一种基于双等离激元共振的角度不敏感窄带滤波器制造技术

本发明专利技术公开了一种基于双等离激元共振的角度不敏感窄带滤波器，器件结构自下而上由衬底、金属光栅层、介质隔离层、金属层、介质隔离层、金属光栅层、包覆层组成。本发明专利技术利用上下同频等离子激元共振的耦合效应，能让特定波长的入射光透射，而其他波长的光则会被金属层反射，构成窄带滤波器。并且，由于激发等离子激元共振的边界条件是偶极子边界条件，与入射角度无关，因此该滤波器有极好的角度不敏感特性，解决了传统窄带滤波器的带通峰位随入射角度敏感变化的难题。敏感变化的难题。敏感变化的难题。

【技术实现步骤摘要】
一种基于双等离激元共振的角度不敏感窄带滤波器


[0001]本专利技术涉及光学滤波器领域，具体涉及一种角度不敏感滤波器。

技术介绍

[0002]窄带滤波器是一种只允许透过单一波长光的滤波器，它在整个光谱学领域和光通讯领域都有着举足轻重的地位。
[0003]目前，市面上最常见的滤波器为Fabry
‑
Perot(F
‑
P)滤波器，它由上下两块反射镜和中间的介质腔层组成。当入射光的波长满足共振条件时，其透射谱会出现很高的峰值，对应着很高的透射率，而其他波长的光则会被反射，最终形成窄带透过。然而，当入射光的角度增大时，F
‑
P滤波器的腔层等效长度变短，导致透射中心波长蓝移。譬如，对于中心峰位在800nm的M
‑
I
‑
M结构的F
‑
P滤波器而言(M为40nm厚度的银层、I为230nm厚度的二氧化硅层)，当入射角度由0
°
变为30
°
时，其透射峰位将蓝移40nm，很可能就移出了其原先的带通范围，形成杂光干扰甚本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于双等离激元共振的角度不敏感窄带滤波器，其特征在于:所述的窄带滤波器的结构自下而上依次为：衬底(1)，第一金属光栅(2)，介质隔离层(3)，金属层(4)，介质隔离层(5)，第二金属光栅(6)，保护层(7)；所述的金属光栅(2)是一维金属光栅，或二维金属光栅，宽度范围为10～5000nm，厚度范围为10～2000nm；所述的第二金属光栅(6)是一维金属光栅，或二维金属光栅，宽度范围为10～5000nm，厚度的范围为10～2000nm；所述的介质隔离层(3)的厚度的范围为1～1000nm；所述的介质隔离层(5)的厚度的范围为1～1000nm；所述的金属层(4)的厚度的范围为10～100nm；所述的保护层(7)为介质层；由所述的衬底...

【专利技术属性】
技术研发人员：王少伟，刘清权，李辰璐，玄志一，左易，陆卫，
申请(专利权)人：中国科学院上海技术物理研究所，
类型：发明
国别省市：