滤光器制造技术

一种滤光器，涉及光学技术领域。该滤光器包括基板、设置于基板一侧的第一增透膜，以及依次层叠设置于基板另一侧的介质黑膜、透明导电层和第二增透膜，透明导电层和第二增透膜之间还镀设有位于透明导电层上的正电极和负电极；其中，第一增透膜包括依次层叠设置于基板上的第一膜堆、第二膜堆、第三膜堆和第四膜堆；介质黑膜包括依次层叠设置于基板上的第一膜层、第二膜层和第五膜堆；第一膜堆、第二膜堆、第三膜堆、第四膜堆和第五膜堆分别由至少三层介质膜层堆叠形成，且相邻两层介质膜层的折射率不同。该滤光器作为激光雷达罩时，能够适应于寒冷环境中，且能够减少光信号干扰，提高光学性能。学性能。学性能。

【技术实现步骤摘要】
滤光器


[0001]本专利技术涉及光学
，具体而言，涉及一种滤光器。

技术介绍

[0002]随着汽车行业自动驾驶的快速发展，自适应巡航的激光雷达应用也越来越广泛，其中，装在激光雷达前方作为保护功能的雷达罩的重要性也逐渐凸显出来。
[0003]普通的雷达罩对寒冷恶劣环境适应能力较差，其在寒冷环境下容易受冰、雪、雾以及霜的影响，因此拥有可加热功能的雷达罩应运而生。为解决上述问题，现有技术提供了一种采用位于前盖板正面的加热丝进行加热的雷达罩，然而，现有的采用加热丝加热的雷达罩，会影响激光雷达的穿透性和激光雷达成像效果，且无法满足激光雷达罩的低反射性需求，其抗光信号干扰能力差。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种滤光器，该滤光器作为激光雷达罩时，能够适应于寒冷环境中，且能够减少光信号干扰，提高光学性能。
[0005]本专利技术的实施例是这样实现的：
[0006]本专利技术的一方面，提供一种滤光器，该滤光器包括基板、设置于基板一侧的第一增透膜，以及依次层叠设置于基板另一侧的介质黑膜、透明导电层和第二增透膜，透明导电层和第二增透膜之间还镀设有位于透明导电层上的正电极和负电极；其中，第一增透膜包括依次层叠设置于基板上的第一膜堆、第二膜堆、第三膜堆和第四膜堆；介质黑膜包括依次层叠设置于基板上的第一膜层、第二膜层和第五膜堆；第一膜堆、第二膜堆、第三膜堆、第四膜堆和第五膜堆分别由至少三层介质膜层堆叠形成，且相邻两层介质膜层的折射率不同。该滤光器作为激光雷达罩时，能够适应于寒冷环境中，且能够减少光信号干扰，提高光学性能。
[0007]可选地，第一膜堆以第一预设堆叠结构堆叠形成，第一预设堆叠结构形式为：(LM)
n
；第二膜堆以第二预设堆叠结构堆叠形成，第二预设堆叠结构形式为：(HL)
n
H；第三膜堆以第三预设堆叠结构堆叠形成，第三预设堆叠结构形式为：(ML)
n
M；第四膜堆以第四预设堆叠结构堆叠形成，第四预设堆叠结构形式为：(HML)
n
；其中，H、M、L分别为三种折射率不同的介质膜层，且M的折射率大于L的折射率且小于H的折射率，n为循环次数，且n为大于或等于1的整数。
[0008]可选地，第一增透膜的各介质膜层的厚度在0nm至200nm之间，和/或，第一增透膜的介质膜层的层数在15至25之间。
[0009]可选地，第五膜堆以第五预设堆叠结构堆叠形成，第五预设堆叠结构形式为：(LH)
n
L；且第一膜层的折射率小于第二膜层的折射率。
[0010]可选地，H介质膜层的折射率在3.0至6.0之间、M介质膜层的折射率在1.8至3.0之间、L介质膜层的折射率在1.2至1.6之间。
[0011]可选地，H介质膜层的材料为SiH，M介质膜层的材料为SiN、SiOH、SiON、SiO、TiO2、Ta2O5、Ti3O5以及Nb2O5中的至少一种，L介质膜层的材料为SiO2、硅铝混合物中的任意一种或两者混合物。
[0012]可选地，第二增透膜为L介质膜层或多层膜，其中，多层膜以第六预设堆叠结构堆叠形成，第六预设堆叠结构形式为：(LM)
n
L或(LH)
n
L，其中，H、M、L分别为三种折射率不同的介质膜层，H介质膜层的折射率在3.0至6.0之间、M介质膜层的折射率在1.8至3.0之间、L介质膜层的折射率在1.2至1.6之间，n为循环次数，且n为大于或等于1的整数。
[0013]可选地，介质黑膜的各介质膜层的厚度和第二增透膜的各介质膜层的厚度分别在0nm至500nm之间，且介质黑膜的各介质膜层的层数、透明导电层的层数和第二增透膜的各介质膜层的层数之和在20至50之间。
[0014]可选地，滤光器还包括位于第一增透膜远离基板一侧的防水膜。
[0015]可选地，滤光器还包括覆盖于正电极和负电极远离透明导电层一侧的油墨层，其中，油墨层位于正电极和第二增透膜之间。
[0016]本专利技术的有益效果包括：
