一种单晶炉运行过程中清理管道的工具制造技术

本实用新型专利技术提供一种单晶炉运行过程中清理管道的工具，包括：波纹管和设置于所述波纹管中心的金属推杆，以及设置于所述金属推杆一端部的清扫扇叶；其中，所述波纹管用于带动所述金属推杆伸缩，所述金属推杆用于带动所述清扫扇叶清理单晶炉管道内的氧化物，所述金属推杆插入所述波纹管的中心部位设有转动轴承，所述转动轴承可带动所述金属推杆在所述波纹管中心转动。本实用新型专利技术的有益效果是结构简便，解决了磁流体密封的问题；手动控制，可根据实际情况进行清理管道，减小炉压波动的机率；清理过程不受炉台运行状态影响。理过程不受炉台运行状态影响。理过程不受炉台运行状态影响。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉运行过程中清理管道的工具


[0001]本技术单晶炉管道清理领域，尤其是涉及一种单晶炉运行过程中清理管道的工具。

技术介绍

[0002]随着硅片制造业产能的不断增加，对产品品质保障的问题凸显，为了更好的改善产品品质，对炉内环境要求越发严格，保证排气管道的通畅，有助于改善炉内环境，以保证产品品质。
[0003]为了避免对单晶炉管道内的压差造成很大的影响，同时为解决管道的密封问题，本技术提出了一种新型的管道清理工具，以便解决现有技术中存在的问题。

