角度滤光器制造技术

本发明专利技术涉及一种用于图像传感器的角度滤光器(2)，其包括至少部分地覆盖有第一防潮层(42)的不透明树脂图案(26)。(42)的不透明树脂图案(26)。(42)的不透明树脂图案(26)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】角度滤光器
[0001]本专利申请要求法国专利申请FR19/10119的优先权权益，其通过引用并入本文。


[0002]本公开涉及一种用于图像传感器的角度滤光器。

技术介绍

[0003]角度滤光器是一种能够根据辐射的入射角来过滤入射辐射，且因此阻挡具有大于期望角度(称为最大入射角)的入射角的光线的装置。

技术实现思路

[0004]需要改进角度滤光器。
[0005]一个实施方案提供了一种用于图像传感器的角度滤光器，其包括至少部分地覆盖有第一防潮层的不透明树脂图案。
[0006]根据一个实施方案，图案被完全地封装在第一防潮层和第二防潮层之间。
[0007]一个实施方案提供了一种角度滤光器的制造方法，其包括以下步骤：
[0008]‑
形成不透明的树脂图案；以及
[0009]‑
用第一防潮层覆盖图案。
[0010]根据一个实施方案，该方法进一步包括在形成树脂图案之前沉积第二防潮层。
[0011]根据一个实施方案，层对UV辐射是不透明的。
[0012]根据一个实施方案，树脂是黑色或有色的。
[0013]根据一个实施方案，树脂是正性的。
[0014]根据一个实施方案，树脂图案具有矩形或梯形的横截面。
[0015]根据一个实施方案，层具有在1至200nm的范围内，优选在10至50nm的范围内的厚度。
[0016]根据一个实施方案，第一层、层中之一或多层由Al2O3制成。
[0017]根据一个实施方案，第一层、层中之一或多层由SiN/SiO2制成。
[0018]根据一个实施方案，树脂图案之间的空间用气体，优选用空气填充。
[0019]根据一个实施方案，树脂图案之间的空间用对在400nm至1mm范围内，优选在400nm至700nm范围内的波长透明的材料填充。
[0020]根据一个实施方案，材料选自硅树脂、聚二甲基硅氧烷、丙烯酸树脂、环氧树脂和光学透明粘合剂。
[0021]根据一个实施方案，通过薄层沉积方法、等离子体增强化学气相沉积方法或物理气相沉积方法沉积第一层和/或第二层。
[0022]根据一个实施方案，通过液相沉积、通过离心或通过涂覆来沉积树脂和材料。
附图说明
[0023]将在具体实施方式的以下非限制性的说明中结合附图详细讨论本专利技术的前述特征和优点以及其他的特征和优点，其中：
[0024]图1是图像采集系统的实施方式的部分简化横截面图；
[0025]图2是角度滤光器的示例的部分简化横截面图；
[0026]图3在横截面图(A)、(B)和(C)中部分地且示意性地示出了角滤光器制造方式的步骤；
[0027]图4在横截面图(A)、(B)、(C)和(D)中部分地且示意性地示出了另一种角滤光器制造方式的步骤；
[0028]图5是角度滤光器的可替代的实施的部分简化横截面图；和
[0029]图6是角度滤光器的另一个可替代的实施的部分简化横截面图。
具体实施方式
[0030]在不同的附图中，相同的特征由相同的附图标记标出。具体而言，不同的实施方式和实施方案中共同的结构和/或功能元件可以用相同的附图标记标识，并且可以具有相同的结构、尺寸和材料特性。
[0031]为了清楚起见，仅示出并详细描述了那些对理解所述的实施方式有用的步骤和元件。特别地，没有详细描述图像传感器和除了角度滤光器之外的元件的形成，所述的实施方案和实施方式与传感器和这些其他元件的通常实施方案相容。
[0032]除非另有说明，当提及连接在一起的两个元件时，这表示除了导体之外没有任何中间元件的直接连接，且当提及耦合在一起的两个元件时，这表示这两个元件可以通过一个或多个其他元件连接或耦合。
[0033]在以下公开中，除非另有说明，当提及绝对位置限定词时，例如术语“前”、“后”、“上”、“下”、“左”、“右”等，或相对位置限定词，例如术语“上方(above)”、“下方(below)”、“上面(upper)”、“下面(lower)”等，或方向的限定词，例如“水平”、“垂直”等，它是指附图所示的方向。