[0017]本申请提供的滤光器，包括基板、设置于基板一侧的第一增透膜，以及依次层叠设置于基板另一侧的介质黑膜、透明导电层和第二增透膜，透明导电层和第二增透膜之间还镀设有位于透明导电层上的正电极和负电极；其中，第一增透膜包括依次层叠设置于基板上的第一膜堆、第二膜堆、第三膜堆和第四膜堆；介质黑膜包括依次层叠设置于基板上的第一膜层、第二膜层和第五膜堆；第一膜堆、第二膜堆、第三膜堆、第四膜堆和第五膜堆分别由至少三层介质膜层堆叠形成，且相邻两层介质膜层的折射率不同。当本申请的滤光器作为激光雷达的雷达罩使用时，其可以通过将正电极和负电极接通电源，从而对透明导电层进行通电加热，从而实现使得基板升温以去除表面水雾或者冰层等；且本申请在近红外光波段具有低反射性和高透过性，可见光波段截止(即在可见光波段其反射率和透射率均较低)，如此，本申请提供的滤光器在具备可适用于寒冷环境中的条件下，还可以解决现有技术中因加热而导致的激光雷达的穿透和成像能力受损的问题，使得滤光器具有优良的光学特性，能够减小雷达罩对激光雷达的光干扰，从而提高激光雷达的精度。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本专利技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0019]图1为本专利技术一些实施例提供的滤光器的结构示意图；
[0020]图2为本专利技术一些实施例提供的正电极、负电极和透明导电层的结构示意图；
[0021]图3为本专利技术一些实施例提供的正电极、负电极、透明导电层和油墨层的结构示意图；
[0022]图4为本专利技术一些实施例提供的正电极、负电极、透明导电层、油墨层和第二增透膜的结构示意图；
[0023]图5为本专利技术一些实施例提供的滤光器两面成膜后各角度的反射率和波长的曲线
关系图；
[0024]图6为本专利技术一些实施例提供的滤光器两面成膜后各角度的透过率和波长的曲线关系图；
[0025]图7为本专利技术一些实施例提供的第一增透膜各角度的反射率和波长的曲线关系图；
[0026]图8为本专利技术一些实施例提供的滤光叠层各角度的反射率和波长的曲线关系图；
[0027]图9为本专利技术一些实施例提供的滤光叠层各角度的反射率和波长的曲线以及透过率和波长的曲线关系对比图。
[0028]图标：10
‑
基板；20
‑
第一增透膜；30
‑
介质黑膜；40
‑
透明导电层；50
‑
第二增透膜；61
‑
正电极；62
‑
负电极；70
‑
防水膜；80
‑
油墨层。
具体实施方式
[本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种滤光器，其特征在于，包括基板、设置于所述基板一侧的第一增透膜，以及依次层叠设置于所述基板另一侧的介质黑膜、透明导电层和第二增透膜，所述透明导电层和所述第二增透膜之间还镀设有位于所述透明导电层上的正电极和负电极；其中，所述第一增透膜包括依次层叠设置于所述基板上的第一膜堆、第二膜堆、第三膜堆和第四膜堆；所述介质黑膜包括依次层叠设置于所述基板上的第一膜层、第二膜层和第五膜堆；所述第一膜堆、所述第二膜堆、所述第三膜堆、所述第四膜堆和所述第五膜堆分别由至少三层介质膜层堆叠形成，且相邻两层所述介质膜层的折射率不同。2.根据权利要求1所述的滤光器，其特征在于，所述第一膜堆以第一预设堆叠结构堆叠形成，所述第一预设堆叠结构形式为：(LM)
n
；所述第二膜堆以第二预设堆叠结构堆叠形成，所述第二预设堆叠结构形式为：(HL)
n
H；所述第三膜堆以第三预设堆叠结构堆叠形成，所述第三预设堆叠结构形式为：(ML)
n
M；所述第四膜堆以第四预设堆叠结构堆叠形成，所述第四预设堆叠结构形式为：(HML)
n
；其中，H、M、L分别为三种折射率不同的介质膜层，且M的折射率大于L的折射率且小于H的折射率，n为循环次数，且n为大于或等于1的整数。3.根据权利要求2所述的滤光器，其特征在于，所述第一增透膜的各介质膜层的厚度在0nm至200nm之间，和/或，所述第一增透膜的介质膜层的层数在15至25之间。4.根据权利要求2所述的滤光器，其特征在于，所述第五膜堆以第五预设堆叠结构堆叠形成，所述第五预设堆叠结构形式为：(LH)
n
L；且所述第一膜层的折射率小...

【专利技术属性】
技术研发人员：尧俊，卢仁，吴永辉，张睿智，王彦鹏，王建晖，羊彦，刘风雷，
申请(专利权)人：浙江水晶光电科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：