符合预设位置。
[0014]另外，检测模块包括检测标识、检测单元、判断单元以及反馈单元，检测模块检测晶棒的待下料面的位置是否符合预设位置的方法包括：在晶棒放置在承载部件前，将检测标识设置于晶棒的表面；检测单元在承载部件对晶棒进行上料步骤前，对检测标识的位置进行检测并作为第一位置；检测单元还用于在晶棒完成作业后，对检测标识的位置进行检测并作为第二位置；判断单元对第一位置以及第二位置进行比较，若第一位置与第二位置不同，则判断单元判断向第一控制单元发送第一反馈信号；反馈单元基于判断单元的判断结果向第一控制单元发送第一反馈信号。
[0015]另外，检测模块包括检测标识、检测单元、判断单元以及反馈单元，检测单元用于与检测单元正对的检测标识进行感应，检测模块检测晶棒的待下料面的位置是否符合预设位置的方法包括：在承载部件对晶棒进行上料步骤前，将检测标识设置于晶棒的初始上料面，初始上料面为晶棒朝向承载部件且与承载部件正对的表面，且检测标识还与检测单元正对；在晶棒完成作业后，检测单元对检测标识进行感应；判断单元基于检测单元的检测结果，判断是否向第一控制单元发送第一反馈信号，若检测单元未感应到检测标识，则判断单元判断向第一控制单元发送第一反馈信号；反馈单元基于判断单元的判断结果向第一控制单元发送第一反馈信号。
[0016]另外，检测部件还包括角度检测模块，角度检测模块与承载部件通讯连接，还包括：在晶棒完成作业后，角度检测模块检测旋转部件的旋转角度，若旋转部件的旋转角度不等于360
°
的整数倍，则角度检测模块控制承载部件不朝晶棒方向移动。
[0017]另外，晶棒翻转设备还包括：警报单元以及复位开关，还包括：若检测部件检测到待下料面的位置不符合预期，检测部件向警报单元发送第二反馈信号，警报单元基于第二反馈信号发出警报信息；警报单元发出警报信息后，开启复位开关，以使检测模块控制旋转部件对晶棒进行翻转，直至待下料面的位置为初始上料面。
[0018]另外，检测部件还与承载部件通讯连接，还包括：在检测部件检测到待下料面的位置符合预设位置后，检测部件还控制承载部件朝向旋转部件的方向移动，以对承载部件进行下料步骤。
[0019]本申请实施例提供的技术方案至少具有以下优点：
[0020]本申请实施例提供的晶棒翻转设备的技术方案中，晶棒翻转设备包括底座，底座上设有承载部件，承载部件在垂直于底座的底面方向上相对于底座移动以对晶棒执行上料以及下料步骤；设置于底座上的夹持部件，夹持部件包括固定端与移动端，夹持部件用于夹持晶棒；设置于夹持部件上的旋转部件，旋转部件用于翻转晶棒，以对晶棒进行作业；检测部件，检测部件包括：检测模块，检测模块用于检测晶棒的待下料面的位置是否符合预设位置；第一控制单元，第一控制单元与旋转部件通讯连接，若待下料面的位置不符合预设位置，检测模块还向第一控制单元发送第一反馈信号，第一控制单元基于第一反馈信号控制晶棒进行翻转，直至待下料面的位置符合预设位置。预设位置可以为承载部件对晶棒进行上料步骤前，晶棒与承载部件接触的初始上料面，也就是说，检测模块可以控制待下料面为
晶棒的初始上料面，如此，可以防止在晶棒准备进行下料步骤前，由于晶棒中心轴线与旋转部件中心轴线不重合而导致承载部件上升承接晶棒时与晶棒造成碰撞的问题，从而可以保护晶棒。此外，由于设置了检测部件用于保护晶棒，因此，当承载部件对晶棒进行上料步骤时，允许晶棒的中心轴与旋转部件的中心轴在一定范围内可以不重合，进而使得承载部件在对不同尺寸的晶棒进行上料时，具有更广的兼容性。
附图说明