技术实现思路

[0004]本技术要解决的问题是提供一种单晶炉运行过程中清理管道的工具，尤其适合单晶炉管道的清理。
[0005]为解决上述技术问题，本技术采用的技术方案是：
[0006]波纹管和设置于所述波纹管中心的金属推杆，以及设置于所述金属推杆一端部的清扫扇叶；
[0007]其中，所述波纹管用于带动所述金属推杆伸缩，所述金属推杆用于带动所述清扫扇叶清理单晶炉管道内的氧化物。
[0008]进一步的，所述金属推杆插入所述波纹管的中心部位设有转动轴承，所述转动轴承可带动所述金属推杆在所述波纹管中心转动。
[0009]进一步的，所述金属推杆与所述清扫扇叶的连接部设有连接套，所述连接套用于将所述清扫扇叶固定在所述金属推杆上。
[0010]进一步的，所述波纹管是一变形管，所述波纹管处于正常状态时的长度为350
±
10mm，处于拉长极限时的长度为500
±
10mm，处于压缩极限时的长度为100
±
10mm。
[0011]进一步的，所述波纹管的前后两端均设有夹板，所述夹板用于固定所述波纹管。
[0012]进一步的，所述波纹管的下方设有连接杆，所述连接杆垂直连接在所述夹板上，所述连接杆并所述夹板共同用于支撑和固定所述波纹管。
[0013]进一步的，所述夹板与所述波纹管的连接部设有密封圈，所述密封圈用于封堵所述波纹管。
[0014]进一步的，所述密封圈的前端设有法兰片，所述法兰片内含循环水道，用于降低所述密封圈温度。
[0015]进一步的，所述波纹管远离单晶炉管道的一端设有把手，所述把手用于拉伸和压缩所述波纹管。
[0016]本技术具有的优点和积极效果是：
[0017](1)解决了磁流体密封的问题；
[0018](2)手动控制，可根据实际情况进行清理管道，减小炉压波动的机率；
[0019](3)清理过程不受炉台运行状态影响。
[0020]该工具结构简单，使用方便，操作简单，便于生产加工，且加工成本低，使用效率高。
附图说明
[0021]图1是本技术实施例的一种单晶炉运行过程中清理管道的工具示意图。
[0022]图中：
[0023]1、波纹管
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2、金属推杆
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3、清扫扇叶
[0024]4、夹板
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5、连接杆
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6、密封圈
[0025]7、法兰片
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8、连接套
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9、把手
具体实施方式
[0026]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0027]如图1所示，出示了本技术实施例的结构，本技术实施例涉及一种单晶炉运行过程中清理管道的工具，包括：波纹管1、金属推杆2和清扫扇叶3，其中，金属推杆2的中心与波纹管1的中心共线，金属推杆2插设于波纹管1的中心部位，在金属推杆2的另一端安装有清扫扇叶3。
[0028]本实例的工作过程：波纹管1可产生相应的形变，带动金属推杆2做往复伸缩运动，金属推杆2再带动安装于端部的清扫扇叶3运动，将单晶炉管道内氧化物排出。
[0029]进一步优化方案，波纹管1是一种可变形的弹性管，在其运输的弹性形变范围内，波纹管1处于正常状态下的长度为350
±
10mm，处于压缩极限时的长度为100
±
10mm，处于拉伸极限时的长度为500
±
10mm，波纹管1的直径略小于单晶炉主管道的直径，便于将波纹管1插入到单晶炉管道内进行清扫操作。
[0030]继续优化方案，在波纹管1和金属推杆2的连接部设有转动轴承，转动轴承带动金属推杆2转动，从而带动安装在端部的清扫扇叶3转动，可有效的将单晶炉管道内产生的废气排出管道外，保证管道的清洁。
[0031]优选的，金属推杆2与清扫扇叶3之间安装有连接套8，连接套8用于保证清扫扇叶3与金属推杆2同轴转动，避免因连接松动，而造成的杆转动，扇叶不转动的情况。
[0032]根据本技术实施例的一种单晶炉运行过程中清理管道的工具，在波纹管1的两端安装有夹板4，夹板4对称的设于波纹管的两侧，用于夹紧固定波纹管1，在波纹管1的正下方，还设有一根连接杆5，连接杆5与夹板4的板面垂直，并连接两夹板4，两夹板4与连接杆5构成了一个简易支架，用于固定和支撑波纹管1，防止波纹管脱落。
[0033]优选的，靠近金属推杆2一侧的夹板4与波纹管1之间设有密封圈6，密封圈6可阻隔外接与波纹管1之间气体交换，避免因波纹管1漏气而造成的单晶炉管道气压变化，间接降低了拉单晶失败率。
[0034]优选的，在密封圈6的外侧安装有法兰片7，法兰片7的内部设有循环水道，可向法兰片7输水，用于冷却密封圈6，可以理解的是，密封圈6用于封堵波纹管1与管道的气体，必然会产生热量，为避免这种热量过高，因而在密封圈6千安装带有水道的法兰片7.
[0035]根据本技术实施例的一种单晶炉运行过程中清理管道的工具，在远离金属推杆2一侧的夹板4上安装有把手9，可由操作者拉动把手9，使用该清理工具清理单晶炉管道内的废气。
[0036]根据本技术实施例的一种单晶炉运行过程中清理管道的工具，其产生的有益效果是：
[0037](1)解决了磁流体密封的问题；
[0038](2)手动控制，可根据实际情况进行清理管道，减小炉压波动的机率；
[0039](3)清理过程不受炉台运行状态影响。
[0040]该工具结构简单，使用方便，操作简单，便于生产加工，且加工成本低，使用效率高。
[0041]以上对本技术的一个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本技术的较佳实施例，不能被认为用于限定本技术的实施范围。凡依本技术申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本技术的专利涵盖范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉运行过程中清理管道的工具，其特征在于，包括：波纹管和设置于所述波纹管中心的金属推杆，以及设置于所述金属推杆一端部的清扫扇叶；其中，所述波纹管用于带动所述金属推杆伸缩，所述金属推杆用于带动所述清扫扇叶清理单晶炉管道内的氧化物。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉运行过程中清理管道的工具，其特征在于，所述金属推杆插入所述波纹管的中心部位设有转动轴承，所述转动轴承可带动所述金属推杆在所述波纹管中心转动。3.根据权利要求1所述的一种单晶炉运行过程中清理管道的工具，其特征在于，所述金属推杆与所述清扫扇叶的连接部设有连接套，所述连接套用于将所述清扫扇叶固定在所述金属推杆上。4.根据权利要求1所述的一种单晶炉运行过程中清理管道的工具，其特征在于，所述波纹管是一变形管，所述波纹管处于正常状态时的长度为350
±
10mm，处于拉长极限时的长度为500
±
10mm，处于压...

【专利技术属性】
技术研发人员：王立刚，张强，王淼，贾海洋，李成，周宏邦，娄中士，
申请(专利权)人：内蒙古中环领先半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：