一种非制冷探测器使用的红外滤光片制造技术

本发明专利技术提供一种非制冷探测器使用的红外滤光片，涉及非制冷探测器领域。该一种非制冷探测器使用的红外滤光片，包括红外滤光片包括正面膜系、单晶锗基底和背面膜系，所述的正面膜系结构和背面膜系结构分别设置于单晶锗基底的正面与反面，所述正面膜系由硫化锌层和锗膜层交替叠加组成，所述硫化锌层和锗膜层共36层，所述背面膜系由硫化锌层和锗膜层交替叠加组成，所述硫化锌层和锗膜层共76层。使得红外滤光片通带透过率高、截止度深、定位精度准，能极大的提高信噪比，提升探测器探测性能。提升探测器探测性能。提升探测器探测性能。

【技术实现步骤摘要】
176.19H 285.54L 156.32H 267.30L 185.24H 177.69L 147.51H 372.14L 104.44H 310.82L 92.49H 196.18L 168.33H 154.30L 124.49H 154.28L 375.76H 158.84L 129.84H 241.07L 43.49H 306.80L 90.55H 217.34L 115.08H 235.89L 113.01H 126.57L 588.16H 1035.90L/Air。
[0014]优选的，所述单晶锗基底内部设置有滤光片，所述滤光片在可见光－7200nm波段范围内绝对透过率≤1.0％；
[0015]所述滤光片在7200
‑
7250nm透过率≤5.0％；
[0016]所述滤光片在7600
±
50nm处透过率＝50％；
[0017]所述滤光片在7800
‑
11500nm波段范围内，绝对透过率≥90％，平均透过率≥92％。
[0018]工作原理：在使用的时候，正面膜系1和背面膜系3对单晶锗本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种非制冷探测器使用的红外滤光片，包括红外滤光片包括正面膜系(1)、单晶锗基底(2)和背面膜系(3)，其特征在于：所述的正面膜系结构和背面膜系结构分别设置于单晶锗基底的正面与反面；所述正面膜系(1)由硫化锌层和锗膜层交替叠加组成，所述硫化锌层和锗膜层共36层；所述背面膜系(3)由硫化锌层和锗膜层交替叠加组成，所述硫化锌层和锗膜层共76层。2.根据权利要求1所述的一种非制冷探测器使用的红外滤光片，其特征在于：所述正面膜系(1)为高透段主峰膜系，λ＝6150nm，H代表锗膜层的物理厚度，L代表ZnS膜层的物理厚度。3.根据权利要求2所述的一种非制冷探测器使用的红外滤光片，其特征在于：所述其中正面膜系(1)的主要构成为：Sub/225.61H 275.50L 354.83H 711.40L 321.31H 634.02L 399.06H 700.39L 361.65H 664.17L 388.99H 712.47L 382.81H 635.61L 358.94H 644.03L 259.50H 266.70L 299.16H 490.49L 309.22H 630.56L 288.13H 220.42L 334.00H 535.18L 237.38H 593.58L 272.30H 144.96L429.33H 698.69L 66.00H1080.48L 789.89H 926.13L/Air。4.根据权利要求1所述的一种非制冷探测器使用的红外滤光片，其特征在于：所述反面膜系(3)为可见光－4000nm波段的前截止膜系，入＝3500nm,H代表锗膜层的物理厚度，L代表ZnS膜层的物理厚...

【专利技术属性】
技术研发人员：侯树军，周东平，侯树伟，樊利花，
申请(专利权)人：苏州厚朴传感科技有限公司，
类型：发明
国别省市：