[0021]一个或多个实施例通过与之对应的附图中的图片进行示例性说明，这些示例性说明并不构成对实施例的限定，除非有特别申明，附图中的图不构成比例限制。
[0022]图1为本申请一实施例提供的晶棒翻转设备的一种剖面结构主视示意图；
[0023]图2为本申本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶棒翻转设备，其特征在于，包括：底座，所述底座上设有承载部件，所述承载部件在垂直于所述底座的底面方向上相对于所述底座移动以对所述晶棒执行上料以及下料步骤；设置于所述底座上的夹持部件，所述夹持部件包括固定端与移动端；设置于所述夹持部件上的旋转部件；检测部件，所述检测部件包括：检测模块，所述检测模块用于检测所述晶棒的待下料面的位置是否符合预设位置；第一控制单元，所述第一控制单元与所述旋转部件通讯连接，若所述待下料面的位置不符合预设位置，所述检测模块还向所述第一控制单元发送第一反馈信号，所述第一控制单元基于所述第一反馈信号控制所述晶棒进行翻转，直至所述待下料面的位置符合预设位置。2.根据权利要求1所述的晶棒翻转设备，其特征在于，所述检测模块包括：检测标识，所述检测标识设置于所述晶棒的表面；检测单元，所述检测单元获取所述检测标识的位置；判断单元，所述判断单元用于判断是否向所述第一控制单元发送所述第一反馈信号；反馈单元，所述反馈单元基于所述判断单元的判断结果向所述第一控制单元发送所述第一反馈信号。3.根据权利要求2所述的晶棒翻转设备，其特征在于，所述检测标识设置于所述晶棒朝向所述检测单元的端面。4.根据权利要求3所述的晶棒翻转设备，其特征在于，所述检测单元包括压力传感器或者感应式接近传感器中的任意一种或多种。5.根据权利要求1所述的晶棒翻转设备，其特征在于，所述检测部件还包括：角度检测模块，所述角度检测模块与所述承载部件通讯连接，所述角度检测模块位于所述旋转部件表面。6.根据权利要求1所述的晶棒翻转设备，其特征在于，还包括：警报单元，所述警报单元与所述检测部件通讯连接，所述检测部件向所述警报单元发送第二反馈信号，所述警报单元基于所述第二反馈信号发出警报信息。7.根据权利要求6所述的晶棒翻转设备，其特征在于，所述检测部件还包括：角度检测模块，所述警报单元还与所述角度检测模块通讯连接。8.根据权利要求6所述的晶棒翻转设备，其特征在于，还包括：复位开关，所述复位开关与所述检测部件通讯连接。9.根据权利要求1所述的晶棒翻转设备，其特征在于，所述承载部件包括晶棒放置区以及除所述晶棒放置区以外的非晶棒放置区，还包括：保护装置，所述保护装置设置于所述承载部件的非晶棒放置区，所述保护装置用于感应人体信号，所述保护装置还与所述旋转部件通讯连接。10.一种晶棒翻转方法，应用于上述权利要求1至9中任一项所述的晶棒翻转设备，其特征在于，包括：将晶棒放置于承载部件上，所述承载部件在垂直于所述底座的底面方向上相对于所述底座移动，以对所述晶棒进行上料步骤；在所述承载部件移动到预设到达位置后，夹持部件的固定端以及移动端夹持住所述晶
棒；旋转部件对所述晶棒进行翻转，以对所述晶棒进行作业；在所述晶棒完成作业后，检测模块检测所述晶棒的待下料面的位置是否符合预设位置，若所述待下料面的位置不符合预设位置，所述检测模块还向所述第一控制单元发送第一反...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵天朝，付涛，张亮，
申请(专利权)人：晶科能源股份有限公司，
类型：发明
国别省市：