[0034]除非另有说明，表述“约(around)”、“大约(approximately)”、“基本上(substantially)”和“大约(in the order of)”表示在10％以内，优选在5％以内。
[0035]图1是图像采集系统1的实施方案的部分简化横截面图。
[0036]该附图图示了部分示出的物体16的存在，它的图像响应由图像采集系统1捕获。图像采集系统1在附图的方向上从下到上包括：
[0037]‑
图像传感器12，例如，CMOS传感器或基于薄膜晶体管(TFT)的传感器，其可以耦合到无机(用于CMOS传感器的晶体硅或用于TFT传感器的非晶硅)光电二极管或有机光电二极管上；
[0038]‑
角度滤光器2；和
[0039]‑
光源14。
[0040]光源14被图示在物体16上方。然而，作为变型，它可以位于物体16和角度滤光器2之间。
[0041]由光源14发射的辐射可以是400至700nm的可见光辐射，和/或700nm至1mm的红外
辐射。在应用于测定指纹的情况下，物体16对应于用户的手指。
[0042]图2是通常的角度滤光器2
’
的一个示例的部分简化横截面图。
[0043]角度滤光器2
’
在附图的方向上从上到下由以下形成：
[0044]‑
微透镜22；
[0045]‑
基板或支撑件24；以及
[0046]‑
搁置在基板24上并界定孔28的壁或图案26。
[0047]在本公开的意义上，“透明的”表示一种材料在相关波长中允许大于1％的辐射通过，而“不透明的”表示一种材料在相关波长中允许小于1％的辐射通过。
[0048]壁对应于树脂图案26。该树脂由至少吸收要过滤的波长的材料制成。该树脂可以是在可见光和红外范围内吸收的黑色树脂，或者是吸收给定颜色的可见光的有色树脂。树脂图案26可以具有矩形或梯形的横截面。两个图案26之间的空间被定义为孔28。
[0049]基板24可以由透明聚合物制成，该聚合物至少不吸收所考虑的波长(本文是在可见光和红外范围内的)。聚合物尤其可以由聚对苯二甲酸乙二醇酯PET、聚甲基丙烯酸甲酯PMMA、环烯烃聚合物(COP)、聚酰亚胺(PI)、聚碳酸酯(PC)制成。基板24的厚度可以例如从1至100μm，优选地从20至100μm变化。基板24可以对应于彩色滤光片、偏光片、半波片或四分之一波片。
[0050]微透镜22位于每个孔28的前面。每个孔28基本上以相关联的微透镜22的焦点为中心。微透镜22可以由二氧化硅、PMMA、环氧树脂或丙烯酸树脂制成。
[0051]因此，由光源14发射的光线由微透本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于图像传感器的角度滤光器(2)，其包括至少部分地覆盖有第一防潮层(42)的不透明树脂图案(26)。2.根据权利要求1所述的滤光器(2)，其中所述图案(26)被完全地封装在第一防潮层和第二防潮层(42,44)之间。3.根据权利要求1或2所述的滤光器，其中层(42,44)对UV辐射是不透明的。4.根据权利要求1至3中任一项所述的滤光器，其中所述树脂是黑色的或有色的。5.根据权利要求1至4中任一项所述的滤光器，其中所述树脂是正性的。6.根据权利要求1至5中任一项所述的滤光器，其中树脂图案(26)具有矩形或梯形的横截面。7.根据权利要求1至6中任一项所述的滤光器，其中层(42,44)具有在1至200nm的范围内，优选在10至50nm的范围内的厚度。8.根据权利要求1至7中任一项所述的滤光器，其中第一层(42)、层(42,44)中之一或多层(42,44)由Al2O3制成。9.根据权利要求1至8中任一项所述的滤光器，其中第一层(42)、层(42,44)中之一或多层(42,44)由SiN/SiO2制成。10.根据权利要求1至9中任一项所述的滤...

【专利技术属性】
技术研发人员：廷达拉，
申请(专利权)人：爱色乐居，
类型：发明
国别省市：